別紙 仕 １ 機器名 スパッタ装置 ２ 数量 一式 ３ 要求仕様 項 目 要 様 求 書 仕 様 到達圧力 ５×１０ －４ Pa 以下 メインポンプ ドライ真空系ポンプ 成膜方向 可変 膜厚分布 ±１０％以下 装置内冷却 冷却水循環装置付き カソードサイズ ２インチ（φ 50.8mm）以上 基板サイズ φ 70mm 以上 スパッタ電源 高周波電源 真空排気操作 自動 装置サイズ W1,100mm,D1,100mm,H1,000mm 以 内 に 本 体 （ 冷 却 循 環 装 置 含 む 。 )が 設 置 で き る こと。 重量 150kg 以内(本体＋冷却循環装置) 設置場所 北海道立工業技術センター 電子・真空部材資料評価室 電源：２００ V、３φ、 室内コンセント：有 引渡条件 設置場所に設置の上、試運転検査を行い、 動作を確認の上、引渡すこと。 備 考
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