Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF

測定顕微鏡
Catalog No.14003 (8)
光学機器
MFシリーズ/MF-Uシリーズ
1
測定顕微鏡への期待
測定顕微鏡は観察機能に測定機能が付加された顕微鏡です。
半導体・電子電気部品・精密自動車部品・樹脂成型・工具・医療品などその被検物はさまざまであり、接触測定できないようなやわらかい被検物や測定プローブで接触でき
ないほど小さい穴径などの測定シーンに応えてくれます。
測定顕微鏡に求められる重要な要素は光学性能・トータル精度・操作性のバランスです。今まで見えなかったもの見にくかったものが観察でき、
さらに測定もできる。測定
顕微鏡への期待は今後もますます大きくなり、同時に求められるのは人にやさしいこと、測定データの高スループット、地球環境にやさしいことだと考えています。産業の
マザーテクノロジーを支える責任を果たすべく、
こだわりと信念を持ち続け、高品質・高品位の測定顕微鏡をお届けしていきたいと考えています。
開発・設計から納入後のサポートまで
レンズ・鏡筒（光学系）を含めた顕微鏡ボディから本体内蔵の高精度デジタルスケールまで、すべて自社で開発設計製造しています。
自社開発設計だからこそできる特別仕
様のご相談や特注製作等の対応に積極的にお応えしてまいります。
顕微鏡本体は、生産工場からご希望の最終場所までの運送・設置・調整まで責任を持って対応させていただきます※。
また、顕微鏡本体の梱包箱はリサイクル方式を採用し
ておりますので、納入先のお客様で可能な限り廃棄物を出さないように考えております。調整後は、
ご要望に応じて保守契約等の万全のアフターサービス体制をとっており
ますので、長く安心してお使いいただけます。
※専用便で運送した場合。
2
ラインアップ
高精度測定を実現。
しかも、操作性を追求し、
さまざまなモデルをラインアップ。
新たに、Z軸モータドライブモデルをラインアップしました。
標準機
X軸、Y軸のステージ操作は、ハンドルから手を外さずに、
簡単位置合わせができる当社独自のクイックリリース機構が感覚的操作を実現します。
測定顕微鏡
MF シリーズ
特長：P7 ∼
仕様：P11 ∼
軸モータドライブ
Z
・・軸モータドライブ
X
Y
Z
3
ユニバーサル測定
顕微鏡
MF-U シリーズ
特長：P7 ∼
仕様：P13 ∼
標準機のX 軸、Y 軸のステージ操作は、
そのままに、Z 軸をモータドライブ化し、
直感的な操作を可能にするジョグシャトルで大胆上下動操作ができます。且つ、正確なピント微調整も可能です。
Z 軸モータドライブ
測定顕微鏡
MF シリーズ
特長：P19 ∼
仕様：P22 ∼
Z 軸モータドライブ
測定顕微鏡
MF-U シリーズ
特長：P19 ∼
仕様：P23 ∼
X、Y、Z 軸をモータドライブ化し、ステージ移動やピント合わせが容易に行なえ、疲労を軽減します。
モータドライブ
測定顕微鏡
MF シリーズ
特長：P25 ∼
仕様：P29 ∼
モータドライブ
測定顕微鏡
MF-U シリーズ
特長：P25 ∼
仕様：P30 ∼
モータドライブ
測定顕微鏡
MF-U シリーズ
(LAF モデル)
特長：P25 ∼
仕様：P30 ∼
目次
・測定顕微鏡
MFシリーズ
特長 ------------------------------------------------------------------------------- P7～10
仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P11～12
外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P15
ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P17
・オプション
レンズ --------------------------------------------------------------------------------------------------P35～36
照明 ------------------------------------------------------------------------------------------------------P37～38
マニュアル画像計測　画像ユニット --------------------------------------------P39
二次元データ処理装置 QM-Data200 --------------------------------------------P40
顕微鏡用デジタルカメラシステムImageX PRO 3000--------------------P41
フォーカスパイロット、スライド式ノーズピース、
レボルバ ------------P42
微動付回転テーブル、Vブロック台、傾斜センタ、--------------------------P43
クランプ装置、
ステージアダプタ
・ユニバーサル測定顕微鏡
MF-Uシリーズ
特長 ------------------------------------------------------------------------------- P7～10
偏光装置、微分干渉ユニット、照明フィルタ、----------------------------------P44
Cマウントアダプタ、0.5×TVアダプタ、対物ミクロメータ
設置台、防振台、
レンズクリーニングセット -------------------------------------P45
レチクル ----------------------------------------------------------------------------------------------P46
仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P13～14
外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P16
ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P18
・Z軸モータドライブ測定顕微鏡
MFシリーズ/MF-Uシリーズ
特長 ------------------------------------------------------------------------------- P19～21
仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P22～23
外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P24
ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P33～34
・モータドライブ測定顕微鏡
MFシリーズ/MF-Uシリーズ
特長 ------------------------------------------------------------------------------- P25～28
仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P29～30
外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P31～32
ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P33～34
4
光学性能の追求～顕微鏡の本質
光学設計の顕微鏡鏡筒と対物レンズによって、光学系内に発生するフレアを
極力抑え、被検物の微細なディテールを明るくすっきり表現します。黒色樹脂
の表面も高コントラストでクリアに観察できます。MF-Uシリーズは定評ある FS
光学系金属顕微鏡ヘッドを搭載しており、3原色を補正した色再現性の高い鮮
やかな像を表現します（対物レンズはプランアポクロマート仕様※）。
照明系をLEDとハロゲンから選択でき、光学系内で照明効率を一段と高め十分
な照度を確保していますので、効率的で疲労感の少ない高倍率測定・暗視野
観察環境を提供できます。
※像面全域における湾曲収差および3原色（青・黄・赤）の波長域における色収差を補
正した仕様
測定精度の追求～ JIS 0級にせまる測定精度
（MF D・MF-UD 共通）
参考）JIS B 7153　測定顕微鏡　各軸の測定精度（20℃）
0級（2+0.01L）µm以下
1級（4+0.02L）µm以下　L=測定長mm
測定精度
（2.2+0.02L）µm以下
X・Y軸：
サンプル
0
規格
X軸測定精度
測定範囲
測定顕微鏡は光学性能だけでなく総合的な測定精度も高いレベルでなければなりません。
全ステージサイズにおいて上記規格の測定精度を実現しています※。
ロングストローク測定と高精度を同時に実現していますのであらゆる測定シーンでお役に立てると考えてい
ます。
※JIS B 7153のXY軸各軸の測定方法に準拠しています。上記測定精度グラフはサンプルであり、全ての本体精度を表しているものでは
ありません。
顕微鏡本体に内蔵するデジタルスケールは光電式透過型リニアエンコーダ（最大応答速度50m/min）
で世界
最高水準のスケール精度評価技術をもつ地下研究棟で開発された高精度仕様です。
弊社は線度器（長さ500mmまでの標準尺）の校正で国内初のISO/IEC 17025 (JCSS) 認定を取得しています。
安心してお使いいただくために～国家標準へのトレーサビリティ
ミツトヨでは日本の国家標準にトレーサブルな長さ標準器を
保有し、測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うこと
により、各種測定機器のトレーサビリティ確立と維持を行って
います。
国家
標準
産業技術総合研究所計量標準総合センター
（NMIJ/AIST）
協定世界時に同期した原子時計及び光周波数コム装置
二次
標準
ミツトヨ宇都宮計量標準
キャリブレーションセンタ
（JCSS認定事業者 No.0031）
長さ用633nmよう素分子吸収線波長安定化He-Neレーザ装置
実用
標準
ミツトヨ宇都宮計量標準
キャリブレーションセンタ
長さ用633nm実用波長安定化He-Neレーザ装置
光波干渉測長機（標準尺用）
実用標準
標準尺・基準スケール
測定顕微鏡
5
測定顕微鏡によるソリューション
微小エリアの観察検査
MFシリーズは、豊富な照明を併用することによって被検物の色再現性やリアリティ
をより高めた観察検査を可能とします。
MF-Uシリーズは、暗視野（明視野では見えにくい表面の傷や欠陥を検出できる観
察）
・簡易偏光（ポラライザ・アナライザを通して偏光特性に応じた色合いやコント
ラストの観察）
・微分干渉（偏光フィルタと微分干渉プリズムを併用し、表面の微細
な段差などを色のコントラストで観察）等の金属顕微鏡観察に測定機能がついた
高付加価値顕微鏡です。
明視野観察
暗視野観察
偏光観察
微分干渉観察
誰でも簡単に顕微鏡撮影
MF-UB1010D＋ImageX PRO 3000
顕微鏡用デジタルカメラを装着すれば誰でも簡単に顕微鏡撮影ができます。汎
用性が高い Cマウントアダプタを採用していますので、Cマウント対応のデジタル
カメラであればどの機種でも装着することができます。また、モニタに表示され
た顕微鏡画像を多人数で同時に解析評価したり、画像を添付した検査表作成を
システム化できます。
顕微鏡用デジタルカメラシステム【ImageX PRO 3000】は、撮影印刷機能はもと
より画像解析機能やメール送信機能などを備えています。
顕微鏡ベースの高解像測定
MF-B2017D＋画像ユニット
測定顕微鏡に画像測定オプション【画像ユニット】を搭載すれば、マニュアル画像
測定システムを構築できます。ステージの移動量を常にソフト側で通信している
為、カメラの撮像範囲内（画面内）だけでなく画面に入りきらない広範囲測定にも
対応しています。
また、自動エッジ検出機能が効率的でスループットが早い測定環
境を提供します。
しかし一方では、カメラによる解像力よりも接眼レンズ越しに見る解像力が勝るケ
ースもあります。例えば、黒色の樹脂成型品の表面状態はカメラ
（モニタ観察）
より
も肉眼で直接見た方がクリアに見えることがあり、表面状態等の確認もできる測定
顕微鏡は非常に付加価値が高いシステムと言えます。
この場合の寸法測定では、
測定顕微鏡本体に二次元データ処理装置【QM-Data200】
（専用電装）を接続して
お使いいただくことをお奨めします。
MF-UB1010D＋QM-Data200
6
測定顕微鏡 MFシリーズ
ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ
スライド式ノーズピース
（オプション）
を装着することで、対物レンズの素早い倍率変換と多彩　カウンタ表示部の取付位置を変えることができ、操作性を向上しました！
スライド式ノーズピース
新設計
（MF Dの工場オプション）
スライド式ノーズピースに対物レンズ2本の装着例
MF（有限補正光学系）の測定顕微鏡は通常、対物レンズは1本しか装着できません
ので、
倍率変換時には一度外して対物レンズを付け替えなくてはなりません。
スライド式ノーズピースは2本まで対物レンズの装着が可能なため、瞬時に倍率
変換ができます。
また、新設計のスライド式ノーズピースはLEDリング照明装置を装着することがで
きるようになりました。
これにより、素早い倍率変換と多彩な照明に対応します。
7
スライド式ノーズピースに対物レンズとリングLED照明の装着例
な照明に対応します。
視認性の高いデジタル表示
新設計
（MF D・MF-U D共通）
カウンタ前面
カウンタ裏面
全機種標準付属のデジタルカウンタ（2 軸・3 軸）の最小表示量は 1µm / 0.5µm /
0.1µmの切換ができ、高分解能測定を可能にします。また、ゼロセット・ディレクシ
ョン切換・スムージングが標準機能となります（ゼロセットは XYハンドル近くのス
イッチでも可能です）
