3成分系 PbZrO 3 -PbTiO 3 -Pb(Mn 1/3 Sb 2/3 )O 3 圧電 セラミックスの電気的及び機械的特性 北川賀津一* 豊田丈紫* 北川和夫** 山本孝*** 研究の背景 近年,圧電セラミックスはハイパワー用途に用いられる場合が増えてきている。また,ハイパワー用途の 圧 電 セ ラ ミ ッ ク ス と し て は , ジ ル コ ン 酸 チ タ ン 酸 鉛 (PZT)に 第 3 成 分 の ペ ロ ブ ス カ イ ト 強 誘 電 体 化 合 物 を 加 え る 3 成 分 系 圧 電 セ ラ ミ ッ ク ス が 提 案 さ れ て い る 。 本 研 究 で は , 第 3 成 分 に Pb(Mn 1 / 3 Sb 2 / 3 )O 3 を 選 択 し た 3 成分系圧電セラミックスを合成し,電気的及び機械的特性を調べた。 50 2000 PbZrO 3 ( 以 下 PZ と 略 す ) , PbTiO 3 ( 以 下 PT と 略 す ) , Pb(Mn 1 / 3 Sb 2 / 3 )O 3 (以 下 PMS と 略 す )を 各 々 750℃ で 合 成 し て X 線 回 折 パ タ ー ン を 調 べ た 結 果 ,PZ は 斜 方 晶 系 ,PT は 正 方 晶 系 の ペ ロ ブ ス カ イ ト 構 造 を 示 し た の に 対 し , PSM は 単 独 で は 合 成 さ れ ず , Pb 2 Sb 2 O 7 と Pb 2 MnO 4 の 混 合 相 を 示 し た 。 一 方 , 等 モ ル の PZ と PT に 対 し て PMS を 0.05 な い し 0.10 モ ル 置 換 す る と , ペ ロ ブ ス カ イ ト 単 相 が 合 成 で き た 。 PMS の 置 換 量 が 多 Electrical Mechanical Coupling Factor (kp (%)) 48 1800 46 1600 44 42 1400 40 38 1200 36 1000 34 800 32 30 600 Mechanical Quality Factor (Qm) 研究内容 28 400 26 24 200 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.10 PMS Addition Amount (mol%) い ほ ど 結 晶 化 は 進 み や す く ,ペ ロ ブ ス カ イ ト 構 造 が よ り 低 温 で 生成していた。 図 1 PMS 置 換 量 と 圧 電 特 性 し ,機 械 的 品 質 係 数 Q m は 0.075 モ ル 添 加 で 最 も 高 い 値 を 示 し た 。 PZ と PT の 組 成 比 を 変 え た 場 合 の 圧 電 特 性 を 図 2 に 示 す 。 k p は組成比によって大きく変化し,圧電特性値を最大にするには PZ と PT の 等 モ ル 組 成 比 が 最 適 で あ っ た 。 な お , こ の 組 成 近 傍 が相境界であると思われる。 添加剤のない 3 成分系圧電セラミックスを電子顕微鏡で観察 す る と 焼 結 が 進 ま ず 空 孔 が 多 数 存 在 し て い た 。PMS 置 換 量 を 増 Electrical Mechanical Coupling Factor (kp(%)) 機 械 結 合 係 数 k p は 置 換 量 の 少 な い 0.05 モ ル で 最 も 高 い 値 を 示 60 2400 55 2200 2000 50 1800 45 1600 40 1400 35 1200 30 Mechanical Quality Factor (Qm) PMS の 置 換 量 を 変 え た 場 合 の 圧 電 特 性 を 図 1 に 示 す 。 電 気 1000 25 800 0.48 0.49 0.50 0.51 0.52 やすと空孔は減少したが,圧電特性値は最適値よりずれた。ス PbZrO3 Addition Amount vs PZT (mol%) トロンチウムとマンガンを少量添加すると焼結状態が著しく改 図 2 . PZ と PT の 組 成 比 と 圧 電 特 性 善された。 研究成果 PZT は Q m が 700 で あ り ,ハ イ パ ワ ー 用 圧 電 セ ラ ミ ッ ク ス と し て は 圧 電 特 性 値 が 低 い が ,今 回 ,PZ:PT=50:50, PMS を 0.05 モ ル 置 換 し 3 成 分 系 と す る こ と に よ り Q m を 1400 に ま で 上 げ る こ と が で き た 。ま た ,k p =57%, 4 点 曲 げ 強 さ も 82MPa と 高 い 値 を 示 し , ハ イ パ ワ ー 用 途 の 圧 電 セ ラ ミ ッ ク ス 製 造 に 可 能 性 を 見 出 す こ と が 出来た。 論文投稿 粉 体 お よ び 粉 末 冶 金 Vol. 51, No. 2, 2004. p.65-70. * 化学食品部 ** 金沢大学 *** 防衛大学校 ・本研究は日本自転車振興会補助事業にて導入したセラミックス成形加工機を利用した。
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