電気／製品開発 テーブルコンピュータ用途の ３２インチ大型静電容量タッチパネルの開発 (株)タッチパネル研究所では新規透明導電膜を使 用してテーブルコンピュータ用途の３２インチ大型 静電容量タッチパネルの開発を実施しました。 ＜特長＞ 1. ＩＴＯ不採用のため、ディスプレイのコントラス トが向上。 2. テーブル表面がフルフラットでデザイン性が高 い。 3. １０点入力可能。・完全防水（天板部分）。・テー ブル表面が全面強化硝子。 当センターでは超深度形状測定顕微鏡観察等によ り、使用材料の材料特性・形状評価を実施しました。 共同開発企業：(株)タッチパネル研究所 モニター事業部 電話 042-649-7651 URL http://www.touchpanel.co.jp 問 合 せ 先 : 電子技術部 電子材料チーム 金子 智 （受託研究） 電気／製品開発 ＰＧシート（防着シート）における パーティクル発生に関する研究 半導体に代表される電子デバイスやハ ードコーティングなど、真空装置を用い たプロセスは必須です。この真空装置内 の付着膜が剥離し、パーティクルとなり 製品不良の一因となります。ＰＧシート はこの付着膜の剥離を抑制し、真空装置 の維持管理をサポートするシートです。 このシートのパーティクル発生を再現 するために、当センターのスパッタリン ＰＧシートの種類と施工方法 グ装置を用いて実際に用いられる金属薄 膜を様々な膜厚で成膜し、剥離の状況やパーティクルの発生起点の観察などにより、こ のシートの効果や課題を見出し、その解決に向けて支援しました。 共同開発企業：株式会社サンリック 営業部開発課 電話 03-3790-0061 URL http://www.sunric.com/ 問 合 せ 先 ：電子技術部 電子デバイスチーム 三橋雅彦 （受託研究） − 16 −
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