。
表示部は大型を維持しつつ薄型のカウンタになり、自由に取付位置を変えること
が可能なため、オペレータの最適な位置に調整が可能です。デジタルカウンタは
コラムの左右どちらにも取付が可能です。
また、データ出力は汎用性の高いRS-232Cを採用しておりますので汎用プリンタや
パソコンへのデータ出力に対応しています。カウンタ表示のみの表計算ソフトへ
の出力も可能です。
8
測定顕微鏡 MFシリーズ
ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ
高い合焦再現性による高さ測定
（MF Dのオプション・MF-U Dの工場オプション）
詳細はP42を参照ください。
広視野観察
（MF D・MF-U D共通）
顕微鏡で段差などの高さ方向を測定する場合は、合焦の再現性が重要なポイント
になります。特に対物レンズの焦点深度による測定誤差は避けられません。
測定顕微鏡MF/MF-Uシリーズには合焦再現性を高めるフォーカスパイロットをオ
プションで用意しています。
フォーカスパイロットは顕微鏡本体のTVカメラポート
部にアドオン装着し、高精度かつ再現性の高い合焦位置検出を可能とします。
目視に比べ再現性が向上し、個人誤差による測定値の変動が小さくなります。
合焦したい部分の大きさや被検物の表面状態や材質等に応じて選べるフォーカ
スパターンは2種類あり、
クリアで明るい高輝度LED（緑色または赤色）を光源に採
用しています。無段階で明るさを調整できる合焦パターンは接眼レンズ上および
TVモニタ上で確認することができますので、測定スループットを大幅に短縮しま
す。
①
①
②
②
クラス最大の視野数※ 24mm（WF10×の場合）の接眼レンズで
覗く実視野は広く、長時間にわたる観察・測定でも眼への負担
が小さく疲労感もほとんどありません。WF10×接眼レンズは、
左右個別の視度調整範囲が従来品に比べ広くなっています。
※対物レンズ1×時に視野全体で確認できる被検物上の範囲
MF
透過・反射照明はLED照明・ハロゲン照明から選択
（MF D・MF-U D共通、必須選択オプション）
LED透過照明部（MF /MF-Uシリーズ） LED反射照明部（MFシリーズ） LED反射照明部（MF-Uシリーズ）
顕微鏡本体の同軸照明はLED照明とハロゲン照明から選択することができます。
こ
れまでのハロゲン照明による観察測定をご希望される場合はハロゲン照明を、
ラ
ンプ切れ時の交換時間のロスを低減して高輝度で調光反応が早い照明をご希望
される場合はLED照明を選択することができます。
LED照明は寿命が長く※1、突然点灯しなくなることはありません。
また、蛍光灯のようなチラツキがなく色温度の変化もないので、見え方・明るさ・色
合いが変わりません。長時間観察での目の疲れを軽減します。消費電力も少なく可
視光以外の放射がほとんどありませんので、発熱も少なく経済的かつ被検物への
熱影響を抑えた測定が可能です※2。衝撃にも強く、環境に有害な物質を含んでいま
せんので長く安心してお使いいただける照明光源といえます。
MF/MF-Uシリーズは全機種に透過・反射照明絞り機構を標準で搭載しています
ので、光の回折を抑えた観察測定が可能です。
※1：常に最大照度でご使用になると寿命が短くなります。
※2：MF D・MF-U D用LED照明装置にはさらなる熱影響対策として、冷却ファン
（静音仕様）
を内蔵しています。
LED照明イメージ
9
ハロゲン照明イメージ
220mm
クイックリリース機構※1＆ゼロセットスイッチ内蔵※2
ロングストロークまで網羅したステージバリエーション
（MF D・MF-U D共通）
m
220m
Z軸
300mm
（MF D・MF-U D共通）
220mm
30
220mm
ゼロセット
スイッチ
m
0m
クイックリリース
ハンドル
Y軸
200mm
300mm
X軸 400mm
MF-B4020D
XYハンドル内側のクイックリリースハンドルでステージ送りを大粗動/微動（FREE/
LOCK）に切換できます。
ステージが完全フリー状態になりますので測定位置の距離が長い場合や基準位
置に早く戻る際などにとても便利です。
本機構はツイストローラー方式を採用していますので切替時にほとんど衝撃がな
く、滑らかな送りを体感できます。
また、ハンドル近くにカウンタのゼロセットスイ
ッチを内蔵※2していますので、ピント合わせ以外はほとんどハンドル周辺から手
を離すことなく接眼部に意識を集中して測定ができます。
※1：国内特許登録済
※2：ゼロセットスイッチの内蔵はXY軸のみとなります。Z軸ゼロセットスイッチは内蔵では
ありません。
両側Z軸ハンドル標準
（MF D・MF-U D）
被検物は微細なものから大きなものまでその寸法はさまざまです。
業種を問わず広くご使用いただいている測定顕微鏡だからこそ測定ストロークに
は多くのバリエーションをもたせています。
本シリーズでは、基板やシャフト、刃工具等の測定に有効な400mm（X軸）×200mm
（Y軸）×220mm（Z軸）のロングストローク測定を可能にするステージをご用意し
ています。標準機はZ軸220mmになりますが、コラムアップ仕様のZ軸拡張にも対
応させていただきます。
また、被検物をテーブル移動方向に平行に定置させる際に便利なスイベル回転
機構※も標準装備しています。
※Y軸170mmサイズ以上のみ
ティルティング鏡筒標準搭載
（MF-U Dのみ）
高剛性コラムベース
（MF D・MF-U D共通）
MF D
MF-U D
Z軸ハンドルはコラムの両側に標準化してい
ますので操作する方の利き手を選びません。
また、デジタルカウンタはコラムの左右どち
らにも取付が可能ですので利き手に合わせ
た操作環境を実現できます。
人間工学を考慮し、ハンドル位置は女性の方
でも快適に操作できる設計になっています。
操作する方の体格に合わせた位置にアイポイ
ント調整が可能なため快適に観察できます。
附視角は0～30˚で任意の位置で固定できます。
また、鏡筒内部のレチクルは交換可能です。
低倍率から高倍率まで任意の総合倍率で
観察・測定するには鏡筒を保持するコラ
ムおよび顕微鏡全体を支えるベースの剛
性がしっかりしていなければなりません。
本シリーズは落下試験※・輸送試験※・スム
ージング試験などさまざまな角度から評
価を繰返し、
フルストロークにおいてブレ
のない見えと安定した精度を実現してい
ます。
コラム内部には横リブを追加し剛性を高
め、ベース部の剛性向上および高精度測
定を実現するために、電源部をベース内
部から外に出し熱影響を抑えています。
コラム
※専用梱包状態での弊社独自試験
10
測定顕微鏡 MFシリーズ
特長
MF-B1010D
MF-B2010D
※双眼装置（接眼レンズ）
と照明装置は
オプションです。
※双眼装置（接眼レンズ）
と照明装置は
オプションです。
■フレアを抑えた鮮やかな正立像広視野観察
■このクラス最高レベルの測定精度を実現（JIS B 7153準拠）
■MF専用の高NA対物レンズMLシリーズを使用（長作動距離仕様）
■照明部（反射・透過）は高輝度LED照明またはハロゲン照明から選択可能（必須）
■可変開口絞り
（反射・透過）機構により、
コントラスト・分解能を調整することが可能
■豊富なステージラインアップで最大400×200mmを標準化
■大形サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構
■利き手を選ばない両側標準装備の粗微動ハンドルでジャストフォーカス＆観察測定
■最大2000×の高倍率接眼観察が可能
■画像ユニットや各種顕微鏡用デジタルカメラなど多彩なオプションも魅力的な測定顕微鏡の標準機
■静音設計
11
MF-B2017D
MF-B3017D
MF-B4020D
※双眼装置（接眼レンズ）
と照明装置は
オプションです。
※双眼装置（接眼レンズ）
と照明装置は
オプションです。
※双眼装置（接眼レンズ）
と照明装置は
オプションです。
仕様
Z軸測長無
Z軸測長有
符号
コードNo.
符号
コードNo.
鏡筒（接眼装置は必須選択オプション）
観察像
観察方法
接眼レンズ（オプション）視度調節可
対物レンズ（オプション）
最大被検物高さ
Z軸
送り機構
照明装置
（必須選択
オプション）
LED照明装置
ハロゲン照明装置
照明フィルタ
ステージ
測定範囲
上面寸法
載物ガラス有効寸法
スイベル量
最大積載質量
クイックリリース機構
ゼロセットスイッチ
測長系
測定精度※　（XY軸：無負荷時）
最小表示量
デジタルカウンタ表示軸
機能
本体外観寸法（W×D×H）
本体質量
照明装置用コントロールユニット　外観寸法　質量
最大消費電力（顕微鏡本体と照明装置）
MF-A1010D
176-861
MF-B1010D
176-866
MF-A2010D
176-862
MF-B2010D
176-867
MF-A2017D
MF-A3017D
MF-A4020D
176-863
176-864
176-865
MF-B2017D
MF-B3017D
MF-B4020D
176-868
176-869
176-870
）
単眼装置/双眼装置（附視角25°
TVカメラポート全機種標準装備、レチクル（鎖線十字線　線幅5µm）、光路切換（観察/TVカメラ＝50/50）
正立像
明視野観察
10×（視野数24）、15×、20× 注）単眼装置：10×レンズ1個標準付属、双眼装置：10×レンズ2個標準付属
ML対物レンズ　3×（標準付属）、1×、5×、10×、20×、50×、100×
150mm
220mm
1軸粗微動・左右両ハンドル(粗動:30mm/回転、微動0.2mm/回転)
透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･白色LED光源･無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明･可変開口絞り機構付･白色LED光源･無段階調光
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V
透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･12V50Wハロゲンランプ･無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明･可変開口絞り機構付･12V50Wハロゲンランプ･無段階調光・冷却ファン付き
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V
GIFフィルタ　1個標準付属（透過、反射ともに装着可能）
100×100mm
200×100mm
200×170mm
300×170mm
400×200mm
280×280mm
350×280mm
410×342mm
510×342mm
610×342mm
180×180mm
250×150mm
270×240mm
370×240mm
440×240mm
ー
±5（
°左）
±3（
°左）
10kg
20kg
15kg
XY軸標準
XY軸標準（MF-BタイプのみZ軸も標準）
562×730×667mm
67kg
高精度デジタルスケール
（2.2+0.02L）µm　L：測定長（mm）
1 / 0.5 / 0.1µm切換
X・Y軸（MF-BタイプのみX・Y・Z軸）
ゼロセット、ディレクション切換、RS232C出力、USB出力（QSPAK専用）
624×745×667mm
632×892×782mm
682×892×782mm
71kg
148kg
156kg
114（W）×360（D）×96（H）mm　LED:3.5kg ハロゲン:4kg
LED照明装置：45W　ハロゲン照明装置：160W
757×907×782mm
162kg
※測定方法は、JIS B 7153に準拠します。
ハロゲンランプ交換標準：No.513667（12V50W）
反射・透過用
ロングライフ：No.12BAB345（12V50W）
12
ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ
特長
MF-UB1010D
MF-UB2010D
※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。
※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。
■新フレアを抑えた鮮やかな正立像広視野観察
■このクラス最高レベルの測定精度を実現（JIS B 7153準拠）
■定評のあるFS光学系高NA対物レンズM Plan Apo / BD Plan Apo / G Plan Apoシリーズを使用（長作動距離仕様）
■金属顕微鏡と測定顕微鏡の機能を1台に集約し、高解像観察＋高精度測定ソリューションを提供
■照明部（反射・透過）は高輝度LED照明またはハロゲン照明から選択可能（必須）
※ハロゲン照明は透過用に1個のみとなりますので、反射用に別光源仕様をお求めください
■可変開口絞り
（反射・透過）機構により、
コントラスト・分解能を調整することが可能
■豊富なステージラインアップで最大400×200mmを標準化
■大形サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構
■利き手を選ばない両側標準装備の粗微動ハンドルでジャストフォーカス＆観察測定
■最大4000×の高倍率接眼観察が可能（M Plan Apo SL200×使用時）
■画像ユニットや各種顕微鏡用デジタルカメラなど多彩なオプションも魅力的な測定顕微鏡の標準機
■静音設計
13
MF-UB2017D
MF-UB3017D
MF-UB4020D
※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。
※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。
※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。
仕様
BF（明視野）
BD（明暗視野）
符号
コードNo.
符号
Z軸測長有
コードNo.
符号
Z軸測長無
コードNo.
符号
Z軸測長有
コードNo.
