1000シリーズ - エフコン株式会社

エフコン株式会社
製品紹介資料
エフコン株式会社
H27.3.3 Ver.3
0
製品ラインナップ
■アナログMFC
1000シリーズ
■アクセサリ：制御電源
PA01/PA01Pシリーズ
■アクセサリ：電源ケーブル
SC-**（長さで型番決定）
各製品のカタログは、弊社HPの製品詳細ページよりダウンロードできます。
エフコン株式会社
1
1000シリーズ│外観図
アナログMFC 1000シリーズ
現状5SLMまで対応、50SLMモデル開発中（今年中旬ごろ完成予定）
エフコン株式会社
1000シリーズ
1000シリーズ
5SLMモデル
50SLMモデル（開発中）
2
1000シリーズ│外形寸法図
1000シリーズ
5SLMモデル
エフコン株式会社
3
1000シリーズ│製品仕様
型式
C1000 / M1000
流量レンジ
10SCCM～5SLM
バルブ型式
サーマルバルブ
流量制御範囲
5～100％ F.S.
使用可能温度
5～50℃ 85％RH 以下
応答性
6sec
流量精度
±2％ F.S.（精度保証範囲 15～35℃）
再現性
±0.2％ F.S.
動作圧力範囲
50～300kPa
耐圧
1MPa(G)
外部リークレート
1×10-7Pa･ｍ3/sec (He) 以下
接ガス部材質
SUS316、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質
フッ素ゴム
駆動電源
+15VDC±5％ 60mA、-15VDC±5％ 150mA
通信方式
アナログ 0～5VDC（D-Sub9Pin コネクタ）
標準継手
1/4in.SWL, 1/4in.V-lok, 1/4in.F900, 1/4in.UJR，その他も対応可
エフコン株式会社
※今年中旬頃50SLMモデル完成予定
N/O：ノーマルオープン
4
ターゲット層・セールスポイント
【ターゲット層】
 大学・研究機関・一般産業など、産業や分野を問わず、
高精度で安定した流量計測制御を行いたいお客様。
【セールスポイント】
 他社のローコストモデルよりさらに、低価格を実現。
【他社MFCからの置き換え対応】
 コネクター形状に応じて、信号ケーブルや変換ケーブル等を自社
で制作し、置き換えに対応。
表：他社ローコストMFCとの価格比較
エフコン株式会社
会社名
弊社
他社
各社製品名
1000シリーズ
ローコストモデル
参考標準価格
（税抜）
¥69,000
¥98,500～
￥11,000
5
1000シリーズ│流量精度参考値
参考値：±0.5% F.S.
■測定方法
0.3
0.2
0.1
0
40
60
-0.2
40
60
80
100
80
100
Sample4(10->100)
Sample4(10->100)
0.3
0.2
0.1
0
-0.1
10
20
40
60
80
100
-0.2
-0.3
-0.4
-0.4
SET POINT(%F.S)
流量精度 Sample4(N2,5slm)
0.4
-0.3
エフコン株式会社
20
SET POINT(%F.S)
0.5
0.2
-0.5
10
-0.5
ERROR(%F.S)
0.3
ERROR(%F.S)
-0.1
-0.4
Sample3(100->10)
Sample3(10->100)
0.4
20
0
-0.3
流量精度 Sample3(N2,1slm)
10
0.1
-0.2
流量域ごとにサンプルMFCを用意し、
100% F.S.>10%F.S.>100% F.S. の順で
上下各六点のデータを取得。
-0.1
Sample2(100->10)
Sample2(10->100)
0.4
ERROR(%F.S)
→ ローコスト志向のため、
精度保証範囲を広くとり±2%F.S. 表記
（工数の短縮→コストの削減）
0.5
流量精度 Sample2(N2,100sccm)
0.5
-0.5
SET POINT(%F.S)
6
1000シリーズ│繰り返し性参考値
参考値：±0.2% F.S.
■測定方法
圧力50kPa, 300kPaの測定点において、
100% F.S.>10%F.S.>100% F.S. の順で
上下各六点のデータを取得。
繰り返し性 Sample5(N2,2SLM, 300kPa)
0.2
0.15
0.15
0.1
0.1
0.05
0
-0.05
100
80
60
40
20
10
-0.1
50kPa (100>10)
-0.15
50kPa (10>100)
-0.2
エフコン株式会社
SET POINT[% F.S.]
ERROR [% F.S.]
