:消化器 S 装置配置図 B1F :消火栓 :CR酸素濃度表示 :自吸式呼吸器 昼夜連続運転機器 :緊急警報 警 報 ブ ザ ー 自吸式呼吸器 S 制御電源 サーモバック マスクレスナノ構造 形成装置 (エリオニクス) プラズマリアクタ UVO3クリーナー 電気炉 5-001 スピンコーター (RC8) ドラフト 冷蔵庫 保管棚 プラズマ CVD RTO 酸化炉 UV露光 装置 5-002 レーザ顕微鏡 ドラフト 電子ビーム 露光装置 (S-4300) S 有機 S コンプレッサ (廃液回収用) 用役室 電子ビーム 蒸着 明暗視野 光干渉式 触針式 膜厚計 膜厚計 顕微鏡 MZ50 搬 入 口 前室 更衣室 ダムウエーター 真空ポンプ コンプレッサ (各種機器用) エリプソメータ 作業台 シングルイオン 注入装置 レジスト アルカリ 保管庫 有機 無機 スピンコータ (ミカサ) エア シャワー 酸 廃液保管庫 CCP RIE 用役機械室 空調機械室 超純水 DEEP ICP RIE 薬品庫 O2 2006.3.2現在 Ar N2 2m 物 品 一 時 保 管 庫 1F 装置配置図 :消火栓 昼夜連続運転機器 :消化器 S S 危険物一時保管庫 警 報 ブ ザ ー :自吸式呼吸器 :緊急警報 S H2ボンベ (警報) 電子ビームリソグラフィ (局所化学修飾装置) ICP-RIE エキシマ 照射装置 スパッタ装置 (SPF332H) S 消火栓 屋外窒素発生器 S シャワー 前室 デシケータ 廃液保管棚 Miniscope プラズマ表面処理 及イオンコータ 装置 EVG810 ホットエンボス EVG520 超 精 密 天 秤 精 密 デジタル 天 マイクロスコープ 秤 測 長 顕 微 鏡 中和装置 O2 ボンベ エア ガス保管庫 更衣室 スプレーコーター EVG101 酸素濃度センサ 液化窒素供給設備 :CR酸素濃度表示 Ar ボンベ ダムウエーター N2 ボンベ コンプレッサ 地震監視システム 監視モニタ COE/NFD事務室 スパッタ装置 (SPC350) 監視モニター 酸欠警報BOX 遠方操作盤 連動操作盤 薬品庫 定温 乾燥機 会議室 FIB アニール炉 ボンド用アライナ (ナノインプリント) EVG620 ブラシ付メガソニック洗浄装置 EVG301 ドラフト アルカリ フッ酸 酸 有機 2m 2006.3.2現在 :消火栓 :消化器 2F 装置配置図 :CR酸素濃度表示 S :自吸式呼吸器 緊急シャワー :緊急警報 警 報 ブ ザ ー 201 走査プローブ 顕微鏡 多目的 実験台 202 超精密天秤 多目的実験 スペース テンコール 薬 品 庫 フッ酸 人材育成電 メガソニック 解メッキ装置 WYCO グロー放電装置 洗浄槽 有機 アルカリ 磁気工学測定装置 量子干渉型磁束計 ド ラ フ ト 分光光 度計 ド ラ フ ト 超純水製造装置 流し メッキ装置 酸 ド ラ フ ト ナ ノ メ ッ キ シ ス テ ム 蛍光観察装置 ダムウエーター 汎用SEM ボンダ、ダイボンダー A 有機 B 電気特性計測 冷蔵庫 薄膜物性 評価装置 SEM前処理装置 ド ラ フ ト CVメータ ESCA FE-SEM CMP研磨システム CMP-1 純水生成 卓上用 装置 C アルカリ CMP-2 薬 品 庫 共通薬品庫 ダイシングソー 薬 品 庫 アルカリ 薬品庫 酸 消耗品棚 電気化学 プロセスルーム 精密天秤 DMFC関連装置 CCD 顕微鏡 205 203 電気化学 薬品保管 プロセスルーム 冷蔵庫 ナノ 計測ルーム AFM装置 204 流し イ オ ン コ 微分干渉 ー タ 顕微鏡 半導体パラメータ アナライザー プローバ 給湯器 流し 恒温プローバ 2m 2006.3.2現在 共 通 薬 品 、 廃 液 一 時 保 管 庫 変更履歴 06.3.2の変更 1F-CR……エキシマ照射装置、卓上SEM(Miniscope)及びイオンコータを追加。プラズマICPをICP-RIEに名称改正。 2F-202……メッキ装置関連機器を電解メッキ装置(人材育成)に変更。CCD顕微鏡を表示。分光光度計を追加。 2006.3.2現在
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