Z軸測長無
MF-UA1010D
176-871
MF-UB1010D
176-876
MF-UC1010D
176-881
MF-UD1010D
176-886
鏡筒
観察像
観察方法
接眼レンズ（オプション）　視度調節可
明視野（BF）
レボルバ
（必須選択オプション）明暗視野（BD）
明視野（BF）
対物レンズ
（オプション）
明暗視野（BD）
最大被検物高さ
Z軸
送り機構
照明装置
（必須選択オプション）
照明フィルタ
ステージ
LED照明装置
ハロゲン照明装置
測定範囲
上面寸法
載物ガラス有効寸法
スイベル量
最大積載質量
クイックリリース機構
ゼロセットスイッチ
測長系
測定精度※1（XY軸：無負荷時）
最小表示量
表示軸
デジタルカウンタ
機能
本体外観寸法（W×D×H）
本体質量
照明装置用コントロールユニット　外観寸法　質量
最大消費電力（顕微鏡本体と照明装置）
MF-UA2010D
176-872
MF-UB2010D
176-877
MF-UC2010D
176-882
MF-UD2010D
176-887
MF-UA2017D
MF-UA3017D
176-873
176-874
MF-UB2017D
MF-UB3017D
176-878
176-879
MF-UC2017D
MF-UC3017D
176-883
176-884
MF-UD2017D
MF-UD3017D
176-888
176-889
）、
ジーデントップ型眼幅調整51～76mm、
三眼ティルティング鏡筒（附視角0～30°
1×チューブレンズ内蔵、レチクル（鎖線十字線/線幅5µm）、
光路切換(観察/TVカメラ＝50/50）
150mm
MF-UA4020D
176-875
MF-UB4020D
176-880
MF-UC4020D
176-885
MF-UD4020D
176-890
正立像
明視野・暗視野（MF-UC・UDタイプのみ）
・簡易偏光・微分干渉
10×（視野数24　2個標準付属）、15×、20×
調心同焦マニュアルレボルバ/調心電動レボルバ（どちらかを選択）
マニュアルレボルバ/電動レボルバ（どちらかを選択）
M Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apo全レンズ
BD Plan Apo、BD plan Apo L全レンズ
220mm
1軸粗微動・左右両ハンドル（粗動:10mm/回転、微動0.1mm/回転）
透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･白色LED光源･無段階調光・冷却ファン付き
反射：明視野又は明暗視野ケーラ照明･可変開口絞り機構付･白色LED光源･無段階調光
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V
透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･12V50Wハロゲンランプ･無段階調光・冷却ファン付き
反射：明視野又は明暗視野ケーラ照明･可変開口絞り機構付･外部ファイバ照明（12V100W又は12V150Wハロゲンランプ）･無段階調光
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V
GIFフィルタ　1個標準付属（透過、反射ともに装着可能）
100×100mm
200×100mm
200×170mm
300×170mm
400×200mm
280×280mm
350×280mm
410×342mm
510×342mm
610×342mm
180×180mm
250×150mm
270×240mm
370×240mm
440×240mm
ー
±5（
°左）
±3（
°左）
10kg
20kg
15kg
XY軸標準
XY軸標準（MF-UB・UDタイプのみZ軸も標準）
高精度デジタルスケール
（2.2+0.02L）µm　L：測定長（mm）
1 / 0.5 / 0.1µm切換
X・Y軸（MF-UB・UDタイプのみX・Y・Z軸）
ゼロセット、ディレクション切換、RS232C出力、USB出力（QSPAK専用）
624×745×667mm
632×892×782mm
682×892×782mm
562×730×667mm
67kg
71kg
148kg
156kg
114（W）×360（D）×96（H）mm　LED/ハロゲン:3.5kg
LED照明装置：55W　ハロゲン照明装置：90W※2
757×907×782mm
162kg
※1：測定方法は、JIS B 7153に準拠します。　※2：透過照明部のみでの数値
ハロゲンランプ交換標準：No.513667（12V50W）
透過用
ロングライフ：No.12BAB345（12V50W）
ハロゲンランプ交換
詳細はP37をご覧下さい
反射用（別光源）
14
測定顕微鏡 MFシリーズ
外観寸法図
LED照明装置付きの図になります。
コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。
コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。
MF D
単位：mm
MF-B1010D
MF-B2010D
96
259
96
259
327
249
78
114
168
360
234+50
79
667
422
200
205
417
667
79
360
360
327
249
78
168
210
215
551
727+50
300+50
16
121
114
MF-B2017D
168
360
269+100
168
210
215
551
742+50
355+100
16
121
MF-B3017D
96
259
96
259
327
249
78
114
168
360
281+100
168
270
621
889+85
351+100
255
360
168
114
360
281+150
16
121
MF-B4020D
96
259
79
247
464
782
360
327
249
78
168
114
360
305+200
15
168
270
452+200
79
247
247
464
464
782
782
79
360
327
249
78
621
904+100
255
16
121
168
401+150
270
621
889+85
255
16
121
ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ
外観寸法図
LED照明装置付きの図になります。
コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。
コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。
MF-U D
単位：mm
MF-UB2010D
259
259
96
171
171
667
570
667
565
168
360
234+50
205
200
114
96
356
231
125
360
356
231
125
360
MF-UB1010D
168
210
215
551
727+50
300+50
16
121
114
MF-UB2017D
168
360
269+100
168
210
215
551
742+50
355+100
16
121
MF-UB3017D
96
259
96
259
168
114
360
281+100
247
247
612
612
782
782
171
171
360
356
231
125
360
356
231
125
168
270
621
889+85
351+100
255
168
114
360
281+150
16
121
168
401+150
270
621
889+85
255
16
121
MF-UB4020D
96
259
247
612
782
171
360
356
231
125
168
114
360
305+200
168
270
452+200
621
904+100
255
16
121
16
測定顕微鏡 MFシリーズ
オプション
ダイアグラム
TV観察/
画像保存
本体照明
(反射＋透過)
本体透過照明用フィルタ
GIFフィルタ
12AAA645
ND2フィルタ
12AAA643
RS-232Cケーブル（クロス）
サーマルプリンタDPU-414
12AAA807
（接続ケーブル付）:
※D-sub9pin両側メスになります。 12AAD032
Image X PRO 3000
00AAB008
LB80フィルタ ND8フィルタ
12AAA646
12AAA644
LED照明装置
176-445
データ演算処理
Cマウント
970441
フットスイッチ（高剛性タイプ）:
QM-Data200
0.5×TVアダプタユニット
375-054
12AAJ088
QM-Data200
264-155
外部プリンタ（ESC/P）ケーブル:
12AAA804
ハロゲン照明装置
176-447
合焦検出
画像ユニット
フォーカスパイロット
FP-05（LED仕様）
375-057（緑）/375-058（赤）
接眼装置
12AAJ088
359-795
176-392
QSPAK VUE V5.0
12AAR097
双眼装置(接眼レンズ10×:2個付)
データ処理装置
単眼装置(接眼レンズ10×:1個付)
フットスイッチ
（高剛性仕様）
画像ユニット10D
校正用チャート
02AKN020
校正用チャート
（ホルダ付）
02ATN695
12AAR088
176-393
QS補正用チャート(ホルダ付)
02AKW001
鏡筒
接眼レンズ10×
378-866（2個）/378-866-5（1個）
接眼レンズ15×
378-857（2個）/378-857-5（1個）
接眼レンズ20×
378-858（2個）/378-858-5（1個）
外部反射照明
MF D
角度接眼レンズ10×
375-043
ツインファイバ照明（100W）
176-343
リングファイバ照明（100W）
デジタル角度接眼レンズ10×
176-366
176-313
LEDリング照明(白色)
176-367-2（外部調光機能）
各種レチクル
※本カタログに記載するレチクル
欄
（46ページ）
をご参照ください。
100W外部照明フィルタ
GIFフィルタ(光源用)
12AAG806
LB80フィルタ(光源用)
12AAG807
外部コントロールケーブル
12AAD128
画像ユニットへ接続
外部コントロールケーブル
ステージ
周辺
12AAG888
1010サイズ
微動付回転テーブル（A）
176-305
クランプ装置
176-107
Vブロック台
172-378
2010サイズ
ステージアダプタB
ステージアダプタ
176-310
傾斜センタ台
172-197
2017・3017・4020サイズ
176-304
クランプ装置
176-107
Vブロック台
172-378
対物
レンズ
傾斜センタ台
ML対物レンズ
ML対物レンズ3×
375-037-1
172-197
スライド式ノーズピース
176-370-1（工場オプション）
176-370-2（工場オプション）
微動付回転テーブル（B）
176-306
カウンタデータ印字
データ管理
リアルタイム工程管理プログラム
MeasurLink
176-308
フットスイッチ
（高剛性仕様）
検査表作成プログラム
レンズクリーニングセット
MeasureReport
※別途PCが必要になります。
RS-232Cケーブル（クロス）
12AAA807
17
周辺オプション
サーマルプリンタDPU-414
02AGD600A（接続ケーブル付）
12AAJ088
※ 本カタログに記載
する画像ユニット欄
（ 39 ページ）をご参
照ください。
防振台
12AAA165
設置台（顕微鏡本体＋QM-Data200）
176-309
LED リング照明装置（白色）
176-371（外部調光機能付）
外部コントロールケーブル
対物ミクロメータ
375-056
縦型システムラック
（画像ユニット）
998923
ML対物レンズ各種
※本カタログに記載する
対物レンズ欄（ 3 6 ペー
ジ）
をご参照ください。
12AAG888
画像ユニットへ接続
※ 本カタログに記載
する画像ユニット欄
（ 39 ページ）をご参
照ください。
ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ
オプション
ダイアグラム
画像ユニットへ接続
外部コントロールケーブル
外部コントロールケーブル
12AAG888
12AAD128
データ演算処理
※本カタログに記載する
画像ユニット欄（39ペー
ジ）
をご参照ください。
本体照明
（反射＋透過）
RS-232Cケーブル（クロス）
12AAA807
※D-sub9pin両側メスになり
ます。
サーマルプリンタDPU-414
（接続ケーブル付）:
12AAD032
フットスイッチ（高剛性タイプ）:
12AAJ088
QM-Data200
264-155
本体透過照明用フィルタ
GIFフィルタ
12AAA645
ND2フィルタ
12AAA643
画像ユニット
LB80フィルタ ND8フィルタ
12AAA646
12AAA644
100W外部照明用フィルタ
100Wファイバ照明
176-315
画像ユニット10D
フットスイッチ
（高剛性仕様）
QSPAK VUE V5.0
12AAR097
校正用チャート
データ処理装置
校正用チャート
（ホルダ付）
359-762
GIFフィルタ（光源用）
12AAG0806
反射
150Wファイバ照明
176-316
外部プリンタ（ESC/P）ケーブル:
12AAA804
LB80フィルタ（光源用）
12AAG807
12AAJ088
02AKN020
02ATN695
12AAR088
透過
LED照明装置
176-446
QS補正用チャート（ホルダ付)
02AKW001
100Wツインファイバ照明
176-343
ハロゲン照明装置
176-448
鏡筒
合焦検出
接眼レンズ10×
378-866（2個）/378-866-5（1個）
MF UD
接眼レンズ15×
378-857（2個）/378-857-5（1個）
フォーカスパイロット
375-067（緑）/375-068（赤）
※工場オプションになります。
接眼レンズ20×
378-858（2個）/378-858-5（1個）
各種レチクル
レボルバ/対物レンズ
レボルバ4穴（BD）
微分干渉ユニット
明暗視野
BD
378-092
BF
1010サイズ
微動付回転テーブル（A）
176-305
クランプ装置
176-107
Vブロック台
172-378
2010サイズ
RS-232Cケーブル（クロス）
12AAA807
※D-sub9pin両側メスになります。
調心電動レボルバ5穴（BF）
378-216
明視野用対物レンズ
M Plan Apo シリーズ
M Plan Apo SL シリーズ
G Plan Apo シリーズ
※本カタログに記載する
対物レンズ欄（36ペー
ジ）をご参照ください。
2017・3017・4020サイズ
ステージアダプタB
ステージアダプタ
176-310
傾斜センタ台
172-197
176-212
378-018
明視野
明暗視野用対物レンズ
BD Plan Apo シリーズ
BD Plan Apo SL シリーズ
電動レボルバ4穴（BD）
調心･同焦マニュアルレボルバ（BF）
偏光装置
Image X PRO 3000
00AAB008
対物レンズ
176-211
378-080…5×・10×用
378-079…20×用
378-078…50×・SL20×用
378-076…100×・SL50×・
SL80×用
ステージ
周辺
Cマウント
970441
0.5×TVアダプタユニット
375-054
※本カタログに記載するレチクル欄
（46ページ）
をご参照ください。
偏光/
微分干渉
TV観察/
画像保存
176-304
クランプ装置
176-107
Vブロック台
172-378
傾斜センタ台
172-197
微動付回転テーブル（B）
176-306
詳細参照別紙記載
必須選択品
標準付属品
18
Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ
標準機のX軸、Y軸のステージ操作は、
そのままに、Z軸をモータドライブ化し、操作性を
（オプション）
と組み合わせることで、驚速画像AFが可能です！
向上しました！画像ユニット
19
特長
MF-J2017D
MF-UJ2017D
※双眼装置、接眼レンズ、照明装置はオプションです。
※別途、照明コントロールユニット、
コントロールユニット
が付属します。
※レボルバ、対物レンズ、照明装置はオプションです。
※別途、照明コントロールユニット、
コントロールユニット
が付属します。
■測定顕微鏡のZ軸をモータドライブ化し操作性の向上に貢献。
Z軸はジョグシャトルを採用し違和感の少ない操作性を実現。
また、Z軸の下限リミットを設定可能なZリミットを搭載し対物レンズとワークの衝突を防止。
■Z軸のハンドルを回し続ける繰り返し操作による疲労からオペレータを解放。
■X・Y軸は、大型サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構。
■画像ユニット
（オプション）
と組み合わせることで、画像AF（オートフォーカス）の実行が可能。※1
■ロングストローク摺動が伴うステージサイズ200×170mm～400×200mmまでの大型ステージでラインアップ。
■操作部のリモートBOXは作業を考慮したボタン配置を行い、オペレーターへ自然な操作感覚を提供。
■リモートBOXには、DATA出力ボタン、粗微動切換ボタン（Z軸のみ）、速度調整機能（Z軸のみ）、X,Y,Z軸カウンタリセットボタンを標準装備。
※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）が別途必要になります。
20
Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ
Z軸をモータドライブ化
リモートBOX
Z軸速度調整
リセットボタン
AFボタン※4
Z軸操作ジャグシャトル
データ出力ボタン
※4　画像ユニット接続時に有効（オプション）
Z 軸をモータで駆動させます。Z 軸測定時の操作は、手元のリモートBOXのZ軸のジ
ャグシャトルで操作することができますので、Z 軸のハンドルを回転させる操作、
フォーカシング操作が無く疲労が軽減されます。
また、Z 軸のモータドライブ化に
よりオプションの画像ユニットと組み合わせて使用することで、新機能の画像 AF
演算処理装置
画像ユニット
機能を使用することが出来ます。※1
※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）の接続が別途必要となります。
クイックリリース機構※2＆ゼロセットスイッチ内蔵※3
（MF D・MF-U D共通）
※MF-J2017D ＋画像ユニット10D ＋画像AFケーブルの組み合わせ
Z 軸モータドライブ測定顕微鏡は、二次元データ処理装置の
「QM-Data200」や、デジタルカメラを搭載してエッジを検出する
マニュアル画像計測システム「画像ユニット」を搭載することが可能
です。
画像ユニットは、画像AFケーブルを併用することで画像AFを実行す
ることが可能になりました。
クイックリリース
クイックリリース
ハンドル
ハンドル
ゼロセット
スイッチ
オートフォーカス
画像AF（共通オプション）
XYハンドル内側のクイックリリースハンドルでステージ送りを大粗動/微動（FREE/
LOCK）に切換できます。
ステージが完全フリー状態になりますので測定位置の距離が長い場合や基準位
置に早く戻る際などにとても便利です。
本機構はツイストローラー方式を採用していますので切替時にほとんど衝撃がな
く、滑らかな送りを体感できます。
また、ハンドル近くにカウンタのゼロセットスイ
ッチを内蔵 ※3していますので、ピント合わせ以外はほとんどハンドル周辺から手
を離すことなく接眼部に意識を集中して測定ができます。
※2　国内特許登録済
※3　ゼロセットスイッチの内蔵はXY軸のみとなります。Z軸ゼロセットスイッチは内蔵では
ありません。
21
オプションの画像ユニットと画像AFケーブルを使用すれば画像AFを行うことが可
能になります。画像ユニットのソフトウエアQSPAK上で取得した画像データからコ
ントラストの一番高い位置を検出してオートフォーカスを実行します。
人の目による焦点合わせよりも高速で行える為、作業時間の短縮と疲労軽減に貢
献します。
Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ
仕様
MF-J2017D
176-891
符号
コードNo.