ERROR [% F.S.]
繰り返し性 Sample5(N2,2SLM) 50kPa
0.2
0.05
0
-0.05
10
20
40
60
100
300kPa (100>10)
-0.1
300kPa (10>100)
-0.15
-0.2
80
SET POINT[% F.S.]
7
1000シリーズ│フローサージ抑制機能
フローサージ抑制機能
スタート時30秒のインターバル時間を設けることで、
フローサージを抑制しています。
弊社MFC
他社MFC
1秒
上流側バルブオープン
0%-100% スタート時
エフコン株式会社
上流側バルブオープン
0%-100% スタート時
0%-100% スタート時
8
1000シリーズ│フローサージ抑制機能
弊社MFC
上流側バルブオープン
0%-50% スタート時
上流側バルブオープン
エフコン株式会社
0%-80% スタート時
他社MFC
上流側バルブオープン
0%-50% スタート時
上流側バルブオープン
0%-80% スタート時
9
PA01/PA01P│外観図
制御電源 PA01/PA01Pシリーズ
据置型とパネルマウント型の２種類を用意
※信号ケーブル別売（当社販売品）
エフコン株式会社
PA01
PA01P
据置型
パネルマウント型
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PA01/PA01P│外形寸法図
エフコン株式会社
PA01
PA01
据置型
パネルマウント型
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PA01/PA01P│製品仕様
型式
PA01（据置型）
PA01P（パネルマウント型）
入力電源
AC100V
電源出力
設定信号：0～5VDC
+15VDC：300mA, -15VDC：200mA
流量設定
0.25～5VDC（10回転ポテンションメーターにて可変）
流量出力
0～5VDC（背面端子にて出力可）
流量設定／出力表示
0.0～100.0％
表示切替（設定／出力）
トグルスイッチ
信号ケーブル用コネクタ
D-sub9Pin コネクタ（電源側メス）
使用環境
温度：5～50℃
湿度：30～80％（結露なきこと）
出力端子（設定／出力）
0～5VDC（表示切替トグルスイッチに連動）
エフコン株式会社
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製品ラインナップ（応用製品）
■電源一体型MFC
CUBEMFC1005シリーズ
■ガス混合器
CUBEMFC1005シリーズ
各製品のカタログは、弊社HPの製品詳細ページよりダウンロードできます。
エフコン株式会社
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CUBEMFC1005（応用製品）
制御電源一体型MFC CUBEMFC1005シリーズ
•
•
•
•
AC100V コンセントに接続するだけで計測制御が可能
流量設定/出力表示のみのシンプル設計
コンパクトサイズ：H150×D90×W127mm（1/4SWL）※突起部を含まず
入出力：アナログ（0～5VDC）背面に設定／出力電圧モニター用端子を装備
エフコン株式会社
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CUBEMFC1005（応用製品）
エフコン株式会社
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CUBEGM（応用製品）
ガス混合器 CUBEGMシリーズ
•
•
•
•
ユニットタイプの低価格ガス混合器
MFC・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワン
２～４種類の各ガスを流量制御し、混合ガスを供給
標準流量制御範囲：各ガス 10SCCM～50SLM（N2 換算）
エフコン株式会社
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保証及びアフターサービスについて
製品保証について
1. 保証期間
通常のご使用において万一故障した場合は、
弊社出荷後1年以内で下記4.項以外の故障品について無償で修理を致します。
2. 保証範囲は本体に限定し、本体故障によって生じた損害の賠償は行いません。
3. 交換部品の保証
交換後90日あるいは、1.項保証期間までのどちらか長い期間とします。
4. 免責事項
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
火災・天災等の災害など不可抗力によって生じた故障
取り扱いを誤ったため生じた故障
不適切な環境で使用あるいは保管された場合
本体の分解や改造を加えられたりした場合
定格仕様の範囲を超えて使用された場合
弊社製品1000シリーズ以外で使用された場合
その他、弊社の責任外と判断された場合。
故障時の対応について
基本的に修理対応はしますが、新規購入をお薦め致します。
（低価格品であり、多くの場合、修理費≧新規購入価格となる為）
エフコン株式会社
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H27.2.16時点
•
•
•
•
•
•
納入実績
(株)坂本技研様
パナソニック(株) 様
高知工科大学様
九州大学様
(株)グリーンテック様
その他、国内企業数社
主に大学・研究機関様からお引き合いを頂いております。
エフコン株式会社
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