冷却機能付き ホットプレート PJ-200

冷却機能付き ホットプレート
PJ-200
特徴
・温度範囲 0℃ 150℃ 対応
・ホットプレートサイズ □230mm
・冷却機能を搭載いたしましたホットプレートに
より、加熱冷却温度プロファイルが可能です。
・加熱 ヒータ、冷却 ペルチェによる 2出力
により、大面積を高レートで温度プログラムが
可能です。
・MSA専用温度コントローラー(PCC107PED)によ
り、正確に温度コントロールが可能です。
・専用ソフトウェア
(PCS100)により、PCからのプロ
グラム設定、
データログが可能です。
構造 アプリケーション
材料加熱プロセス、評価・開発など
精密温度コントロール・温度プロファイル
加熱冷却2出力コントローラー PCC107PED
6 ウエハ
ホットプレート
リフタピン(3カ所)
ヒータ・ペルチェ ホットプレート
PJ-200
仕様カスタマイズ
昇温レート
10 15℃/min
冷却レート
-5 -10℃/min
ヒータによる加熱/ペルチェにより冷却機能
により、加熱冷却温度プロファイルが対応
可能です。
○:カスタマイズ対応
温度制御範囲 10∼150℃ ○
ホットプレートサイズ 230×230mm ○
温度精度 ±4% ○
専用ソフトウェア PCS100
ホットプレート カスタム対応いたします。 詳細の仕様は、仕様図にてご案内いたします。
株式会社MSAファクトリー MSA Factory co .,Ltd.
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TEL 03-6276-7873 /FAX03-6276-7874