ナノテクノロジープラットフォーム 新技術説明会 デバイス、計測・分析、材料 お問い合わせ Contact Us 会場のご案内 Access ナノテクノロジープラットフォーム 相談予約 連携・ライセンスについて 独立行政法人科学技術振興機構 産学基礎基盤推進部 企画課 tel. 03-5214-8475 fax. 03-5214-8496 [email protected] http://www.jst.go.jp/nanotechpf/ デバイス、計測・分析、材料 新技術説明会について 独立行政法人科学技術振興機構 産学連携支援グループ tel. 03-5214-7519 ライセンス・共同研究可能な技術（未公開特許を含む）を発明者自ら発表！ fax. 03-5214-8399 [email protected] 東京本部別館 ●JR「市ヶ谷駅」 より徒歩3分 〒102-0076 東京メトロ南北線・有楽町線 ●都営新宿線、 東京都千代田区五番町7K s五番町 JST東京本部別館ホール（東京・市ヶ谷） 「市ヶ谷駅（ 」2番口） より徒歩3分 http://jstshingi.jp ナノテクノロジープラットフォーム 新技術説明会 申 込 書 2014年12月4日（木） ホームページまたはFaxにてお申し込みください。 FAX 03-5214-8399 http://jstshingi.jp/nanotechpf/2014/ 科学技術振興機構 産学連携支援グループ 行 ふりがな FAX：03-5214-8399 ※当日は本紙をご持参ください 氏 名 所 属 役 職 電 話 F A X Ｅ-mail アドレス 参加希望 （ 印） JST東京本部別館ホール （東京・市ヶ谷） 所在地 〒 （勤務先） 会社名 （正式名称） ふりがな 木 2014 年 12 月4 日● １０：00∼16：40 主 催 □ 1 □ 2 □ 3 □ 4 □ 5 □ 6 □ 7 □ 8 □ 9 □ 10 □ 11 □ 12 □ 13 □ 14 希望されない場合は、 チェックをお願いします。 □ Ｅ-mailによる案内を希望しない ご登録いただいたメールアドレスへ主催者・関係者から、各種ご案内（新技術説明会・ 展示会・公募情報等）をお送りする場合があります。 アンケートにご協力ください 独立行政法人科学技術振興機構 共 催 あなたの業種を教えてください。（いずれか１つ） 文部科学省ナノテクノロジープラットフォームセンター 後 援 あなたの職種を教えてください。（いずれか１つ） 公的機関） あなたの来場目的を教えてください。（いくつでも） 独立行政法人中小企業基盤整備機構 全国イノベーション推進機関ネットワーク 関心のある技術分野を教えてください。（いくつでも） 発表者との個別面談受付中 木 2014年12月4日 ● ナノテクノロジープラットフォーム 新技術説明会 デバイス、計測 ・ 分析、材料 プログラム プログラム 10：00∼10：05 主催者挨拶 Meeting Schedule プログラム プログラム 小原 満穂 15：00∼15：20 独立行政法人科学技術振興機構 理事 11 10：05∼10：20 デバイス 事業紹介(主催挨拶に続けて) 独立行政法人物質・材料研究機構 ナノテクノロジープラットフォームセンター センター長 野田 哲二 15：20∼15：40 10：20∼10：40 1 ナノバブル 10：40∼11：00 2 発電素子 11：00∼11：20 3 デバイス 11：20∼11：40 4 MEMS 11：40∼12：00 5 ナノインプリント 12：00∼12：20 12：20∼13：00 13：00∼13：20 6 陽電子解析 13：20∼13：40 7 生物観察 【高分解能電子顕微鏡セッション】 13：40∼14：00 8 軽元素観察 【高分解能電子顕微鏡セッション】 14：00∼14：20 9 吸着カチオン観察 【高分解能電子顕微鏡セッション】 14：20∼14：40 10 ナノ粒子観察 【高分解能電子顕微鏡セッション】 14：40∼15：00 クライオ電顕と水の急冷試料作製方法を併用したナノバブル水中のバブルサイズ解析 大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター センター長 保田 英洋 FeCo系合金の逆磁歪効果を用いた小型発電素子 早稲田大学 ナノ理工学研究機構 ナノテクノロジー研究所 教授 関口 哲志 鈴木 裕輝夫 松尾 保孝 ポスターセッション（①∼⑤コアタイム） 昼食休憩 “電子の反物質で材料中の隙間を見る”―陽電子マイクロプローブ原子空孔分析の原理と応用― 産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門 陽電子プローブグループ 主任研究員 大島 永康 生きたまま、観る ―電顕の新しい使い方― 