電気／製品開発 MEMS 技術を応用したマイクロ風洞型風速計 一定温度に加熱した白金線などのヒータに 風が当たると、風速に応じて熱が奪われます。 この熱量を計測することによって風速を求め るのが熱式風速計の原理です。 この熱式風速計のヒータ部をマイクロマシ ニング技術により小型化することによって、従 来よりも高速応答化、低消費電力化が期待でき ますが、一方ではヒータの形状の非対称性に起 因する風速特性および風向特性の不安定化と いう問題がありました。そこで、ヒータ近傍の 流れを整流化する構造（マイクロ風洞）とヒー タを組み合わせることによって、風速特性・風 向特性を改善することができました。 センサヘッド センサシステム 共同開発企業：株式会社アイ電子技研 技術部 菅野洋一 電話 046-233-2232 URL http://www.iet.co.jp/ 問 合 せ 先 ：電子技術部 電子デバイスチーム 八坂慎一 写真・図 （産学官連携促進研究開発事業）
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