鏡筒（接眼装置は必須選択オプション）
観察像
観察方法
接眼レンズ（オプション）視度調節可
対物レンズ（オプション）
最大被検物高さ
Z軸
送り機構
LED照明装置
照明装置
（必須選択オプション）
ハロゲン照明装置
照明フィルタ
ステージ
測定範囲
上面寸法
載物ガラス有効寸法
スイベル量
最大積載量
クイックリリース機構
ゼロセットスイッチ
本体外観寸法（W×D×H）
本体質量
コントロールユニット外観寸法（W×D×H）
コントロールユニット質量
照明装置用コントロールユニット外観寸法
（W×D×H）
照明装置用コントロールユニット質量
最大消費電力
MF-J4020D
176-893
）
単眼装置/双眼装置（附視角25°
TVカメラポート全機種標準装備、レチクル（鎖線十字線線幅5µｍ）、観察/TVカメラ=50:50
正立像
明視野観察
10×（視野数24）、15×、20× 注）単眼装置：10×レンズ1個標準付属、双眼装置：10×レンズ2個標準付属
ML対物レンズ3×（標準付属）、1×、5×、10×、20×、50×、100×
220mm
モータドライブ（送り速度max20mm/s）
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光
・AC電源入力コネクタ100V～240V
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き
・AC電源入力コネクタ100V～240V
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能）
200×170mm
300×170mm
400×200mm
410×342mm
510×342mm
610×342mm
270×240mm
370×240mm
440×240mm
±5°
±3°
20kg
15kg
XY軸標準
XY軸標準
測長系
測定精度（XY軸無負荷時）※
最小表示量
デジタルカウンタ
表示軸
機能
リモートBOX
MF-J3017D
176-892
高精度デジタルスケール
（2.2+0.02L）µm L：測定長（mm）
1/0.5/0.1µm切換
X/Y/Z軸
ゼロセット/ディレクション切換
・速度調整（Z軸）・粗微動切換ボタン（Z軸）
・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸）・非常停止スイッチ
・電源予備スイッチ・AFボタン（画像オートフォーカス）
：画像ユニット接続時に有効（オプション）
・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン
632×892×782mm
150kg
682×892×782mm
158kg
355×364×106.5mm
7kg
757×907×782mm
164kg
114×365×96mm
LED：3.5kg　ハロゲン：4kg
230W
※測定方法はJIS B 7153に準拠します。
22
Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MF-Uシリーズ
仕様
符号
コードNo.
符号
コードNo.
BF（明視野）
BD（明暗視野)
鏡筒（接眼装置は必須選択オプション）
観察像
観察方法
接眼レンズ（オプション）視度調節可
レボルバ
（必須選択オプション）
MF-UJ3017D
MF-UJ4020D
176-895
176-896
MF-UK3017D
MF-UK4020D
176-898
176-899
）、
ジーテントップ形眼幅調整51～76mm
三眼ティルティング鏡筒（附視角0～30°
1×チューブレンズ内蔵、レチクル（鎖線十字線/線幅5µm）、観察/TVカメラ=50：50
正立像
明視野・暗視野（暗視野対応機種のみ）、簡易偏光、微分干渉　10×（視野数24 2個標準付属）、15×、20×
調心同焦マニュアルレボルバ/調心電動レボルバ
（どちらか選択）
BF（明視野）
BD（明暗視野）
BF（明視野）
対物レンズ（オプション）
BD（明暗視野）
Z軸
MF-UJ2017D
176-894
MF-UK2017D
176-897
最大被検物高さ
送り機構
LED照明装置
照明装置
（必須選択オプション）
ハロゲン照明装置
マニュアルレボルバ/電動レボルバ（どちらか選択）
M Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apoシリーズ
BD Plan Apo、BD Plan Apo SLシリーズ
220mm
モータドライブ（送り速度max20mm/s）
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
・AC電源入力コネクタ100V～240V
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き
反射：明視野/明暗視野ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V100W又は
12V150Wハロゲンランプ（選択）式外部ファイバ照明・無段階調光
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
・AC電源入力コネクタ100V～240V
照明フィルタ
ステージ
測定範囲
上面寸法
載物ガラス有効寸法
スイベル量
最大積載量
クイックリリース機構
ゼロセットスイッチ
200×170mm
410×342mm
270×240mm
測長系
測定精度（XY軸無負荷時）※
最小表示量
表示軸
デジタルカウンタ
機能
リモートBOX
本体外観寸法（W×D×H）
本体質量
コントロールユニット外観寸法（W×D×H）
コントロールユニット質量
照明装置用コントロールユニット外観寸法
（W×D×H）
照明装置用コントロールユニット質量
最大消費電力
※測定方法はJIS B 7153に準拠します。
23
GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能）
300×170mm
510×342mm
370×240mm
±5°
20kg
XY軸標準
XY軸標準
400×200mm
610×342mm
440×240mm
±3°
15kg
高精度デジタルスケール
（2.2+0.02L）µm L：測定長（mm）
1/0.5/0.1µm切換
X/Y/Z軸
ゼロセット/ディレクション切換
・速度調整（Z軸）
・粗微動切換ボタン（Z軸）
・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸）
・非常停止スイッチ
・電源予備スイッチ・AFボタン（画像オートフォーカス）
：画像ユニット接続時に有効（オプション）
・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン
632×892×782mm
150kg
682×892×782mm
158kg
355×364×106.5mm
7kg
114×365×96mm
LED/ハロゲン：3.5kg
230W
757×907×782mm
164kg
Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ
外観寸法図
LED照明装置付きの図になります。
コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。
コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。
MF D
単位：mm
MF-J2017D
MF-J3017D
782
168
247
464∼684
782
168
360
281+100
464∼684
247
114
360
249
360
249
96
259
96
259
215
270
255
621
889+85
351+100
16
168
360
281+150
114
121
270
168
215
255
621
889+85
401+150
16
121
MF-J4020D
96
259
247
464∼684
782
360
249
168
360
305+200
114
270
168
215
452+200
MF-U D
255
621
904+100
16
121
単位：mm
MF-UJ2017D
259
MF-UJ3017D
259
96
96
231
247
247
782
612∼832
782
612∼832
360
360
231
114
168
360
281+100
270
168
215
351+100
MF-UJ4020D
255
16
114
120
621
889+85
259
168
168
360
281+150
401+150
215
270
621
889+85
255
16
120
96
247
782
612∼832
360
231
168
114
360
305+200
270
168
215
452+200
621
904+100
255
16
※Z軸モータドライブ測定顕微鏡のオプションダイアグラムは、33、34ページ
をご覧ください。
120
24
モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ
測定顕微鏡のX、Y、Z軸をモータドライブ化し、操作性を向上しました！
画像ユニット
（オプション）
と組み合わせることで、驚速画像AFが可能です！
To the next stage
25
MF-G2017D
MF-UG4020D
MF-UE2017D
※双眼装置、接眼レンズ、照明装置はオプションです。
※別途、照明コントロールユニット、
コントロールユニット
が付属します。
※レボルバ、対物レンズ、照明装置はオプションです。
※別途、照明コントロールユニット、
コントロールユニット
が付属します。
※レボルバ、対物レンズ、照明装置はオプションです。
※別途、照明コントロールユニット、
コントロールユニット
が付属します。
特長
■測定顕微鏡のX,Y,Z軸をモータドライブ化しリモートBOXでステージを操作可能。
X,Y軸はジョイスティックによる操作、Z軸はジョグシャトルを採用し違和感の少ない操作性を実現。
また、Z軸の下限リミットを設定可能なZリミットを搭載し対物レンズとワークの衝突を防止。
■ハンドルを回し続ける繰り返し操作による疲労からオペレータを解放。
■画像ユニットを搭載することにより画像AF（オートフォーカス）の実行が可能。※1
MF-U電動タイプ/電動LAFタイプでは電動レボルバを選択することにより画像ユニット上で対物レンズのポジションを自動で認識可能。※2
■ロングストローク摺動が伴うステージサイズ200×170mm～400×200mmまでの大型ステージで電動モデルをラインアップ。
■ロングストローク摺動時や微細な位置決めを行う際に威力を発揮する粗微動切換ボタンと速度調整機能を標準装備。
■操作部のリモートBOXは作業を考慮したボタン配置を行い、オペレーターへ自然な操作感覚を提供。
■リモートBOXにはDATA出力ボタン、X,Y,Z軸カウンタリセットボタンを標準装備し手元で多彩な操作が可能。
■MF-U電動タイプではLAF（レーザオートフォーカス）搭載タイプもラインアップし、ピント合わせの作業効率を向上。
LAFには通常のジャストフォーカス機能（JF）に加え、ステージ移動時でも常にピントの合うトラッキングオートフォーカス機能（TF）を搭載。
様々な場面のピント合わせに対応し、オペレーターの作業を軽減。
※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）が別途必要になります。
※2 RS-232Cケーブル（No.12AAA807）が別途必要になります。
26
モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ
モータドライブ
演算処理装置
QM-Data200
※MF-G2017D ＋ QM-Data200の組み合わせ
X,Y,Z3軸をモータで駆動させます。XY軸をジョイステック、Z軸をジョグシャトルで
操作するので測定時の操作は手元のリモートBOXで行うことが出来ます。
画像ユニット
従来のハンドルを回転させる操作、
フォーカシング操作が無く疲労が軽減されま
す。
XY軸の送り速度はMAX40mm/s、Z軸はMAX20mm/sで駆動、ステージのサイズは
200×170mm～400×200mmの大形ステージをラインアップ。
また、Z軸のモータドライブ化によりオプションの画像ユニットと合わせて使えば、
新機能の画像AF機能を使用することが出来ます。※1
※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）の接続が別途必要となります。
リモートBOX
※MF-G2017D ＋画像ユニット10D ＋画像AFケーブルの組み合わせ
XYZ軸速度調整
リセットボタン
XY軸ロックボタン
モータドライブ測定顕微鏡は、二次元データ処理装置の「QM-Data200」や、デジ
タルカメラを搭載してエッジを検出するマニュアル画像計測システム「画像ユニ
ット」
を搭載することが可能です。
画像ユニットは、画像AFケーブルを併用することで画像AFを実行することが可能
になりました。
オートフォーカス
XY軸操作ジョイスティック
AFボタン※2
Z軸操作ジャグシャトル
データ出力ボタン
※2　画像ユニット接続時に有効（オプション）
27
画像AF（共通オプション）
オプションの画像ユニットと画像AFケーブルを使用すれば画像AFを行うことが可
能になります。画像ユニットのソフトウエアQSPAK上で取得した画像データからコ
ントラストの一番高い位置を検出してオートフォーカスを実行します。
人の目による焦点合わせよりも高速で行える為、作業時間の短縮と疲労軽減に貢
献します。
電動レボルバ（MF-U電動機/電動LAF機オプション）
MF-Uの電動機、電動LAF機では必須選択のレボルバから電動レボルバを選択し、
オプションの画像ユニットを搭載することにより、
レボルバポジションの変更やレ
ボルバポジションの認識が可能になります。※1
この機能は画像ユニット10DのソフトウエアQSPAK VUE V4.1～より実装された新
機能になります。
ソフトウエア上でレボルバポジションの変更とレボルバポジションの自動認識が
可能になるので、
レボルバまで手を伸ばして回す動作が必要なくなります。
また、倍率変更に伴うキャリブレーション値の変更忘れも解消され、
より確実で、
よ
り使い易いシステムを提供します。
※1 RS-232Cケーブル（No.12AAA807）が別途必要となります。
QSPAK上のレボルバポジション表示
※画像は電動4穴レボルバ/センサ付4穴レボルバの場合です。
レーザオートフォーカス（電動LAF機のみ）
電動LAF機ではLAF（レーザオートフォーカス）を行うことが可能です。
レンズの中を
波長690nmの半導体レーザーが通るTTL（Through The Lens）方式のAFを採用したこ
とにより微小領域でもAFを実行することが可能になりました。
人の目による焦点合わせよりも再現性が良く高さ測定を行うことができます。
また、焦点合わせをしたいポイントにレーザを照射し高さを検出することが可能
なJF（ジャストフォーカス）
と常に合焦位置を追従するTF（トラッキングフォーカス）
の2種類を標準搭載しています。
28
モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ
仕様 MF D
MF-G2017D
176-781
符号
コードNo.
