0.1ｍｍピッチ4探針プローブ 分 析 関 連 商 品 小さなサンプルの電気抵抗測定に最適！ a c c u ra t e m ea s u r e m e n t o f el ec t r i c a l r es i s t a n c e i n a t i ny a r ea 0.1ｍｍピッチ4探針プローブ 探針間隔0.1ｍｍの４探針電気抵抗測定プローブです。 空間分解能を，従来プローブに比べ１ケタ向上させ，サ ブミリ領域の電気抵抗測定を可能にしました。導電材料 、半導体材料に関して、開発における簡易評価、生産に おけるモニタとしてご利用いただけます。 半導体、金属膜、透明導電膜、傾斜機能材料、粉末冶金 材料など電極付け等のパターニングなしでプローブをサ ンプルにあてるだけで測定できます。通常の測定系(電 流源、電圧計）がそのままご利用いただけます。 ■【0.1ｍｍピッチ4探針プローブ】仕様 測 定 方 式 直流4端子法 空 間 分 解 能 約0.5ｍｍ 標 準 探 針 Ｓｉ用ＷＣ探針（測定対象素材に応じてご相談を承ります） 測 定 対 象 各種半導体膜、金属膜の他、導電性塗布膜、 透明導電膜、粉末冶 金材料、傾斜機能 材料など各種導電性材料 このような材料の電気抵抗測定に！ 導電性塗布膜 透明導電膜 粉末冶金材料 小さな抵抗測定領域 半導体 傾斜機能材料 金属膜 小ブロック 【0.1ｍｍピッチ4探針プローブ】 測定例 Pドープポリシリコンの抵抗測定 5ｍｍ角の一様な抵抗値のポリシリコン薄膜の測定例です。 従来のピッチプローブでは正確な値が測定できないのに対して、開発した0.1ｍｍピッチプ ローブでは周辺0.5ｍｍ程度の領域を除いて、正確なシート測定が可能です。 本プローブは通常の測定系(電流源、電圧計）がそのままご利用いただけます。 本プローブ専用の簡易測定治具や手動測定装置も用意しています。本プロー ブは平坦なシリコンや金属膜などの測定用ですが、特殊用途の測定プローブ 作成に関してもご相談に応じます。 *文中記載の会社名及び製品名は、各社の商標または登録商標です。 *本カタログ記載の内容は予告なく変更することがあります。 お問い合わせ先 PS201412Z Tel : 046-250-3678 E-mail: [email protected] http://www.keytech.ntt-at.co.jp/ 先端プロダクツ事業本部 材料分析センタ 〒243-0124 神奈川県厚木市森の里若宮3-1
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