マイクロ波導波管コンポーネンツ (EIAJ規格に準拠) マイクロ波の伝送システムに必要な各種コンポーネンツを用意しています 。 ■ 接続管 名称 ストレート管 (STA) 面間寸法 50, 100 導波管規格 WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) 仕様 規格 FLANGE POWER 説明 WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) TBR-2A2 FUDR22(BRJ-2) 5kW CW (MAX) V.S.W.R. WEIGHT (L=200) < 1.1 0.4Kg 0.8Kg COLOR Eコーナー管(ECA) 規格 50, 100 WRT-2 (WST-AD) FLANGE WRI-22 (WRJ-2) FREQUENCY POWER N7(GREY) WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) TBR-2A2 FUDR22(BRJ-2) 5kW CW (MAX) < 1.2 0.4Kg 0.75Kg COLOR Hコーナー管(HCA) 100 N7(GREY) 規格 WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) WRT-2 (WST-AD) FLANGE TBR-2A2 FUDR22(BRJ-2) WRI-22 (WRJ-2) FREQUENCY POWER V.S.W.R 2450±20MHz <1.2 <1.1 AL COLOR N7(GREY) *オーダーリングインフォメーション:名称+規格名+面間寸法をご指定下さい。 名称 変換仕様 型式 仕様 GAD-N1 規格 FLANGE POWER N型変換器 FREQUENCY WRT-2 (WST-AD) →N型 GAD-N2 500g λ/4変成器 GAD-1/4 < 1.2 < 1.1 N7(GREY) TBR-2A2/FUDR22(BRJ-2) 2450±20MHz POWER 5kW CW (MAX) V.S.W.R. < 1.3 WEIGHT 0.7Kg COLOR N7(GREY) FREQUENCY 同軸(N型コネクタ)と導 波管の間でマイクロ波を 損失なしに伝送する変 換器です。 2450±100MHz <0.2db FLANGE WRT-2 (WST-AD) →WRI-22 (WRJ-2) 100W CW (MAX) 2450±30MHz <0.1db COLOR GAD-T WRI-22 (WRJ-2) FUDR22(BRJ-2) LOSS FREQUENCY 導波管 テーパー管 アダプター WRT-2 (WST-AD) TBR-2A2 300g FLANGE WRT-2 (WST-AD) →WRI-22 (WRJ-2) 説明 WIGHT V.S.W.R. H面で90度曲げた導波 管です。コーナー形式で 省スペースです。 5kW CW (MAX) MATERIAL WRI-22 (WRJ-2) →N型 E面で90度曲げた導波 管です。コーナー形式の ため省スペースで導波 管回路の方向を変えら れます。 2450±20MHz V.S.W.R. WEIGHT (L=100) 発振器からプラズマ負 荷にマイクロ波を伝送す る直管です。 TBR-2A2/FUDR22(BRJ-2) 2450±20MHz POWER 5kW CW (MAX) V.S.W.R. < 1.3 WEIGHT 0.4Kg COLOR N7(GREY) 二種の異なる寸法 (WRT-2(WST-AD)と WRI-22(WRJ-2))の間を 低損失でマイクロ波を伝 送するための変換です。 テーパーを使用せず、 λ/4で異なる規格の導 波管を接続します。 ■ スリースタブチューナー タイプ 規格 WRT-2 (WST-AD) 型式 仕様 WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) FLANGE TBR-2A2 FUDR22(BRJ-2) MAX. POWER 1.3 kW CW 1.5 kW CW 規格 WT1 導波管 FREQUENCY WRI-22 (WRJ-2) 2450 ± 20 MHz TUNING RANGE WT2 TSTB201 N型 プラズマ負荷からの 反射波を低減するた めに使用します。パ ワーメータで入射・反 射電力をモニタしな がら調整します。 V.S.W.R. 10 MAX. WEIGHT 1.5 kg COLOR 同軸 説明 2.5 kg N7 (GREY) CONNECTOR N-PR (PLUG) MAX. POWER 200 W FREQUENCY 2450 MHz スリースタブチュー ナーの同軸タイプで す。マイクロ波出力 が200Wまでのときに ご利用いただけます。 ■ パワーモニタリングシステム (準備中) 規格 WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) 型式 方向性指示器仕様 規格 PM8 FREQUENCY PM2 PM3 WRI-22 (WRJ-2) N型同軸 2450 ± 30 MHz POWER 1.5 kW 3 kW 100 W CW COUPLING CONSTANT -53 dB -53 ± 1 dB -49 ± 3 dB DIRECTIVITY > 20 dB INSERTION LOSS WEIGHT N型同軸 WRT-2 (WST-AD) 説明 Negligible 0.8 kg (200mm) PICK-UP CONNECTOR < 0.2 dB 1.5 kg (一面型) マイクロ波電力をモニタ するシステムです。方 向性指示器、クリスタル マウント、パワーモニ ター、ケーブルの構成 品です。 入射・反射をそれぞれ モニタ出来、チューニン グの最適化に必須です。 0.5 kg (標準) N-J 0~20 mW PICK-UP POWER ■導波管送風機 規格 WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) 型式 仕様 説明 WGC100-WST-AD-50 WGC100-WRJ-2-50 規格 WRT-2 (WST-AD) WRI-22 (WRJ-2) 管長 50mm 50mm 導波管内に送風し て、プラズマ輻射熱 で石英などの放電 部位が溶解するこ とを阻止します。
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