鏡筒（接眼装置は必須選択オプション）
観察像
観察方法
接眼レンズ（オプション）視度調節可
対物レンズ（オプション）
最大被検物高さ
Z軸
送り機構
LED照明装置
照明装置
（必須選択オプション）
ハロゲン照明装置
照明フィルタ
ステージ
測定範囲
上面寸法
載物ガラス有効寸法
スイベル量
最大積載量
測長系
測定精度（XY軸無負荷時）※
デジタルカウンタ
最小表示量
表示軸
機能
リモートBOX
本体外観寸法（W×D×H）
本体質量
コントロールユニット外観寸法（W×D×H）
コントロールユニット質量
照明装置用コントロールユニット外観寸法
（W×D×H）
照明装置用コントロールユニット質量
最大消費電力
※測定方法はJIS B 7153に準拠します。
29
MF-G3017D
MF-G4020D
176-782
176-783
）
単眼装置/双眼装置（附視角25°
TVカメラポート全機種標準装備、レチクル（鎖線十字線線幅5µｍ）、観察/TVカメラ=50:50
正立像
明視野観察
10×（視野数24）、15×、20× 注）単眼装置：10×レンズ1個標準付属、双眼装置：10×レンズ2個標準付属
ML対物レンズ3×（標準付属）、1×、5×、10×、20×、50×、100×
220mm
モータドライブ（送り速度max20mm/s）
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光
・AC電源入力コネクタ100V～240V
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き
・AC電源入力コネクタ100V～240V
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能）
200×170mm
300×170mm
400×200mm
410×342mm
510×342mm
610×342mm
270×240mm
370×240mm
440×240mm
±5°
±3°
20kg
15kg
高精度デジタルスケール
（2.2+0.02L）µm L：測定長（mm）
1/0.5/0.1µm切換
X/Y/Z軸
ゼロセット/ディレクション切換
・ジョイスティック
（X,Y駆動）・ロックボタン（X,Y軸）・速度調整（X,Y,Z軸）・粗微動切換ボタン（X,Y,Z軸）
・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸）・非常停止スイッチ・電源予備スイッチ
・AFボタン（画像オートフォーカス）
：画像ユニット接続時に有効（オプション）
・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン
632×892×782mm
682×892×782mm
757×907×782mm
150kg
158kg
355×364×106.5mm
7kg
114×365×96mm
LED：3.5kg　ハロゲン：4kg
230W
164kg
仕様 MF-UD
電動 LAFモデル
MF-UG4020D
MF-UE2017D
MF-UE3017D
176-786
176-790
176-791
MF-UH4020D
MF-UF2017D
MF-UF3017D
176-789
176-793
176-794
）、
ジーテントップ形眼幅調整51～76mm
三眼ティルティング鏡筒（附視角0～30°
1×チューブレンズ内蔵、レチクル（鎖線十字線/線幅5µm）、観察/TVカメラ=50：50
電動モデル
符号
コードNo.
符号
コードNo.
BF（明視野）
BD（明暗視野)
MF-UG2017D
176-784
MF-UH2017D
176-787
鏡筒（接眼装置は必須選択オプション）
観察像
観察方法
接眼レンズ（オプション）視度調節可
レボルバ
（必須選択オプション）
BF（明視野）
BD（明暗視野）
対物レンズ（オプション）
BF（明視野）
BD（明暗視野）
Z軸
最大被検物高さ
送り機構
LED照明装置
照明装置
（必須選択オプション）
ハロゲン照明装置
ステージ
マニュアルレボルバ/電動レボルバ（どちらか選択）
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き
反射：明視野/明暗視野ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V100W又は
12V150Wハロゲンランプ（選択）式外部ファイバ照明・無段階調光
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
・AC電源入力コネクタ100V～240V
200×170mm
410×342mm
270×240mm
GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能）
300×170mm
400×200mm
200×170mm
300×170mm
510×342mm
610×342mm
410×342mm
510×342mm
370×240mm
440×240mm
270×240mm
370×240mm
±5°
±3°
±5°
20kg
15kg
20kg
LAF（レーザオートフォーカス）
本体外観寸法（W×D×H）
本体質量
コントロールユニット外観寸法（W×D×H）
コントロールユニット質量
照明装置用コントロールユニット外観寸法
（W×D×H）
照明装置用コントロールユニット質量
最大消費電力
400×200mm
610×342mm
440×240mm
±3°
15kg
高精度デジタルスケール
（2.2+0.02L）µm L：測定長（mm）
1/0.5/0.1µm切換
X/Y/Z軸
ゼロセット/ディレクション切換
最小表示量
表示軸
機能
リモートBOX
手動レボルバBDセンサ付/電動レボルバ※1
M Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apoシリーズ
BD Plan Apo、BD Plan Apo SLシリーズ
220mm
モータドライブ（送り速度max20mm/s）
透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き
反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き
コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）
・AC電源入力コネクタ100V～240V
測長系
測定精度（XY軸無負荷時）※2
デジタルカウンタ
MF-UE4020D
176-792
MF-UF4020D
176-795
正立像
明視野・暗視野（暗視野対応機種のみ）、簡易偏光、微分干渉　10×（視野数24 2個標準付属）、15×、20×
調心同焦マニュアルレボルバ/調心電動レボルバ
手動レボルバBFセンサ付/調心電動レボルバ※1
（どちらか選択）
照明フィルタ
測定範囲
上面寸法
載物ガラス有効寸法
スイベル量
最大積載量
MF-UG3017D
176-785
MF-UH3017D
176-788
・ジョイスティック
（X,Y駆動）・ロックボタン（X,Y軸）
・速度調整（X,Y,Z軸）
・粗微動切換ボタン（X,Y,Z軸）
・非常停止スイッチ・電源予備スイッチ
・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸）
・AFボタン（画像オートフォーカス）
：画像ユニット接続時に有効（オプション）
・LAFボタン（レーザオートフォーカス）
：LAF機のみ有効JF（ジャストフォーカス),TF（トラッキングフォーカス）
・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン
—
—
—
○
○
○
632×892×782mm 682×892×782mm 757×907×782mm 608×790×846mm 658×790×846mm 733×790×846mm
150kg
158kg
164kg
155kg
355×364×106.5mm
7kg
163kg
169kg
114×365×96mm
LED/ハロゲン：3.5kg
230W
※1：LAF機と電動レボルバの接続はRS-232C（No.12AAA807）
ケーブルを必ず使用して下さい。
※2：測定方法はJIS B 7153に準拠します。
30
モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ
外観寸法図
LED照明装置付きの図になります。
コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。
コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。
MF D
単位：mm
MF-G2017D
MF-G3017D
96
96
330∼244
249
782
247
247
168
360
280
100
205
168
114
270
328
100
210.5∼430.5
782
210.5∼430.5
360
249
360
330∼244
215
85 48
255
16
621
114
120.3
150
168
360
280
255
168
215
378
150
270
85 48
255
621
16
120.3
MF-G4020D
96
330∼244
360
210.5∼430.5
247
782
249
114
200
168
360
280
305
168
215
428
270
100 48
200
255
621
16
120.3
MF-U D（電動モデル）
単位：mm
MF-UG2017D
MF-UG3017D
96
330∼244
96
330∼244
231
247
75
114
100
168
205
168
85 48
215
270
255
621
16
120.3
150 114
MF-UG4020D
330∼244
96
360
261∼481 105
247
782
231
200
31
114
168
305
168
428
200
100
47.7
215
270
255
621
16
120.3
247
25
428
360
782
261∼481 105
782
261∼481 105
360
231
168
255
168
378
150
85 48
215
270
255
621
16
120.3
LED照明装置付きの図になります。
コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。
コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。
MF-U D（電動LAFモデル）
単位：mm
MF-UF2017D
MF-UF3017D
313∼227
96
96
188
846
846
323∼543
105
360
105
231
360
188
231
323∼543
313∼227
75
168
360
205
114
100
168
328
100
270
215
85 48
255
247
247
25
16
114
120.3
621
150
168
360
255
168
378
85 48
150
215
270
255
621
16
120.3
MF-UF4020D
96
168
168
360
114
360
100
205 305 328
428
231
85 48 200
188
105
105
846
323∼543
247
247
846
105
846
323∼543
247
215
100 48621
215
270
16
25
120.3
150
255
120.3
621
255
360
378
150
85 48
215
621
120.3
313∼227
188
323∼543
846
105
231
247
75
100
200
313∼227
188
360
188 231
231
323∼543
313∼227
313∼227
200
305
360
428
200
100 48
215
621
120.3
32
Z軸モータドライブ/モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーオプション
ダイアグラム
TV観察/
画像保存
本体照明
(反射＋透過)
本体透過照明用フィルタ
GIFフィルタ
12AAA645
ND2フィルタ
12AAA643
RS-232Cケーブル（クロス）
サーマルプリンタDPU-414
12AAA807
（接続ケーブル付）:
※D-sub9pin両側メスになります。 12AAD032
Image X PRO 3000
00AAB008
LB80フィルタ ND8フィルタ
12AAA646
12AAA644
LED照明装置
176-445
データ演算処理
Cマウント
970441
QM-Data200
0.5×TVアダプタユニット
375-054
QM-Data200
264-155
ハロゲン照明装置
176-447
合焦検出
画像ユニット
画像ユニット10D
フォーカスパイロット
375-057（緑）/375-058（赤）
フットスイッチ（高剛性タイプ）:
12AAJ088
外部プリンタ（ESC/P）ケーブル:
12AAA804
画像AFケーブル
12AAN358
359-762
フットスイッチ
（高剛性仕様）
単眼装置(接眼レンズ10×:1個付)
176-392
QSPAK VUE V5.0
12AAR097
校正用チャート
双眼装置(接眼レンズ10×:2個付)
データ処理装置
接眼装置
12AAR088
176-393
12AAJ088
02AKN020
校正用チャート
（ホルダ付）
02ATN695
QS補正用チャート(ホルダ付)
02AKW001
鏡筒
接眼レンズ10×
378-866（2個）/378-866-5（1個）
コントロールユニット
リモートBOX
接眼レンズ15×
378-857（2個）/378-857-5（1個）
コントロールユニット
リモートBOX
MF D Z電動
MF D電動
接眼レンズ20×
378-858（2個）/378-858-5（1個）
角度接眼レンズ10×
375-043
外部反射照明
100W外部照明フィルタ
ツインファイバ照明（100W）
デジタル角度接眼レンズ10×
GIFフィルタ(光源用)
12AAG806
176-343
176-313
リングファイバ照明（100W）
各種レチクル
LB80フィルタ(光源用)
12AAG807
176-366
※本カタログに記載するレチクル
欄
（46ページ）
をご参照ください。
LEDリング照明(白色)
176-367-2（外部調光機能）
外部コントロールケーブル
12AAD128
ステージ
周辺
176-306
ステージアダプタ
176-304
クランプ装置
176-107
Vブロック台
172-378
傾斜センタ台
ML対物レンズ
ML対物レンズ3×
375-037-1
172-197
データ管理
スライド式ノーズピース
176-370-1（工場オプション）
176-370-2（工場オプション）
周辺オプション
リアルタイム工程管理プログラム
MeasurLink
176-308
フットスイッチ
（高剛性仕様）
検査表作成プログラム
レンズクリーニングセット
MeasureReport
※別途PCが必要になります。
RS-232Cケーブル（クロス）
12AAA807
33
対物
レンズ
サーマルプリンタDPU-414
02AGD600A（接続ケーブル付）
12AAJ088
※ 本カタログに記載
する画像ユニット欄
（ 39 ページ）をご参
照ください。
12AAG888
微動付回転テーブル(B)
カウンタデータ印字
画像ユニットへ接続
外部コントロールケーブル
防振台
12AAA165
設置台（顕微鏡本体＋QM-Data200）
176-309
LED リング照明装置（白色）
176-371（外部調光機能付）
外部コントロールケーブル
対物ミクロメータ
375-056
縦型システムラック
（画像ユニット）
998923
ML対物レンズ各種
※本カタログに記載する
対物レンズ欄（ 3 6 ペー
ジ）
をご参照ください。
12AAG888
画像ユニットへ接続
※ 本カタログに記載
する画像ユニット欄
（ 39 ページ）をご参
照ください。
ズ/MF-Uシリーズ
画像ユニットへ接続
外部コントロールケーブル
外部コントロールケーブル
12AAG888
12AAD128
データ演算処理
※本カタログに記載する
画像ユニット欄（39ペー
ジ）
をご参照ください。
RS-232Cケーブル（クロス）
12AAA807
※D-sub9pin両側メスになり
ます。
本体照明
（反射＋透過）
サーマルプリンタDPU-414
（接続ケーブル付）:
12AAD032
フットスイッチ（高剛性タイプ）:
12AAJ088
QM-Data200
264-155
本体透過照明用フィルタ
GIFフィルタ
12AAA645
ND2フィルタ
12AAA643
画像AFケーブル
画像ユニット
LB80フィルタ ND8フィルタ
12AAA646
12AAA644
GIFフィルタ（光源用）
12AAG0806
100Wファイバ照明
176-315
12AAN358
画像ユニット10D
100W外部照明用フィルタ
反射
150Wファイバ照明
176-316
外部プリンタ（ESC/P）ケーブル:
12AAA804
LB80フィルタ（光源用）
12AAG807
359-762
フットスイッチ
（高剛性仕様）
QSPAK VUE V5.0
12AAR097
校正用チャート
12AAJ088
02AKN020
データ処理装置
校正用チャート
（ホルダ付）
12AAR088
02ATN695
透過
LED照明装置
ハロゲン照明装置
176-446
176-448
QS補正用チャート（ホルダ付)
02AKW001
100Wツインファイバ照明
176-343
コントロールユニット
リモートBOX
鏡筒
接眼レンズ10×
378-866（2個）/378-866-5（1個）
接眼レンズ15×
378-857（2個）/378-857-5（1個）
MF-UD Z電動
MF-UD電動
接眼レンズ20×
378-858（2個）/378-858-5（1個）
リモートBOX
合焦検出
フォーカスパイロット
375-067（緑）/375-068（赤）
※工場オプションになります。
TV観察/
画像保存
各種レチクル
Cマウント
970441
※本カタログに記載するレチクル欄
（46ページ）
をご参照ください。
0.5×TVアダプタユニット
375-054
偏光/
微分干渉
コントロールユニット
Image X PRO 3000
00AAB008
微分干渉ユニット
378-080…5×・10×用
378-079…20×用
378-078…50×・SL20×用
378-076…100×・SL50×・
SL80×用
レボルバ/対物レンズ
電動モデル
電動LAFモデル(MF-UD電動タイプのみ)
偏光装置
対物レンズ
レボルバ4穴（BD）
378-092
176-211
明暗視野
BD
ステージ
周辺
明暗視野用対物レンズ
BD Plan Apo シリーズ
BD Plan Apo SL シリーズ
電動レボルバ4穴（BD）
176-212
マニュアルレボルバBD（センサ付）
176-412
微動付回転テーブル（B）
176-306
ステージアダプタ
調心･同焦マニュアルレボルバ（BF）
176-304
378-018
明視野
クランプ装置
176-107
Vブロック台
172-378
傾斜センタ台
172-197
BF
調心電動レボルバ5穴（BF）
378-216
RS-232Cケーブル（クロス）
12AAA807
明視野用対物レンズ
M Plan Apo シリーズ
M Plan Apo SL シリーズ
G Plan Apo シリーズ
※本カタログに記載する
※D-sub9pin両側メスになります。
対物レンズ欄（36ペー
※電動LAF機に関しては必ず選択して下さい。
ジ）をご参照ください。
マニュアルレボルバBF（センサ付）
176-410
※LAF機のレンズとレボルバは工場オプションになります。LAF機に関しては5×以上の対物レンズを選択してください。
詳細参照別紙記載
必須選択品
標準付属品
34
オプション
レンズ
覗いた時に視野全体にひろがりを感じながら、ゆとりある観察測定をしていただくために接眼レンズは視野数24（10×の場合）の広視野仕様です。対物レンズは作動距離
が長くフレアの少ない明るいシリーズを標準としており、FS対物レンズは明視野・明暗視野用共にプランアポクロマート仕様となります。長時間の観察測定でも疲れにくい
ことが大切なことと考えています。
接眼レンズ
接眼レンズ
WF10×/24 WF15×/16 WF20×/12
コードNo.
