Application Systems レーザプロセシングシステム Laser Processing Systems スキャン光学系と集光光学系 アプリケーション システム マスクレス加工では、CADなどからのデータを元に直接描画加工を行います。走査方法により大きく分類され、 スキャン光学系と集光光学系にわかれます。 また、両者を複合したハイブリッド走査型もあります。 光学素子 ホルダー 集光光学系 ガルバノスキャン ステージスキャン 走査速度 高速 低速 走査エリア 狭い 広い 集光方法 ｆ θレンズ 対物レンズ 集光スポット径 数10μ～数100μ サブミクロン～数10μ 焦点深度 深い 浅い ベース 手動ステージ スキャン光学系 走査方法 アクチュエータ 【スキャン系】 自動ステージ 1 光源 2 3 索引 4 Viewing 光通信 干渉計 品名 ① 品番 高出力レーザ用シャッターユニット SHPS-□□ 5 備考 YAG （各1064、532、355、266nm） 対応 ビームエキスパンダー LBE-□ He-Ne （λ＝632.8nm） 、LD用 （λ＝780、830nm） 、YAG （λ＝1064nm） レーザビームエキスパンダー BE/LBED ディオプター補正機能付 ③ バリアブルアッテネータ SVAB-□□A-08 ④ レーザスキャンシステム 検査/観察 ② バイオフォトニクス レーザ加工 ⑤ ｆ θレンズ 高出力タイプ 要問合せ ｆθ 1064、532、355、266nm対応 【集光系(観察系付）】 6 4 1 2 3 7 品名 ① ② ビームエキスパンダー LBE-□ He-Ne （λ＝632.8nm） 、LD用 （λ＝780、830nm） 、YAG （λ＝1064nm） レーザビームエキスパンダー BE/LBED ディオプター補正機能付 YAG （各1064、532、355、266nm） 対応 ③ バリアブルアッテネータ SVAB-□□A-□□ 高出力タイプ （各波長対応） オートフォーカスユニット TAF-SS-OBL-3 TTL方式 ⑤ 対物レンズ PAL-□-NUV LMPAL-□-NIR 1064、780、532、355、266nm対応 同軸照明付観察ユニット OUCI-2 レーザ導入用ダイクロブロック DIMC-□□R YAG （各1064、532、355nm） 対応 同軸照明付観察ユニット OUCI-2-□ レーザ導入ポート付 ⑦ 5 備考 SHPS-□□ ④ ⑥ A062 品番 高出力レーザ用シャッターユニット WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] 加工用ソフトウェア 加工位置をカメラで観察しながら、画面上で加工パターンや加工エリア設定ができるソフトウェアです。 複数使用するレーザの波長切り替えや照射条件の設定、対物レンズの切り替え、 ステージの制御などを1つのソフト ウェアに統合しています。 DXFなどのCADデータの取り込みにも対応しており、試作用途から量産ラインまで対応いたします。 アプリケーション システム 光学素子 ホルダー ベース 手動ステージ アクチュエータ 自動ステージ 光源 索引 Viewing ・プログラム操作 座標を指定し、 ステージ動作 レーザ照射のON、OFF 操作 CSVファイルを読込で簡単加工 ・ソフトウェアジョイスティック 連続移動 ステップ移動 光通信 曲線 直線 干渉計 検査/観察 組み合せ A B C バイオフォトニクス レーザ加工 アプリケーション例 10μm以下の金属薄膜除去 100μm厚程度のシリコンウェハの切断 100∼500μm厚程度のシリコンや金属、 セラミックなどの切断、穴あけ （φ100μm∼） TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 A063 Application Systems レーザプロセシングシステム Laser Processing Systems 高出力レーザ用シャッター アプリケーション システム バリアブルアッテネータ 高出力レーザ用ミラーとビームディフューザにより光路 を安全に遮断 PBSと波長板により高出力レーザの光量を連続可変 光学素子 ホルダー ベース 手動ステージ アクチュエータ 仕様 自動ステージ 光源 索引 仕様 品番 SHPS-□□ 価格 〔￥〕 420,000 波長 〔nm〕 266、355、532、1064 有効径 〔mm〕 φ8 対応出力 約20W 2 2 レーザ耐力 〜28J/cm（＠1064nm） 5J/cm（＠266nm） 開閉速度 約200ms 品番 SVAB-□□A-OB 価格 〔￥〕 362,000 波長 〔nm〕 266、 355、 532、 1064 有効径 〔mm〕 φ4 対応出力 20W レーザ耐力 2 2 〜5.1J/cm（＠1064nm） 1.0J/cm（＠266nm） 透過率範囲 2〜93％ （＠532nm） Viewing 光通信 干渉計 検査/観察 バイオフォトニクス レーザビームエキスパンダーユニット エアギャップのレンズ構成で高出力レーザに対応、 ディ オプタ補正機構付きで厳密なコリメート調整が可能 オートフォーカスユニット 内蔵のレーザセンサ内蔵により、 ガラスやフィルムなど の透明体でも高速追従 レーザ加工 仕様 品番 BE/LBEDシリーズ 価格 〔￥〕 42,000〜 波長 〔nm〕 266、355、400〜700、1064 レーザ耐力 2 2 1.4J/cm（＠266nm） 〜4J/cm（＠1064nm） 倍率 ×2〜×21 （＠400〜700nm） 入射有効径 〔mm〕 φ1.7 仕様 品番 要問合せ 対物レンズ 2×〜100× カメラ CマウントCCDカメラ （素子サイズ2/3″以下） 移動量 トレース範囲 （追従可能範囲） 再現性 （フォーカス） A064 TAF-SS-OBL-3 価格 〔￥〕 3mm 2×、 5×、 10×：±1.5mm 20× ：±500μm 50× ：±250μm 100× ：±100μm ±6.0μm （5×） 、 ±1.0μm （10×） 、 ±0.5μm （20×、 50×、 100×） WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] 面精度保証ミラー ｆθレンズ ホルダ一体型で面精度を保証、ロック機構付きで組込みに最適 アプリケーション システム 各波長・走査エリア・焦点距離でラインナップ 光学素子 ホルダー ベース B016 対物レンズ B186 鏡筒ユニット ＋ レーザ導入ブロック 手動ステージ アクチュエータ 微細加工時の位置決めに最適な同軸落射照明の観察鏡筒 DUVから近赤外まで、各種加工用レーザに対応 自動ステージ 光源 索引 B192 自動ステージ A018 光通信 ベース 精密高精度型から高剛性ロングストロークまで豊富なラインナップ Viewing 干渉計 安定した性能を支える高剛性ベースシリーズ 検査/観察 バイオフォトニクス レーザ加工 G032〜 D016〜 ガルバノユニット ジッタ・ウォブルを抑え高品質の高速レーザ描画 ※各社ガルバノメータでのアセンブリに対応します。 営業までご相談ください。 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 A065
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