電気／製品開発
MEMS 技術を応用したマイクロ風洞型風速計
一定温度に加熱した白金線などのヒータに
風が当たると、風速に応じて熱が奪われます。
この熱量を計測することによって風速を求め
るのが熱式風速計の原理です。
この熱式風速計のヒータ部をマイクロマシ
ニング技術により小型化することによって、従
来よりも高速応答化、低消費電力化が期待でき
ますが、一方ではヒータの形状の非対称性に起
因する風速特性および風向特性の不安定化と
いう問題がありました。そこで、ヒータ近傍の
流れを整流化する構造（マイクロ風洞）とヒー
タを組み合わせることによって、風速特性・風
向特性を改善することができました。
センサヘッド
センサシステム
共同開発企業：株式会社アイ電子技研 技術部 菅野洋一
電話 046-233-2232 URL http://www.iet.co.jp/
問 合 せ 先 ：電子技術部 電子デバイスチーム 八坂慎一
写真・図
（産学官連携促進研究開発事業）