378-866-5 378-857-5 378-858-5
（1個）
コードNo.
378-866
378-857
378-858
（2個組）
倍率
視野数
適用機種
10×
24
15×
16
MF D/MF-U D
20×
12
•アイシェードは10×のみ付属となります。
•MF Bシリーズ以前の測定顕微鏡を双眼仕様で
お使いの場合はNo.378-866をお求めください。
角度接眼レンズ
375-043
10×
21
360°
5′
MF D
コードNo.
倍率
視野数
目盛
適用機種
デジタル角度接眼レンズ
コードNo.
176-313
倍率
10×
視野数
22
レチクル
90°実線、45°鎖線　共に線幅5µm
接眼
～±369.99°
度：0.00°
検出部
測定範囲
分：0°
～±369°
00′
59′
検出方式
静電容量式エンコーダ
外観寸法（mm）外径ø120×140（D）
最小表示量 0.01（
°度）
または1（分）
′
ゼロセット・ABS※/INC切替・度分切
替・方向切替　データ出力（フット
機能
デジタル
スイッチ12AAJ088併用）
カウンタ外部出力
RS-232C
（標準付属）
外観寸法（mm） 143（W）×112（D）×57（H）
CE対応
電源
AC100～120V
適用機種
MF D
（カウンタ上面部に固定可能）
※常に電源を内蔵スケールに供給して絶対値を表示す
るシステムではありません。任意に固定された原点
から位置座標を測定する測定系になります。
鏡筒
単眼装置
コードNo.
倍率
視野数
適用機種
35
176-392
10×
24
MF Dの必須選択オプション
双眼装置
コードNo.
倍率
視野数
適用機種
176-393
10×
24
MF Dの必須選択オプション
ティルティング双眼装置
倍率
視野数
附視角（ティルト角）
適用機種
10×
24
0～30°
MF U D標準付属
顕微鏡下での検査・観察測定において、使用する対物レンズの高分解能・長作動距離がその操作性に重要なファクタとなります。
また、視野全域で鮮明な像を得るために
は可視光領域の広い範囲で色収差を補正したアポクロマート仕様（赤・青・黄の3波長補正）
であること、像面湾曲・点収差などを補正したプラン（plan）仕様であることも同
様です。
ミツトヨのFS対物レンズはこうしたファクタを兼ね備えた高性能対物レンズであり、顕微鏡の応用範囲を広げ操作性を格段に向上させました。測定顕微鏡への装着
でも大きく貢献しています。M Plan Apoシリーズは可視光での明視野観察、BD Plan Apoシリーズは同じく明暗視野観察でご使用いただくレンズとなり、SL（Super Long）仕様は
より長い作動距離が必要な場合に有効です。
また、G Plan Apoシリーズはガラス越しに観察できるレンズでガラス厚は3.5mmに補正設計されています（特注で2～5mmに対
応いたします）
。
ML対物レンズ　有限補正光学系…MF D用
FS対物レンズ　無限補正光学系…MF U D用
明視野（BF）観察測定用
符号
コードNo.
倍率
NA
ML 1×
ML 3×
ML 5×
ML 10×
ML 20×
ML 50×
ML 100×
375-036-2
375-037-1
375-034-1
375-039
375-051
375-052
375-053
1×
3×
5×
10×
20×
50×
100×
0.03
0.09
0.13
0.21
0.42
0.55
0.70
符号
コードNo.
倍率
M Plan Apo 1×
M Plan Apo 2×
M Plan Apo 5×
M Plan Apo 7.5×
M Plan Apo 10×
M Plan Apo 20×
M Plan Apo 50×
M Plan Apo 100×
M Plan Apo SL 20×
M Plan Apo SL 50×
M Plan Apo SL 80×
M Plan Apo SL 100×
M Plan Apo SL 200×
M Plan Apo HR 50×
M Plan Apo HR 100×
G Plan Apo 20×（t3.5）
G Plan Apo 50×（t3.5）
レンズセットB1
レンズセットB2
レンズセットB3
FS対物レンズ変換アダプタ
378-800-3
378-801-6
378-802-6
378-807-3
378-803-3
378-804-3
378-805-3
378-806-3
378-810-3
378-811-3
378-812-3
378-813-3
378-816-3
378-814-4
378-815-4
378-847
378-848-3
378-911
378-912
378-913
378-026-1
符号
コードNo.
BD Plan Apo 2×
BD Plan Apo 5×
BD Plan Apo 7.5×
BD Plan Apo 10×
BD Plan Apo 20×
BD Plan Apo 50×
BD Plan Apo 100×
BD Plan Apo SL 20×
BD Plan Apo SL 50×
BD Plan Apo SL 80×
BD Plan Apo SL 100×
BD Plan Apo HR 50×
BD Plan Apo HR 100×
レンズセットD1
レンズセットD2
レンズセットD3
378-831-7
378-832-7
378-830-7
378-833-7
378-834-7
378-835-7
378-836-7
378-840-7
378-841-7
378-842-7
378-843-7
378-845-7
378-846-7
378-931
378-932
378-933
作動距離分解能
（mm）（µm）
61.0
77.0
61.0
51.0
20.0
13.0
6.0
NA
9.2
3.06
2.12
1.31
0.65
0.5
0.4
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
306
34
16.3
6.2
1.6
0.9
0.6
対物レンズ単
作動距離分解能
体の焦点深度
（mm）（µm）
± D.F.（µm）
1× 0.025
11.0
11.0
440
2× 0.055
34.0
5.0
91
5×
0.14
34.0
2.0
14
7.5× 0.21
35.0
1.3
6.2
10× 0.28
34.0
1.0
3.5
20× 0.42
20.0
0.7
1.6
50× 0.55
13.0
0.5
0.9
100× 0.70
6.0
0.4
0.6
20× 0.28
30.5
1.0
3.5
50× 0.42
20.5
0.7
1.6
80× 0.55
15.0
0.6
1.1
100× 0.70
13.0
0.5
0.9
200× 0.62
13.0
0.4
0.7
50× 0.75
5.2
0.4
0.49
100× 0.90
1.3
0.3
0.34
20× 0.28 空気換算29.42 1.0
3.5
50× 0.50 空気換算13.89 0.6
1.1
M Plan Apo10×・20×・50×・100×のセット
M Plan Apo2×・5×・10×・SL20×のセット
M Plan Apo5×・10×・20×・50×のセット
明暗視野BDレボルバに明視野BFレンズ装着時に使用
明暗視野（BD）観察測定用
倍率
NA
対物レンズ単
作動距離分解能
体の焦点深度
（mm）（µm）
± D.F.（µm）
2× 0.055
34.0
5.0
91
5×
0.14
34.0
2.0
14
7.5× 0.21
34.0
1.3
6.2
10× 0.28
34.0
1.0
3.5
20× 0.42
20.0
0.7
1.6
50× 0.55
13.0
0.5
0.9
100× 0.70
6.0
0.4
0.6
20× 0.28
30.5
1.0
3.5
50× 0.42
20.0
0.7
1.6
80× 0.50
13.0
0.6
1.1
100× 0.55
13.0
0.5
0.9
50× 0.75
5.2
0.4
0.49
100× 0.90
1.3
0.3
0.34
BD Plan Apo10×・20×・50×・100×のセット
BD Plan Apo2×・5×・10×・SL20×のセット
BD Plan Apo5×・10×・20×・50×のセット
36
オプション
照明
半導体・電子電気部品・精密自動車部品・樹脂成型・工具・医薬品・印刷物などさまざまな被検物をいかに高いコントラストで鮮やかに観察/測定できるかは照明（光）の使い
方がポイントとなります。被検物の形状・表面状態・色・材質に合わせてベストな照明をお選びください。
A：反射及び透過照明（必須選択オプション）
MF Dシリーズ
①②
透過照明用
透過照明用
反射照明用
①②
①
LED照明装置
コードNo．176-445
ランプハウス（反射照明用・透過照明用）
と
LEDコントロールユニットで構成
LEDコントロールユニットは顕微鏡本体コラ
ム背面にも固定可能
白色LED（低消費電力45W）　定格寿命約
30,000時間　無段階調光
冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載）
反射・透過照明部にカラーフィルタ装着可能
反射照明部：ø33×86（最大突起部）
外形寸法
透過照明部：68×103（最大突起部）
（mm）
LEDコントロールユニット：114（W）×360（D）×96（H）
適用機種 MF D
反射照明用
②
ハロゲン照明装置
コードNo．176-447(MF D)/
176-448(MF-U D)
ランプハウス（反射照明用・透過照明用）
とハ
ロゲンコントロールユニットで構成
ハロゲンコントロールユニットは顕微鏡本体
コラム背面にも固定可能
12V50Wハロゲンランプ　無段階調光
冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載）
カラーフィルタ装着可能
MF-U Dシリーズ
外形寸法反射・透過照明部：91×106（最大突起部）
ハロゲンコントロールユニット：114（W）×360（D）×96（H）
適用機種 MF D/MF-U D
(mm)
③④
注）MF-U Dは透過照明用のみとなります。
②③
透過照明用
反射照明用
③
LED照明装置
コードNo．176-446
ランプハウス（反射照明用・透過照明用）
と
LEDコントロールユニットで構成
LEDコントロールユニットは顕微鏡本体コラ
ム背面にも固定可能
白色LED（低消費電力55W）　定格寿命約
30,000時間無段階調光
冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載）
透過照明部にカラーフィルタ装着可能
反射照明部：68×66（最大突起部）
外形寸法
透過照明部：68×103（最大突起部）
(mm)
LEDコントロールユニット：114（W）×360（D）×96（H）
適用機種 MF-UD
37
④
100W・150Wファイバ照明装置（外部光源仕様）
コードNo．176-315（100W）
・176-316（150W）
12V100Wハロゲンランプ（No.517181）
定格寿命1000時間
12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602）
100W
定格寿命50時間
無段階調光
外形寸法 76（W）×235（D）×120（H）、
(mm) ガラスファイバケーブル長1500
15V150Wハロゲンランプ（No.12BAJ076）
定格寿命500時間
15V150W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAJ075）
150W
定格寿命50時間
無段階調光
外形寸法 120（W）×273（D）×119（H）、
(mm) ガラスファイバケーブル長1500
でハロゲン照明装置
適用機種 MF-U D
（No.176-448）選択時の反射照明用
B
C
ツインファイバ照明装置（外部光源仕様）
コードNo．176-343
顕微鏡コラム背面に固定　無段階調光　集光レンズ付
画像ユニットシステム時に自動調光可能（外部光源コントロール
ケーブルNo.12AAD128併用）
12V100Wハロゲンランプ（No.517181）定格寿命1000時間
12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602）定格寿命50時間
LB80フィルタ（No.12AAG807）
：光源部のみ
76（W）×235（D）×120（H）
外形寸法
ファイバ長700：背面固定部から先端まで
(mm)
ファイバ最大曲げR：R60
適用機種 MF D/MF-U D
A：反射及び透過照明
光が対物レンズの中を通
り、被検物表面に垂直に
照射されます。照明光源
は LEDとハロゲンから選
択できます。
B：ツインファイバ照明
任意の 2 方向から斜めに
照射するハロゲン光は立
体観察に最適で、標準付
属の集光レンズにより高
輝度スポット照射が可能
となります。
リングファイバ照明装置（外部光源仕様）
コードNo．176-366
無段階調光
画像ユニットシステム時に自動調光可能（外部光源コントロール
ケーブルNo.12AAD128併用）
12V100Wハロゲンランプ（No.517181）定格寿命1000時間
12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602）定格寿命50時間
LB80フィルタ（No.12AAG807）
：光源部のみ
76（W）×235（D）×120（H）
外形寸法
外形ø60・内径ø35：リング照明部
(mm)
ファイバ長1000
適用機種 MF D（ML対物レンズ10×以下）
C：リングファイバ照明
イメージ
イメージ
B
C
対物レンズ周辺からリン
グ状に照射するハロゲン
光は凹凸による影の影
響が少ない観察を可能と
し、画像測定にも適して
います。
A
D：LEDリング照明
リング照明装置（FS対物レンズ用）
コードNo．お問い合わせください
対物レンズに固定し、
リング状の白色LED光を照射。
無段階調光
画像ユニットシステム時に自動調光可能
（外部光源コントロールケーブルNo.12AAG888併用）
：コントロール部のみ
75（W）×150（D）×90（H）
外形寸法
外形ø70・全高65～80：リングLED部
(mm)
LEDケーブル長1000
適用機種 MF-U D（FS対物レンズM Plan Apo10×以下）
イメージ
対物レンズ周辺からリン
グ状に照射するLED光によ
り、濃色樹脂・基板・小径円
筒物の観察では高いコン
トラストが得られ、画像測
定にも適しています。明る
さを変えても色合いは変
わりません。
D
◆４枚の画像は同じ部分を撮影したものです。
D LED
イメージ
D LED
リング照明装置
コードNo．176-367-2・176-371（スライド式ノーズピース専用）
無段階調光
画像ユニットシステム時に自動調光可能
（外部光源コントロールケーブルNo.12AAG888併用）
：コントロール部のみ
75（W）×150（D）×90（H）
外形寸法
外形ø70・全高68～93：リングLED部
(mm)
LEDケーブル長1500
適用機種 MF D（ML対物レンズ10×以下）
38
オプション
マニュアル画像計測画像ユニット
顕微鏡本体から出力されるデジタルカウンタの座標値をもとに種類の豊富なコマンドを指定し、測定結果を瞬時に表示します。エッジ合わせを画像処理で行う画像測定仕
様と汎用性に優れた専用電装仕様をご用意しています。いずれも測定結果はプリントアウトおよび表計算ソフトや検査表へのアウトプットが可能となります。
特長
■一発測定を可能にした自動エッジ検出ツールと多彩なマクロアイコン
■簡単操作をサポートするグラフィックス＆測定ナビゲーション機能
■表計算ソフト
【MS-Excel】※1へ測定結果出力し、同一パソコン内で検査表作成が可能
■測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理が可能
■照明設定を忠実に再現する自動調光機能
（測定顕微鏡MF D・MF-U D併用時）
■一画面内測定が可能
■画像の取込/保存機能（BMP/JPEG)
■Z軸モータドライブ測定顕微鏡MFシリーズ/MF-Uシリーズ（P21参照)、
モータドライブ測定顕微鏡MFシリーズ/MF-Uシリーズ（P27参照）
と
システム例
フットスイッチ No.12AAJ088
組み合わせることで、画像AFを行なえます。
※1：マイクロソフト社の商品です。
仕様
画像ユニット　10D
コードNo.