千歳科学技術大学 総合光科学部 バイオ・マテリアル学科 専任講師 平井 悠司 原子分解能走査透過型電子顕微鏡による軽元素直接観察 東京大学 大学院工学系研究科 総合研究機構 助教 藤平 哲也 収差補正電子顕微鏡によるゼオライト内吸着カチオンの直接観察 非営利・一般財団法人 ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所 環境電子顕微鏡グループ 上級研究員 吉田 要 ナノ粒子の構造・状態解析のための電子顕微鏡新技術 九州大学 超顕微解析研究センター 教授 ポスターセッション（⑥∼⑩コアタイム） 16：00∼16：20 松村 晶 松尾 直人 有機半導体材料の合成・デバイス作製・物性評価支援活動の紹介 東北大学 原子分子材料科学高等研究機構（WPI-AIMR) 准教授 金 鉄男 新しいカーボン材料 ―身近な未利用材料の活用から最新機能への挑戦まで― 信州大学 カーボン科学研究所 所長 橋本 佳男 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授 鈴木 基史 高感度光導波路型センサの開発 センサ 三田 吉郎 焼結体材料によるインプリント用金型作製技術 北海道大学 電子科学研究所 ナノテクノロジー連携推進室 准教授 兵庫県立大学 大学院工学研究科 物質系工学専攻 半導体材料・デバイス学研究グループ 教授 材 料 14 MEMSデバイス向け低応力成膜技術 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 助手 DNAをチャネルとするSi半導体MOSFET 材 料 15：40∼16：00 13 VLSIファウンドリとナノプラット微細加工で拓くデバイスの新展開 東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻 准教授 12 Meeting Schedule 16：20∼16：40 ポスターセッション（⑪∼⑭コアタイム） 16：40 閉会挨拶 木 2014年12月4日 ● ナノテクノロジープラットフォーム 新技術説明会 デバイス、計測 ・ 分析、材料 1 ナノバブル クライオ電顕と水の急冷試料作製方法を併用したナノバブル水中のバブルサイズ解析 Nanobubble size analysis in water by a combination of cryo-TEM and rapid cooling method 10：20∼10：40 保田 英洋（大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター センター長） Hidehiro YASUDA, Osaka University Fabrication method of sintered composite mold for imprint technology ナノインプリント 松尾 保孝（北海道大学 電子科学研究所 ナノテクノロジー連携推進室 准教授） 想定される用途 ● 高温にも耐えうる焼結体材料であるSiC等に対して、微細加工技術 を用いてナノ∼マイクロメートルオーダーで様々な形状に加工を施 し、高分子あるいはガラス素材に対して熱インプリントを行うこと が可能な金型作製についての技術を紹介する。 ナノバブルサイズ計測 11：40∼12：00 http://www.cris.hokudai.ac.jp/cris/nanoplat Yasutaka MATSUO, Hokkaido University http://www.uhvem.osaka-u.ac.jp/jp/ 水中のナノバブルサイズの計測は、従来、光による散乱を利用して 行われていたが、この技術においては、バブルを凍結することで、 直接、クライオ電子顕微鏡によりサイズを計測する技術である。従 来、光散乱による計測が不可能であった10nm以下で、数密度の大 きなバブルの計測を可能とした。 焼結体材料によるインプリント用金型作製技術 5 想定される用途 ● ● 熱インプリント用の金型作製 焼結体材料表面への微細加工 関連情報 展示品あり（2cm角の金型を展示予定） 2 発電素子 FeCo系合金の逆磁歪効果を用いた小型発電素子 Power Generation Micro Device using Fe-Co Metal Alloy 10：40∼11：00 関口 哲志（早稲田大学 ナノ理工学研究機構 ナノテクノロジー研究所 教授） Tetsushi SEKIGUCHI, Waseda University 高い磁歪効果を有し機械加工可能である安価なFeCo系合金を用い て小型発電デバイスを作製した。試作デバイスの発電電力は約１０ μJであり、120個のLEDを同時に点灯可能である。当日は試作デ バイスの簡単なデモを予定している。 