FE-AES/μ-XPS - メルコセミコンダクタエンジニアリング

表面分析サービス（ＦＥ-ＡＥＳ/μ-ＸＰＳ）
ｎｍオーダーの極表面における表面分析アプリケーションのご紹介
メルコセミコンダクタエンジニアリング(株) お問い合わせ先：ＴＥＬ（０９２）８０５−３８３４ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：//ｗｗｗ．ｍｓｅｃ‐ｍｅｌｃｏ．ｃｏ．ｊｐ
ＡＥＳ
ＸＰＳ
ＴＯＦ-ＳＩＭＳ
絶縁物
×
○
○
定量性
○
○
×
取得情報
×
（元素情報）
△
○
（化学状態）（構造・組成）
（μ-ＸＰＳ：ＱｕａｎｔｅｒａⅡ）
（ＦＥ-ＡＥＳ：ＪＡＭＰ７８３０）
例えば
こんなことが出来ます!
[ＡＥＳ]表面定性分析&深さ方向分析（Ａｇメッキ表面の変色部評価）
Ａｇ
Ｃ
変色部に１００ｎｍ程度
のＳの存在を確認
×分析Ｐｏｉｎｔ
ＮＯ
ＳＡｇ
Ｎａ
Ｃ
１０μｍ
光学観察像
Ｎａ
二次電子像
Ｓ
Ｎ
Ｏ
表面定性スペクトル
深さ方向分析
表面から数ｎｍ∼数十ｎｍ程度の元素の存在を確認する事が可能
[ＸＰＳ]深さ方向分析(Ｃｕフレーム上のＳｎめっき表層構造評価)
最表面
最表面
100
Sn
90
Ｓｎ単体
80
ａｔｏｍ％
ａｔｏｍ％
100
Ｓｎ（単体）
90
80
70
70
60
60
分析方向
Ｓｎめっき
酸化膜
Ｓｎめっき
Ｃｕフレーム
Ｓｎ酸化物
50
50
40
40
30
30
O
20
Ｓｎ（酸化物）
O
20
Cu
Cu
10
10
C
C
0
0
0
50
100
Ｄｅｐｔｈ（ｎｍ：ＳｉＯ２)
150
0
50
100
Ｄｅｐｔｈ（ｎｍ：ＳｉＯ２)
化学状態をデプスプロファイルに反映することで、詳細に層構造を把握することが可能
150

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