光学系倍率
画像検出
モニタ表示倍率
最小表示量
各軸の測定精度（測定環境20℃）
精度（測定環境20℃）
PCシステム
ソフトウエア
最大消費電力
適用機種
359-762
詳細はカタログNo.14008をご覧ください
顕微鏡取付時　0.5×（0.5×TVアダプタ使用）
高感度1/2型CMOSカラーカメラ 300万画素
約19倍（対物レンズ3×使用時：約59×、撮像範囲：4.5×3.3mm）
0.1µm
弊社製測定顕微鏡の精度に依存します。
弊社製測定顕微鏡の精度に依存します。
参考：ML3×対物レンズ使用時
（弊社基準サンプルによる検査において）
画面内の測定精度　±2.5µm以下
画面内繰返し精度（±2σ） ±1µm以下
Windows 7　22型LCD
QSPAK　Vision Unit
最大510W（モニタ含）
MF D/MF-U D
※ソフトウェアとPCはオプションになります。
CADインポート＆エクスポート（オプション）
FORMPAK-QV（オプション）
（DXF、IGESフォーマット）をQSPAKにインポートする
設計時に作成したCADデータ
事で大幅な操作性の向上とパートプログラム作成時間の短縮が可能になりまし
た。
また、QSPAKの測定結果をCADデータとして変換する事ができます。
ができます。
FORMPAK-QVはQSPAKにて取得したデータから輪郭形状解析や設計値との照合
特長
特長
■輪郭照合機能
■各測定項目の設計値が自動的に入力されます。
■微細形状解析機能
■グラフィックスデータを指定のCADデータ形式で出力できます。
■報告書作成機能
輪郭照合画面
39
オプション
二次元データ処理装置 QM-Data200
特長
■ LCDバックライト付大形液晶画面における高コントラストカラーグラフィック表示
■使用頻度の高い複合測定（2円の距離測定等）はワンキー操作で測定
■測定手順のティーチング機能
リピートモードにおける測定位置ナビゲーション機能による効率測定
■AI測定機能（測定要素自動判別機能）の搭載により測定コマンドキーの切換操作が不要
■測定コマンドやパートプログラムなどを個別に登録できるユーザーメニュー機能
■測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理が可能
■測定結果をパソコン用表計算ソフト
【MS-Excel※1】へCSV形式で出力
■パートプログラム・測定結果をUSBメモリ※2に保存
■見やすい角度に調節できるチルト機構付スタンド仕様
■プリンタ印字中でも測定可能
システム例
※1：マイクロソフト社の商品です。
※2：市販のUSBメモリすべてで動作保証しておりません。
フットスイッチ No.12AAJ088
仕様
QM-Data200（スタンドタイプ）
264-155
16ケ国語切換表示（日/ 英/ ドイツ/ フランス/ イタリア/ スペイン/ ポルトガ
ル/ チェコ/ 中国（繁体字）/中国（簡体字）/ 韓国/ トルコ/ スウェーデン/ ポー
表示言語
ランド/ オランダ/ ハンガリー）
測定値の単位
長さ：mm
角度：度/度分秒（切換可）
最小表示量
0.1µm
コードNo.
外観寸法図（単位：mm）
プログラム機能
測定手順の作成・実行・編集
測定項目、データ数、最大値、最小値、平均値、標準偏差、
レンジ、ヒ
ストグラム、測定機能別統計（コマンド別統計）
表示部
カラーTFTLCD（LEDバックライト付）
チルト機構
○
：リニヤスケール入力用・
・
・最大3軸
XYZ
RS-232C① ：外部PC接続用(測定結果）
RS-232C② ：測定機本体カウンタ接続用
入出力コネクタ
：フットスイッチ接続用
FS
PRINTER ：レシート/外部プリンタ接続用（測定結果）
USB-FDD ：USB-FDD接続用（測定結果ファイル、測定手順ファイル）
USB-MEMORY ：USBメモリ接続用（測定結果ファイル、測定手順ファイル）
測定結果ファイル出力 RS-232C出力（CSV形式、MUX-10形式）
電源
AC100V～240V
最大消費電力
17W（オプションは含みません）
外観寸法（W×D×H）約260×約242×約310mm（スタンド部含む）
質量
約2.9kg
適用機種
MF D/MF-UD
統計処理
サーマルプリンタ
DPU-414　SII社製
印字例
仕様
サーマルプリンタDPU-414
QM-Data200接続
カウンタ表示印字
印字方式
印字桁数
印字速度
外観寸法
標準付属
プリンタ用記録紙
補用品
ESC/Pプリンタ用ケーブル
コードNo.
12AAD032
02AGD600A　注）フットスイッチNo.12AAJ088併用
感熱シリアルドット方式
40桁（普通文字9×7ドットマトリックス）
最高52.5 character/sec（普通文字）
160（W）×170（D）×65.5（H）mm（プリンタ本体部）
プリンタケーブル、記録紙（1巻）、ACアダプタ（100V用）
No.908353（5巻）
No.12AAA804（2m）24pin カラー・モノクロ対応
40
オプション
画像保存・画像解析顕微鏡用デジタルカメラシステム
対物レンズを通した顕微鏡画像を誰でも簡単に撮影保存したいというお客様のご要望にお応えする顕微鏡用デジタルカメラシステムをご紹介します。高画質画像をマウ
スワンクリックで保存し、画面内計測も行えます。
顕微鏡用デジタルカメラシステム
イメージクロス
ImageX PRO 3000
特長
■200万画素CCDカメラによる高い色再現性と立体感を実現
で顕微鏡操作を強力サポート
■高い追従性（15fps）
■シームレスでしかも直感的に操作出来る高機能ソフト
■ライブモード時の計測や動画撮影に対応
■画像連結機能ISS
■全焦点画像合成機能AIF
仕様
ImageX PRO 3000（イメージクロスプロ3000）
製品名称
コードNo.
イメージクロスPRO 3000
No.00AAB008
No.00AAB009
（USB2.0）
・ソフトウエア
（CD-ROM)・インストールガイド・校正用レチクル
カラーCCDカメラ
全体
標準構成
—
接眼鏡筒取付用アダプタ
撮像素子
1/1.8型　200万画素カラーCCD
カメラマウント
Cマウント
外径寸法・質量
51（W）×51（H）×48.8（D）mm　約145g
シャープ）,ホワイトバランス（自動/マニュアル（赤ゲイン、青ゲイン）
・コントラスト
画像調整
自動/マニュアル露光調整（シャッター、ゲイン、
画像取込
通常取込・ハレーション除去取込・セルフタイマー取込・XY座標入力取込・Z座標入力取込
・スケール（X・Y）
・同心円・角度（クリック＆ドラッグで移動可、画像への書込可）
中心線・ものさし
（X・Y）
ライブレチクル表示
（動画）画像保存
静止画、動画（圧縮AVI形式）
画像サイズ
1600×1200
その他
照明ムラ補正・画像上下/左右反転・画像180°
回転・現在設定の保存反映
画面内計測
2点間距離・3点指定円・四角・多角形・楕円・中心・面積・周囲長・角度・3点円弧・垂直線距離・平行線間距離・円中心間距離・任意形状・点
自動エッジ検出
対応　※点・楕円・任意形状は対応していません。
計測
ラベリング計数
ラベル数、始点、終点、中心、
フェレ、面積、円相当径、重心、周囲長、包格、円形度、サイズ、流体直径、穴数、面積率　他
一覧詳細表示、2図形選択による相対情報表示（角度・交点・中心間距離、平均距離等々）
計測結果詳細表示
出力形式：クリップボード
（画像・計測線・テキスト・表）、CSV保存・編集、Excel転送
画像補正
明るさ、
コントラスト、色相、彩度、ホワイトバランス、色抽出、同色抽出、濃度変換、ネガポジ反転、2値化処理　他
画像
、全体画面表示/ズーム表示、2画面表示　他
画面表示
サムネイル表示（表示位置可変）
処理
画像解析
濃度断面表示（処理範囲内・縦断面・横断面）、濃度投影表示（縦投影、横投影）、ヒストグラム表示、拡大ウィンドウ表示、3D表示　他
画像間演算
ABS、AVE、MAX、MIN、AND、OR、XOR、SUM、DIV
画像比較
自動フィッティング、微調整、差分表示
校正（キャリブレーション）円径または目盛（X・Y）による実値補正（自動エッジ検出）、手動入力
ペン機能（サイズ・色選択、
スポイト）
、テキスト入力（フォント・サイズ・文字色・背景色選択）
画像編集
定型テキスト入力（現在／撮影日時、
ファイル名、定型テキスト）、吹き出し入力　他
画像
編集
画像ファイル
ロード/セーブ　：　BMP、JPEG、PNG、HTML
画像記録
計測線、テキストを画像に書込保存可能
印刷機能
指定倍率印刷（倍率設定、画像表示位置、
コメント、
タイトル入力可能）
メール機能
任意・全画像添付送信、HTML形式保存・送信、JPEG変換、LZH圧縮
画像ビューワー
ファイル・フォルダ内表示、転送
画像連結　ISS
特徴点任意設定・回転補正による自動フィッティング
画像
合成
全焦点画像合成、高さ色別表示可能
焦点合成　AIF
OS
Windows 7、Windows Vista、Windows XP（いずれも日本語版で出荷時にメーカープリインストールされたもの）
CPU
Pentium4-2GHz以上推奨（動画録画：Core2Duo-2GHz以上推奨）
メモリ
512MB以上推奨（動画録画：1GB以上推奨）
動作
環境
ディスプレイ
解像度1024×768以上・True　Color（32bit）
USBポート
USB2.0標準装備
その他
CD-ROMドライブ・HDD：1GB以上の空き容量・ビデオメモリ：32MB
41
オプション
測定顕微鏡の操作性をサポートするオプションを取り揃えています。合焦位置のばらつきを低減できるフォーカスパイロットや倍率変換・フォーカスを手元で行える電動レ
ボルバ・電動フォーカスユニット、被検物の回転移動を快適に行う微動つまみ付き回転テーブルなどお客様に好評をいただいています。
また、金属顕微観察をサポートする
偏光・微分干渉ユニット、多人数での同時解析評価に必須なカメラ装着用TVポートアダプタなどお客様のご用途に応じてお選びください。
明暗視野用マニュアルレボルバ、明視野用マニュアルレボルバ、明視野用電動レボルバ（4穴）
合焦検出ユニット　フォーカスパイロット
符号
コードNo．
FP-05
FP-05U
375-057（緑） 375-058（赤） 375-067（緑） 375-068（赤）
緑色LEDまたは赤色LED
●同心円パターン
●スリットパターン
光源
合焦再現性
光学倍率
倍率精度
カメラ
TVアダプタ
電源
外観寸法
(mm)
・パターンの上下が合致した位置が合焦位置となります
・被検物の表面状態に合わせたパターン選択や輝度調整
・0.5×光学系によりTVモニタ上で広視野観察（別途カメラ装着）
約1.5µm（20×レンズ使用時）※サンプルによる弊社計測参考値
0.5×
±0.1％（視野中心から2/3以内）
2/3型まで対応
Cマウント付・調心/同焦調整機構付
AC100V～240V 最大電力 10W
本体部：131（H）
コンソールBOX：90（W）×78（H）×178（D）
MF D
適用機種
レボルバ
コードNo．
対応観察
対物レンズ
取付本数
調心・
同焦機構
駆動方式
電源
外観寸法
（mm）
適用機種
176-211 176-412 378-018 176-410 176-212 378-016 378-216
明暗視野
BD用
4本
明暗視野
明視野
明視野
明暗視野
BD用
BF用
用
用
BF
（センサ付）
（センサ付） BD
4本
4本
4本
4本
明視野
BF用
明視野
BF用
4本
5本
基準固定1穴
調心同焦3穴
基準固定1穴基準固定1穴
—
—
調心同焦3穴調心同焦4穴
手動マニュアル
電動
—
AC100V～240V
レボルバ部：164（W）×65（H）×137（D）
ø120× ø110× ø120× コンソール：（）× （）× （）
—
BOX 108 W 72 H 193 D
48.2（H） 50.7（H） 50.6（H）
ケーブル長：3m
MF-U Dの必須選択オプション
MF-U D
パターン色交換用・LED照明モジュール（緑色）
：02AKV350B
・LED照明モジュール（赤色）
：02AKV390B
注）MF-U D と FP-05Uの組合せは工場オプションとなります
スライド式ノーズピース
（工場オプション）
コードNo． 176-370-1
調芯機構（基準）穴のレンズと焦点調節機構穴のレンズは同焦
注) 焦点調節機構穴のレンズの倍率保証はできません
コードNo． 176-370-2
調芯機構（基準）穴のレンズと焦点調節機構穴のレンズは倍率保証
注）2本のレンズは同焦になりません
適用機種
MF D
42
オプション
物ガ
ラス
外径
）
径）
0
90
ø 97
80
172
70
60
240
30
回転ツマミ
回転ツマミ
20
0
310
320
330
340
ø162
ø146
120（Ｔ溝ピッチ）
M6
クランプネジ
Ｖブロック台
コードNo. 172-378
支持可能な最大径：ø25mm
取付け面から中心高さ：
38～48mm
外観寸法（mm） 117（H）×90（W）×45（D）
質量
0.8kg
MF D/MF-U D
注）2010サイズはステージアダプ
タB併用
適用機種
2017・3017・4020サイズはステ
傾斜センタ
コードNo.