6 陽電子解析 http://www.all-nano.waseda.ac.jp/nano/index.html 想定される用途 ● ● ● “電子の反物質で材料中の隙間を見る”―陽電子マイクロプローブ原子空孔分析の原理と応用― "Looking inside materials with the electron's antiparticle" Concept and application of atomic vacancy analysis with a positron microprobe 大島 永康（産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門 陽電子プローブグループ 主任研究員） OSHIMA Nagayasu, AIST https://unit.aist.go.jp/riif/ 陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA)は、電子の反粒子で ある陽電子をプローブとして用いて、材料中の原子サイズの空隙評 価を行う装置です。陽電子の材料中への入射エネルギーを制御する ことで、数ナノメートルから数マイクロメートルまでの任意の深さ での欠陥評価が可能です。金属・半導体・高分子に適用可能であり、 先端材料・機能性材料の開発支援に利用されています。 LED発光→赤外線リモコン LED発光→夜間安全装置 オルゴール発電 想定される用途 ● ● ● 金属材料の空孔型欠陥(塑性変形、疲労破壊、水素吸蔵・脆化、 照射損傷、他) 半導体デバイス関連物質の空孔型欠陥(イオン注入欠陥、マイ グレーション、アモルファスシリコン、他) 高分子材料・非晶質材料のサブナノメートルサイズの空隙(逆 浸透膜、ガスバリア膜、変形、劣化、他) 関連情報 展示品あり（試作デバイスのデモを実施予定） 3 デバイス VLSIファウンドリとナノプラット微細加工で拓くデバイスの新展開 Brand-new Functional Device by VLSI Foundry and Nanotechnology Platform Post-Processing 三田 吉郎（東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻 准教授） 単なる微細加工・単なる集積回路の伝統的枠組みを破り、産業展開 が可能な集積回路ファウンドリにおいて信頼性の高いトランジスタ 素子を試作し、入手した基板を東京大学が誇る「クラス１」ナノテ クノロジー・プラットフォーム微細加工拠点の一流のMEMS装置 にて加工を行い、高度な機能を実現するデバイスの研究が可能にな っています。拠点プレイングマネージャの三田が60ボルトシリコ ン太陽電池などの実例を交え分かりやすく解説いたします。 関連情報 MEMS 想定される用途 ● ● ● 次世代センサ素子、特に情報処理回路との集積化を必要とする デバイス 半導体微細加工を必要とする凡そすべての微細構造 単なる微細描画も可能です。ご相談ください サンプルの提供可能（技術代行・技術補助・共同研究によるサンプルの 施策が可能です。)・展示品あり(集積化MEMSのサンプルを開示予定） MEMSデバイス向け低応力成膜技術 Low stress film deposition technique for MEMS device 11：20∼11：40 鈴木 裕輝夫（東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 助手） Yukio SUZUKI, Tohoku University http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/index.html マイクロエレクトロメカニカルシステム(ＭＥＭＳ)の製造には低 膜応力、膜応力制御が重要である。PECVD、LPCVD、Thermal CVD、 それぞれの成膜プロセスで多様な膜応力制御技術の開発 を行った。それら新技術を利用したＭＥＭＳデバイスの試作例を 紹介する。 想定される用途 ● ● ● 関連情報 サンプルの提供可能 7 生物観察 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/ Yoshio MITA, The University of Tokyo 4 11：00∼11：20 Grid type optical filter MEMS microphone Micro scanner mirror 13：00∼13：20 生きたまま、観る ―電顕の新しい使い方― 13：20∼13：40 SEM observations of the living organisms -New observation methods of SEM- 平井 悠司（千歳科学技術大学 総合光科学部 バイオ・マテリアル学科 専任講師） Yuji HIRAI, Chitose Institute of Science and Technology http://www.chitose.ac.jp/~nanotec/ 一般的に電子顕微鏡では水分を含んだサンプルやガスを放出してし まうサンプルを直接観察することはできなかった。