ホルダチョイス
オプトロニクス
P.3-013∼,
3-011∼028
P.3-015
近赤外用対物レンズ：S72PEIRP
対物レンズ：S72S
近赤外の分光透過率を高く設計した長作動距離、高解像度対物レンズです。
シリコンを透過してウェハーなどの裏面観察をしたり、
フォトエミッション故障解析用レンズとして使用できます。
外形寸法図
■S72PEIRP-2.5
外形寸法図
95
47
37
5
■S72S-20
W.D=10
φ19
φ28
φ31
33.4
95
14 6
4.5
RMS
φ38
ガイダンス
ミラー
30.6 1 4 1
φ38
φ37
φ24
φ21.8
φ24
偏光素子
2
5
■S72S-40
φ21.8
レンズ
34
RMS
レンズ
φ19.2
φ28
φ33
φ35
27
偏光素子
SPEC
ビームスプリッタ
42.5
44
5
5
プリズム
SPEC
フィルタ
95
12
■S72PEIRP-50
ミラー
ダイクロイック
14
φ34
φ24
φ21.8
φ24
ガイダンス
基板
26
φ31
■S72S-10
φ21.8
■S72S-5
28
■S72PEIRP-20
（4.5）
25 2 1 RMS
φ28
φ35
※取付ねじ：JIS規格M20.32 P=0.706
※取付ねじ：JIS規格M20.32 P=0.706
型式
倍率
S72S-5
S72S-10
S72S-20
S72S-40
5×
10×
20×
40×
作動距離
W.D.
（mm）
18.0
7.5
2.2
0.6
焦点距離
f
（mm）
37.90
22.17
11.72
5.78
開口数
N.A.
価格
0.10
0.25
0.40
0.65
￥14,000
￥17,500
￥29,000
￥46,000
ピンホール
型式
倍率
S72PEIRP-2.5
S72PEIRP-20
S72PEIRP-50
2.5×
20×
50×
作動距離
W.D.
（mm）
28.0
12.0
10.0
焦点距離
f
（mm）
80.0
10.0
4.0
開口数
N.A.
0.10
0.50
0.60
分解能
R
（μｍ）
6.7
1.3
1.1
焦点深度
D.F.
（μｍ）
55.0
2.2
1.5
ビームスプリッタ
重量
（g）
価格
300
430
500
￥258,000
￥375,000
￥625,000
プリズム
基板
ダイクロイック
近紫外用対物レンズ：S72UVAP
フィルタ
ピンホール
明視野観察用の長作動距離対物レンズです。
可視域から近紫外線域
（355nm）
まで使用する波長において、
ピントが焦点深度内で合うように補正されている対物レンズです。
可視域用対物レンズ：S72MPA
光学素子
光学素子
鏡筒長210mmの金属顕微鏡用の対物レンズです。
アクロマートレンズを使用しており可視域で色収差補正をしています。
20倍以上の対物レンズには先端部にバネが組み込まれており、試料及び対物レンズの接触時の損傷を防ぐことができます。
外形寸法図
※取付ねじ：JIS規格M20.32 P=0.706
■S72UVAP-20
高解像度、長作動距離の明視野用プランアポクロマートレンズ・シリーズです。
95
W.D.=12
47
34
2
4.5
RMS
※取付ねじ：JIS規格M20.32 P=0.706
■S72MPA-5
95
95
62.5
36.1
4.5
58.9
φ28
φ32.2
95
14 6
30 1
4.5
RMS
72.8
4.5
φ34
φ38
22.2
■S72MPA-100
5
RMS
W.D.=14.1
95
（4）
80.9
50.9
15 15
RMS
φ32.2
φ32.2
φ32.2
φ34
φ32.2
φ34
30
SPEC
RMS
φ32.2
RMS
φ32.2
φ31
95
4.5
φ34
56.1
■S72MPA-50
W.D.=18.3±1
34
RMS
■S72MPA-20
95
95
46.7
■S72UVAP-50
W.D.=10
RMS
■S72MPA-10
W.D.=38.9
4.5
φ34
φ29.2
32.5
φ38
■S72MPA-2.5
φ28
φ35
外形寸法図
型式
倍率
S72UVAP-20
S72UVAP-20LCD
S72UVAP-50
S72UVAP-50LCD
20×
20×
50×
50×
作動距離
W.D.
（mm）
焦点距離
f
（mm）
開口数
N.A.
分解能
R
（μｍ）
焦点深度
D.F.
（μｍ）
重量
（g）
12.0
10.0
0.50
0.6
1.1
435
10.0
4.0
0.50
0.6
1.1
510
価格
￥528,000
￥614,000
￥614,000
￥700,000
SPEC
3
051
型式
倍率
S72MPA-2.5
S72MPA-5
S72MPA-10
S72MPA-20
S72MPA-50
S72MPA-100
2.5×
5×
10×
20×
50×
100×
作動距離
W.D.
（mm）
32.5
36.1
38.9
22.2
18.3
14.1
焦点距離
f
（mm）
80.0
40.0
20.0
10.0
4.0
2.0
開口数
N.A.
0.06
0.16
0.23
0.35
0.40
0.52
分解能
R
（μｍ）
5.6
2.1
1.5
1.0
0.8
0.6
焦点深度
D.F.
（μｍ）
76.4
10.7
5.2
2.2
1.7
1.0
重量
（g）
価格
232
238
215
289
321
340
￥73,000
￥43,000
￥59,000
￥145,000
￥226,000
￥312,000
組合例
対物レンズ用アダプタ
P.3-015 ・F510B
高剛性十字動ホルダ P.3-013
・F504-40DL/FJ504-40DL
3
052

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