172-197
±10°
の傾斜姿勢可能、角
度最小読み1°
ネジなどの測定に最適
支持可能最大寸法：
水平時ø80×140mm
支持可能最大寸法：
10°傾斜時ø65×140mm
質量
ージアダプタ併用可
適用機種
2.5kg
MF D/MF-U D
注）2010サイズはステージ
アダプタB併用
2017・3017・4020サイズ
はステージアダプタ併
用
43
13
7
350
19.7
13
19
220
342
ø28
8
22.5
M6
クランプネジ
10
300
(0.7) 9.5 13
回転ツマミ
23.2
クランプ装置
コードNo.
クランプ最大
長さ
（mm）
外観寸法（mm）
質量
適用機種
176-107
35
62（H）×152（W）×38（D）
0.4kg
MF D/MF-U D
注）2010サイズは
ステージアダプタB併
用
2017・3017・4020サイ
ズはステージアダプ
タ併用可
1.8
C
0
(137.618)
3
58
29
4-
12
23.7
8
13 10.5(0.2)
(103.945)
0
ø28
2-M6深8
2-M6深8
28
19 13
13
40
250
50
(テーブ
ル内
282
342
(96.361)
径)
効
ø 100
ø 96 ガラス有
(載物
ガラス
(載物
外径）
230
）
内径
2
ø6
10
ø 24
5 (載
径
）
効
物
ガ
ラ
ス
有
(載
ø184
(テーブル内径）
220
(103.945)
210
0
0
0
20
(載
38
ø2
ブル
(テー
41
ø2
ø5
ø 270
径）
有効
ラス
物ガ
19
82
180
ø1
240
220
170
2-M6深8
注）Vブロック台・傾斜センタ・クランプ装置をテー
ブル上に固定できます。
160
˚
24
クランプネジ
（2箇所）
クランプネジ（2箇所）
150
7
37˚ 0
MF D/MF-U D
注）2010サイズはステージアダプタB併用
2017・3017・4020サイズはステージアダプ
タ併用
140
2-ø7穴、
2-φ7穴、
口元ø14ザグリ深4
口元φ14ザグリ深4
220
120
ø1
88
(載
物
ø 220
ガ
ラ
ス ø 240
外
径
）
280
256
220
適用機種
130
31
29˚
注）Vブロック台・傾斜センタ・クランプ装置をテー
ブル上に固定できません。
120
280
30
微動付回転テーブル（目盛付）
コードNo.
172-198
240（W）×172（D）×19.7（H）、テーブ
ル上面T溝ピッチ120
外観寸法（mm）
テーブル上面ø146mm 360°
回転
角度最小読みバーニヤ2′
質量
2.4kg
有効ガラス径（mm） ø96
0
注）Vブロック台・傾斜センタ・クランプ装置をテー
ブル上に固定できます。
微動付回転テーブル（B）
コード No.
176-306
342（W）× 342（D）× 23.2（H）
外観寸法
（mm）テーブル上面 ø270mm 360 °回転
角度読み無し
質量
6.5kg
有効ガラス径（mm） ø238
2017・3017・4020サイズ
適用機種
（MF D/MF-U D）
11
微動付回転テーブル（A）
コードNo.
176-305
280（W）×280（D）×23.7（H）
外観寸法（mm）テーブル上面 ø240mm 360°
回転
角度読み無し
質量
5.5kg
有効ガラス径（mm） ø182
適用機種
1010・2010サイズ（MF D/MF-U D）
T溝寸法
(Scale 2/1)
ステージアダプタ /
ステージアダプタ B
（
用）
コードNo. 176-304 2017, 3017, 4020
B:176-310（2010用）
外観寸法
50（W）×340（D）×15（H）
1枚
注）
アダプタBは280（D）
（mm）
質量
1.5kg/B：1.2kg
適用機種 MF D/MF-U D
注）2枚1組です。
偏光装置
コードNo.
適用機種
378-092
（明視野・明暗視野共通）
ポラライザ・アナライザが各々1個セ
ットになっています。
MF-U D
微分干渉ユニット
378-080（5×・10×用）
（ ×用）
コードNo. 378-079 20
378-078（50×・SL20×用）
378-076（100×・SL80×・SL50×用）
適用機種
MF-U D
注）偏光装置を併用してください。
照明フィルタ
顕微鏡本体
ハロゲン照明/LED照 GIFフィルタ※2
明用
LB80フィルタ
顕微鏡本体
※1 ND2フィルタ
ハロゲン照明用
ND8フィルタ
反射照明光源用
GIFフィルタ※2
（100Wファイバ
照明用） LB80フィルタ
12AAA645
12AAA646
12AAA643
12AAA644
12AAG806
12AAG807
※1 MF D（透過・反射共通）/MF-U D（透過のみ）
※2 本体標準付属
ポジタイプの
目盛
ネガタイプの
目盛
Ｃマウントアダプタ
コードNo.
970441
デジタルカメラ等を顕微鏡本体の TVカメラ
ポートに装着する際に使用する規格アダプタ。
注）画像ユニット装着時には使用しません。
外観寸法（mm） ø45×22.5（H）
適用機種
MF D/MF-U D
0.5×TVアダプタ（Cマウントアダプタ付）
コードNo.
375-054
デジタルカメラ等を顕微鏡本体の
TVカメラポートに装着する際に使
用する規格アダプタ。
0.5×縮小リレー像で広視野観察が可能。
倍率精度±0.1％、像視野ø11mm
注）画像ユニットに標準付属。
外観寸法（mm） ø45×123（H）
適用機種
MF D/MF-U D
対物ミクロメータ
コードNo.
375-056
スケール目盛 1mm
最小目盛
0.01mm
スケール精度
1+L（µm）L：任意の2線間の長さmm
（20℃）
目盛
ネガタイプ/ポジタイプ
外観寸法（mm） 76（W）×26（D）
質量
16g
適用機種
MF D/MF-U D
注）購入後の校正は弊社にて承っております。詳細
は最寄の営業課までご相談ください。
44
オプション
設置台（顕微鏡本体用）
コードNo.
176-309
最大積載質量 300kg
外観寸法（mm） 1200（W）×900（D）×650（H）
質量
約50kg
適用機種
MF D/MF-U D
注）顕微鏡本体に画像ユニットをシステム化される場合
は、外観寸法1800（W）×900（D）×740（H）の大型設置台
No.02ATE760をお奨めします。
レンズクリーニングセット
コードNo.
12AAA165
接眼レンズや対物レンズのメンテ
ナンス専用
クリーナー・クロス・ブロア・綿棒等
のセット
45
防振台
コードNo.
支持方式
最大積載質量
外観寸法（mm）
質量
適用機種
176-308
スプリングパッド
200kg
750（W）×550（D）×36（H）
36kg
MF D/MF-U D
オプション
レチクル
MF D用
MF-U D用
No.12AAG838（MF D）
No.12AAG878（MF-U D）
鎖線
90°
鎖線ピッチ0.2-0.2
線幅7µm
No.12AAG836（MF D）
No.12AAG877（MF-U D）
鎖線
90°
鎖線ピッチ0.2-0.2
線幅5µm
No.12AAG873（MF D）
No.12AAG876（MF-U D）
鎖線
90°
鎖線ピッチ0.2-0.2
線幅3µm
No.12AAG839（MF D）
No.12AAG879（MF-U D）
実線、45°
鎖線
90°
鎖線ピッチ0.2-0.2
線幅5µm
No.12AAG840（MF D）
No.12AAG880（MF-U D）
鎖線、60°
鎖線
90°
鎖線ピッチ0.2-0.2
線幅5µm
No.12AAG841（MF D）
No.12AAG881（MF-U D）
No.12AAG845（MF D）※1
No.12AAG846（MF D）※1
ツァイス形パターン
鎖線ピッチ0.2-0.2
線幅5µm
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
No.12AAG842（MF D）※1
十字線目盛線
0.1/20mm
線幅7µm
0.25
0.3
0.35
0.4
No.12AAG843（MF D）※1
十字線付同心円
ø1.2～ø18
線幅7µm
No.12AAG844（MF D）※1
目盛線
0.1/10mm
線幅10µm
1.25
0.1
0.15
0.2
0.25
0.3
0.4
0.5
0.6
1.5
0.45
0.5
1.75
0.6
目盛線
0.05/5mm
線幅10µm
方眼
□1mm　□10mm
線幅10µm
80
72
64
56
48
0.8
44
1.0
40
0.7
36
2.0
0.8
RACK GEAR 14.5°
1.0
No.12AAG847（MF D）※2
メートル並目ねじ
P＝0.25～1.0
線幅7µm
No.12AAG848（MF D）※2
メートル並目ねじ
P＝1.25～2.0
線幅7µm
No.12AAG849（MF D）※2
インボリュート歯車基準ラック
m＝0.1～1.0　圧力角14.5°
線幅7µm
No.12AAG850（MF D）※2
インボリュート歯車基準ラック
m＝0.1～1.0　圧力角20°
線幅7µm
28
No.12AAG851（MF D）※2
ユニファイ並目ねじ
80～28
線幅7µm
デジタル角度接眼レンズ用レチクル
（標準内蔵）
METRIC THREAD
24
32
RACK GEAR 20°
13
20
12
18
11
16
10
14
No.12AAG852（MF D）※2
ユニファイ並目ねじ
24～14
線幅7µm
No.12AAG853（MF D）※2
ユニファイ並目ねじ
13～10
線幅7µm
No.12AAG854（MF D）※2
実線、45°
鎖線
90°
鎖線ピッチ0.2-0.2
線幅5µm
十字線付同心円
0.01″～0.20″
線幅7µm
各レチクルは取付板付きです。
※1：接眼レンズ10×と併用にてご使用下さい。
※2：ML対物レンズ3×専用の比較チャートです。接眼レンズ10×と併用にてご使用下さい。
46
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あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業課へご相談ください。
●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。
●本カタログに掲載されている価格、仕様は 2014 年 10 月現在のものです。
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http://www.mitutoyo.co.jp
172 1410(8)E-(CH) HS124

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