大分県産業科学技術センター 貸付機械器具一覧 (2014/4/1) 電気・電子関係機器 (加工・製造) 機器 番号 E100 E101 E102 E103 E104 機器名 メーカー/ 型式 仕様 概要・用途 スパッタ方式：デポジションアップ、静止対 向型マグネトロンスパッタ、サイズ：φ2イン スパッタリング (株)アルバック/ チ×1枚、ターゲットサイズ：φ2インチ×3 薄膜（多層）の作製 装置 isp－2000－LC3 枚、基板加熱：最大800℃、スパッタ電源： DC500W×1台 半導体や電子部品 マニアル 日本マイクロニクス/ 4針、試料サイズ：5インチ のＩ－Ｖ特性試験な プローバ モデル 705A どの電気的評価 マスク UV露光、マニュアルタイプのコンタクト露光 ウェハ等への微細 ミカサ(株)/MA-20 アライナー 機、4インチφサイズまで パターンの形成 フォトレジストの回 スピンコーター ミカサ(株)/1H-D7 4インチφサイズまで 転塗布 真空理工(株)/ 真空熱処理 電子デバイス等の ゴールドイメージ炉 サイズ:50mm立方体、温度：800℃まで 装置 熱処理 ユニットP610 料金 (円/ 時間) 1,910 270 660 200 810 電気・電子関係機器 (解析・測定・観察） 機器 番号 E202 機器名 ホトマスク 撮影カメラ 走査型 E203 プローブ 顕微鏡 メーカー/ 型式 仕様 概要・用途 料金 (円/時 間) 酒井特殊カメラ製作 原図サイズ：約1m×1m、縮小倍率：1/1～ 所/ 1/30程度、ガラス乾板：4インチ□ トヨビュー45G改造品 ガラス感板への 縮小撮影 （微細加工用） セイコーインスツル 測定モード：AFM，STM、スキャン範囲：20μm メント(株)/SPI3800 □、150μm□、試料：25mmφ×5mm厚まで 電子部品などの 表面微小領域の 表面形状や物性 の測定 1,420 固体材料の光学 特性(反射率、 透過率等)の計 測 570 組込みソフトウェ C 言語対応、MISRA-C ルールチェック機能 ア（C言語ソース IPA/SEC コーディング作法ガイド適合度評価 コード）の品質の (株)エクスモーション/ 機能 測定、評価 eXquto 330 分光光度計 （株）島津製作所/ E204 （電子材料分光 SolidSpec-3700 特性評価装置） 測定波長範囲：240～2600nm 大型試料室 可変角絶対反射測定装置 5～70° 色彩、膜厚、日射透過・反射率計算 210 Programming Research Limited/ ソースコード静 E205 PQAC/FL1，MCM/PC 的解析ツール 微細形状観察 (株)キーエンス/ E206 評価装置（レー VK-9700SP ザー顕微鏡） 測定用光源:バイオレットレーザ 408nm 対物レンズ倍率 5、10、20、50、150× 電動ステージ 50mm×50mm可動 12インチウェハ用ステージ付属 微小立体物表面 の非接触3次元 計測 1,950 マスワークス / 制御技術開発 MATLAB/Simulink E207 用モデルベー ス設計ツール dSPACE / DS1104 リアルタイムシミュレーション機能 Cコード自動生成機能 システム同定機能、パラメータ最適化機能 机上/リアルタイ ムシミュレーショ ンにより制御ア ルゴリズムの設 計、検証 880 無線・高周波回 スペクトラム・ア （株）アドバンテスト/ 周波数範囲：9kHz～8 GHz、トラッキング・ジェ 路における周波 E208 ナライザー U3751 ネレータ （100kHz～3GHz）付き 数に対する信号 Ｕ３７５１ 強度の測定 150 周波数範囲：300kHz～4.5GHz バイアス・テ 高周波回路にお ネットワーク・ア アジレントテクノロジ ィー付き、ポート数：２、ダイナミック・レンジ： E209 ける伝送路の分 ナライザー ー（株） / E5071C ＞123 dB、トレース・ノイズ：＜0.004 dBrms、 析・試験 エンハンスド・タイム・ドメイン解析機能 580
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