しかしながらプ ラズマ重合された有機薄膜「ナノスーツ®」をサンプル表面にコー トすることで、上記のようなサンプル以外にも昆虫などを生きたま ま直接電子顕微鏡で観察することが可能となった。本技術説明会で は、ナノスーツ®の簡便な作製方法について紹介するとともに、実 際に昆虫が電子顕微鏡で動いている動画をご覧頂く予定である。 想定される用途 ● ● ● 動植物の生きたままの観察による機能解明 病理診断 水分保護フィルム 関連情報 外国出願特許あり 木 2014年12月4日 ● ナノテクノロジープラットフォーム 新技術説明会 デバイス、計測 ・ 分析、材料 8 軽元素観察 原子分解能走査透過型電子顕微鏡による軽元素直接観察 Direct observation of light elements by atomic resolution scanning transmission electron microscopy 藤平 哲也（東京大学 大学院工学系研究科 総合研究機構 助教） Tetsuya TOHEI, The University of Tokyo 収差補正走査透過型電子顕微鏡(STEM)の原子サイズ電子プローブ を用いた新しい結像法により、従来は観察が困難であった材料中の 軽元素(H, Li, O, N等)を直接捉えることが可能となってきている。 幅広いサンプル厚み条件に対して軽元素サイトの観察が堅牢に行え るSTEMの環状明視野(ABF)法や、元素選択的な分析が可能な電子 エネルギー損失分光(EELS)法による材料中軽元素の直接観察・分 析の例を紹介する。 9 吸着カチオン観察 想定される用途 ● ● ● 電池関連材料の微細組織・構造解析(例：リチウムイオン電 池材料解析） 酸化物・窒化物セラミックスの原子構造解析(例：GaN薄膜 の極性判定） 材料中軽元素ドーパントの局所分析・観察 収差補正電子顕微鏡によるゼオライト内吸着カチオンの直接観察 Atomic Scale Direct Observations of Cations within Zeolitic Nanocavities 吉田 要（非営利・一般財団法人 ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所 環境電子顕微鏡グループ 上級研究員） 収差補正電子顕微鏡(AC-HRTEM)の光学条件を最適化することに よりゼオライト細孔内に吸着したカウンターカチオンの直接観察が 可能となった。またゼオライトは非常に電子線に対する耐性が低い ため、試料へ照射される電子線量が大きく制限される。そのため本 技術では照射される電子線量を極限まで抑えたロードーズ観察技術 を合わせて用いることでカウンターカチオンの直接観察を実現した。 ナノ粒子観察 http://www.jfcc.or.jp/ 想定される用途 ● ● ゼオライトのイオン交換過程の解析 触媒担持ゼオライトの原子スケール構造解析 ナノ粒子の構造・状態解析のための電子顕微鏡新技術 Transmission electron microscopy for nanoparticle analysis ナノテクノロジーの発展に伴いナノメートルサイズの粒子の構造や 状態を電子顕微鏡で観察・解析することが広く行われている。ナノ 粒子は、体積が小さく比表面積が大きいことから、通常の薄膜試料 とは電子線に対する安定性がことなる。電子顕微鏡の収差補正技術 が発達したことにより、電子顕微鏡の性能を犠牲にせずに観察対象 にあった加速電圧の選択が可能になってきた。本講演では、ナノ粒 子の観察・解析に低い加速電圧が有効であることを示す。 デバイス 14：20∼14：40 松村 晶（九州大学 超顕微解析研究センター 教授） http://www.hvem.kyushu-u.ac.jp Syo MATSUMURA, Kyushu University 11 14：00∼14：20 想定される用途 ● ● ● Study of Si Semiconductor MOSFET with DNA Channel 材 料 金 鉄男（東北大学 原子分子材料科学高等研究機構(WPI-AIMR)准教授） 15：00∼15：20 想定される用途 ● ● 15：20∼15：40 http://www.wpi-aimr.tohoku.ac.jp/asao_labo/ http://cints-tohoku.jp/result.html Tienan JIN, Tohoku University 東北大学の分子・物質合成プラットフォームでは、合成を主体とす る研究支援活動を行います。