中古物件情報 - 芝浦メカトロニクス

中古物件情報
芝浦エレテック
お問い合わせは
〒247-0006 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
TEL 045-896-0869 FAX 045-897-2467
210511
COPYRIGHT© SHIBAURA ELETEC CORPORATION. ALL RIGHTS RESERVED.
中古装置在庫
装置詳細
管理番号
HATGA10031/HATGA10053他
設備名
ケミカルドライ
エンチング装置
型式
CDE-80N
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
ｳｴﾊｻｲｽﾞ
６インチ、８インチ
使用ｶﾞｽ
CF4、O2,N2
ﾎﾟﾝﾌﾟ
仕様構成
圧力制御
ＡＰＣ方式
電源
μ波電源 SGP-10B（ﾀﾞｲﾍﾝ）
本体、μ波電源
構成
寸法
複数台保有
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中古装置在庫
装置詳細
管理番号
HATGA10003
設備名
ドライエッチング装置
型式
CDE-7-4
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
1996年
基板ｻｲｽﾞ
８インチ（２００ｍｍ）
使用ｶﾞｽ
CF4、O2、N2
A70W（ｴﾊﾞﾗ）
ﾎﾟﾝﾌﾟ
仕様構成
圧力制御
ＡＰＣ方式
電源
μ波電源SGP-10（ﾀﾞｲﾍﾝ）
本体、強電盤、制御盤
構成
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
寸法
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中古装置在庫
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管理番号
HATGA10008-1
設備名
アッシング装置
型式
μASH８１００
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
１９９８年
基板ｻｲｽﾞ
８インチ（２００ｍｍ）
使用ｶﾞｽ
CF4、Ｏ２
A70W（ｴﾊﾞﾗ）欠品
ﾎﾟﾝﾌﾟ
AA10N（ｴﾊﾞﾗ）
仕様構成
圧力制御
ＡＰＣ方式
電源
μ波電源 SGP-10B
本体、強電盤
構成
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
寸法
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管理番号
HATGA10023
設備名
エッチング装置
型式
RPA300
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
２００８年
基板ｻｲｽﾞ
300mm 2チャンバー
使用ｶﾞｽ
Ｏ２Ａｒ
なし
ﾎﾟﾝﾌﾟ
仕様構成
圧力制御
ＡＰＣ制御
電源
ＳＧＰ－３０（ﾀﾞｲﾍﾝ）
×２
本体、強電盤、ローダー
構成
BED-1（ＥＰＭ）
寸法
T:2714XW:2164XD:3354
TAS300 3ロードポート
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美品
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管理番号
HATGE10002
設備名
スパッタ装置
型式
CFS-8EP-45
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
1998年
基板ｻｲｽﾞ
８インチ（２００ｍｍ）
使用ｶﾞｽ
MFC Ar
粗引
ロータリーポンプ
ﾎﾟﾝﾌﾟ
主排気拡散ポンプ
圧力制御
仕様構成
電源
DC（1.0KW）
ＡＥ製
本体、強電盤、PUMP
構成
カソード 5インチ
2式
寸法
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中古装置在庫
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管理番号
HATGE10029
設備名
スパッタ装置
型式
CFS-4ES
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
基板ｻｲｽﾞ
Φ200逆スパッタステージ
O/H
未
ターボ分子ポンプ
ﾎﾟﾝﾌﾟ
ロータリーポンプ
圧力制御
仕様構成
電源
RF500Ｗ
ｶｿｰﾄﾞ 3インチ 3式
構成
300℃加熱ﾃｰﾌﾞﾙ
寸法
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研究開発用装置
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中古装置在庫
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管理番号
HATGE10037
設備名
スパッタ装置
型式
CFS-4EP-LL
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
FFT0207 2003年式
基板サイズ
Φ200逆スパッタステージ
O/H
未
ターボ分子ポンプ
ﾎﾟﾝﾌﾟ
ロータリーポンプ
仕様構成
圧力制御
無し
電源
RF500Ｗ
/ DC500W
ｶｿｰﾄﾞ 3インチ
3式
構成
ステージ加熱機構付き
寸法
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管理番号
HATGE10012
設備名
抵抗加熱型蒸着装置
型式
HCU-12P-70A
メーカー
芝浦メカトロニクス
年式
1983年式
基板ｻｲｽﾞ
プラネタリードーム型
O/H
未
拡散ポンプ
ﾎﾟﾝﾌﾟ
ロータリーポンプ
基板加熱
ランプヒーター式 1KW×6
式常用300°
寸法
真空槽
内径700×高さ550
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各所リノベーションが必要
仕様構成
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中古機器在庫品
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管理番号
HATGE10043-06
設備名
光学膜厚測定器
型式
ＦＥ-3000
メーカー
大塚電子
年式
2001年製
使用工程
O/H
未
備考
圧力制御
仕様構成
電源
構成
寸法
コメント
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現状有姿
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中古機器在庫品
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管理番号
HATBM10001-5
設備名
ドライポンプ
型式
A70W
メーカー
エバラ
年式
使用工程
ＤＲＹエッチング
O/H
未
備考
仕様構成
圧力制御
なし
電源
AC200V ３φ
メインポンプ
構成
ブースターポンプ
寸法
コメント
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中古機器在庫品
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管理番号
HATAP10011
設備名
クリーンベンチ
型式
PVC-1914BN
メーカー
日立
年式
使用工程
O/H
未
備考
仕様構成
電源
AC100V 1φ（790VA）
構成
寸法
現状有姿
コメント
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中古機器在庫品
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管理番号
HATGA10051
設備名
チラー
型式
CH-402B
メーカー
タイテック
複数台有
年式
使用工程
O/H
未
備考
仕様構成
電源
AC200V 3φ
構成
寸法
コメント
お問い合わせは
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