特に有機エレクトロニクス研究に必要 な様々な有機半導体の受託合成、構造解析、熱分析、光学および電 気特性解析、デバイス作製による機能性評価等について、本学が保 有する有機合成技術と最新分析技術を用いて、産学官研究者のニー ズに合わせた研究支援活動を展開します。 想定される用途 ● ● ● 新規高性能有機半導体の創出 有機発光トランジスタと有機レーザ デバイス作製技術 関連情報 サンプルの提供可能 新しいカーボン材料 ―身近な未利用材料の活用から最新機能への挑戦まで― 13 Novel carbon materials - Growth from unused materials and novel inovative applications - 材 料 橋本 佳男（信州大学 カーボン科学研究所 所長） Yoshio HASHIMOTO, Shinshu University 15：40∼16：00 http://endomoribu.shinshu-u.ac.jp/ICST/nanoplat.html（近く変更されます。） 籾殻、コーヒー抽出がらなどの従来の不用材料に対して化学処理ま たはプラズマプロセスなどを施すことにより、ナノチューブ、グラ フェンといったナノカーボンの炭素源とすることができる。また、 ナノチューブの分散技術によって、Al等の軽金属、樹脂等の材料の 高強度化の可能性が大きく広がる。このような利用例を中心にプラ ットフォーム利用(新材料の合成支援及びカーボン材料の微細解析) による新奇ナノカーボンの開発とその産業化の可能性を提示する。 想定される用途 ● ● ● カーボン材料の新奇合成 軽金蔵、プラスチックの高強度化 電気的、熱的高伝導材料の開発 高感度光導波路型センサの開発 14 Development of high-sensitivity waveguide-mode sensors センサ 鈴木 基史（京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授） 16：00∼16：20 http://www.mpe.me.kyoto-u.ac.jp Motofumi SUZUKI, Kyoto University 想定される用途 ● ● ● バイオセンサ 化学センサ ガスセンサ 関連情報 サンプルの提供について(試作可能) 松尾 直人（兵庫県立大学 大学院工学研究科 物質系工学専攻 半導体材料・デバイス学研究グループ 教授） http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc13/LKJ3/toppage.html Naoto MATSUO, University of Hyougo 我々はDNAに電荷保持特性がある事をこれまでに報告している。 更に、Si(ゲート)/SiO2/DNA構造における電荷保持機構について も検討している。以下の事象が判明した。１．DNA内には電子のト ラップサイトが多数ある。２．デトラップされる電子量はリフレッ シュ電圧の大きさ、又は、印加時間と密接に関係しており、電圧が 大きい程、又、印加時間が長い程、 デトラップ電子量は大きい。 ３．DNAのトラップ位置はグアニンの禁制帯内の価電子帯端に近 い位置と考えられる。 Synthesis of organic Semiconductors, fabrication of devices, and evaluation of functionality 動的斜め蒸着法による実験と、多層膜の光学特性に関する理論的考 察に基づいて、光導波路センサの導波路層の空孔率と屈折率が、セ ンサの感度に与える効果を明らかにした。その結果、導波路層の空 孔率と屈折率を大きくすることが、センサの感度の向上のために重 要であることがわかった。多孔質Ta2O5層を導波路層に用いた光 導波路センサで、これまでの最高感度を実現することに成功した。 ナノ粒子の原子分解能構造解析 ナノ粒子の元素状態解析 ナノ粒子の表面構造解析 DNAをチャネルとするSi半導体MOSFET 有機半導体材料の合成・デバイス作製・物性評価支援活動の紹介 12 http://interface.t.u-tokyo.ac.jp/japanese/index.html Kaname YOSHIDA, Japan Fine Ceramics Center 10 13：40∼14：00 トランジスタ センサー 関連情報 サンプルの提供可能(要相談(納期まで十分余裕のある案件は対応可能))
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