【自動】X軸リニアボール - ミスミ

MOTORIZED STAGES X-AXIS LINEAR BALL GUIDE
Q自動ステージ専用技術問合せ窓口
駿河精機株式会社OST事業部
（ミスミグループ）
TEL：0120−343−559
FAX：0120−343−588
受付時間：月∼金
（祝日等除く）
9：00∼12：00 13：00∼17：00
【自動】X軸リニアボール
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9：00∼12：00 13：00∼17：00
CADデータフォルダ名：29_Stages
Q特長：ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性・低価格でステージ面の薄さ20mmを実現しました。
E写真は、
カバー位置Rです。
Q自動X軸ステージ
型式
センサ選択
付属品（4本）￥基準単価
ステージ面移動量自重位置決めモーメント剛性（″/N・cm）運動の運動の
（kg）精度ピッチヨーロール真直度平行度ピッチングヨーイング Type M−L 1∼9コ
Type
No.
カバー位置
論理
電圧（V）（mm）（mm）
40×40 13 0.5
0.22 0.17 0.12
413
SCB3−8
74,100
76,900
513
50×50 13 0.6 6μm 0.14 0.10 0.06 1μm 5μm 15″ 10″ SCB3−8
A
615 R
60×60 15 0.7 以内 0.08 0.07 0.03 以内以内以内以内 SCB4−8
77,900
すべてN.C.
5
SCB4−8
82,600
715
70×70 15 0.9
0.03 0.03 0.01
XMSG 430
C
0.24 0.18 0.26
SCB3−8
88,300
40×60 30 0.6
24
L
リ
ミ
ッ
トスイ
ッチはN.C.
530
50×70 30 0.8 12μm 0.12 0.13 0.10 2μm 10μm 20″ 15″ SCB3−8
92,100
原点センサはN.O.
97,800
650
60×100 50 1.1 以内 0.05 0.05 0.05 以内以内以内以内 SCB4−8
SCB4−8 101,600
750
70×110 50 1.2
0.03 0.03 0.03
E左ページの写真はすべてカバー位置R、
図面はすべてカバー位置Lとなっています。
Eコントローラ・ハンディターミナルはP.1742をご覧ください。
XMSG413
分解能＊1
φ20
出力論理
K
V
O
A
G
K : 発光側カソード V : 受光側電源＋
A : 発光側アノード O : 出力
G : 受光側電源−
14
28
24
20
ツマミ
スリット原点センサ
（ORG2）
原点端面
φ20
反端面
MAX 245
MAX 196
230
94
81.5
ツマミ
φ20
16.8
4−4.5キリφ8ザグリ
（M4用ボルト穴）
8−M3深サ4
4
90
4−M4深サ4
コネクタHR10A−10J−12P（HRS）
100
14
28
28
コネクタHR10A−10J−12P（HRS）
14
5
14
28
24
20
4
φ20
16.8
24
20
8−M4深サ4
136
110
60
40
30
3
ツマミ
60
10
2
9
3
8
11
7
4
12
5
6
MAX 255
M 材質 SUS440C
S 表面処理無電解ニッケルメッキ
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
モーターリード
モーターリード
モーターリード
モーターリード
モーターリード
CWLS出力
CCWLS出力
ORG2
電源入力
（＋）
ORG1
電源入力
（−）
F.G.
CCWリミット
原点センサ
（ORG1）
CWリミット
MOTOR
1
2
3
4
5
1
2 リミットSW、
3 原点センサ基板
4 （ORG1）
5
1 1 スリット原点
2 2 センサ基板
3 3 （ORG2）
＊破線部は標準ケーブルを用いた場合は機能しません。
S
スリット原点（ORG2）
青
赤
橙
緑
黒
S…原点のスリット（検出）間隔
未検出（遮光状態）
スリット原点（ORG2）
検出（入光状態）
未検出（遮光状態）
検出（入光状態）
メカストッパ
メカストッパ
未検出（入光状態）
検出（遮光状態）
未検出（入光状態）
原点センサ（ORG1）
検出（遮光状態）
未検出（入光状態）
CWリミット
検出（遮光状態）
未検出（入光状態）
検出（遮光状態） CCWリミット
未検出（入光状態）
原点センサ（ORG1）
検出（遮光状態）
未検出（入光状態）
CWリミット
検出（遮光状態）
CCWリミット
コネクタHR10A−10J−12P
（HRS）
86.8
70
60
40
30
94
81.5
76.8
60
25 25
32
4−M3深サ4
8−M3深サ4
1
Q付属センサタイミングチャート
（センサ論理Aの場合）
94
81.5
±0.5μm以内
98N
1μm以内
0.5μm以内
15μm以内
繰返位置決め精度
耐荷重＊3
ロストモーション
バックラッシ
平行度
Q結線図
＜内部回路＞
MAX 180
181
ボールねじφ6、
リード1
リニアボールガイド
2μm/パルス
（Full）
1μm/パルス
（Half）
10mm/sec
（モータ送りパルス数：5kHz）
Q付属コネクタピン配列
5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター（株））
0.72°
HR10A−10P−12S
（ヒロセ電機㈱）
100mA以下
（1センサあたり25mA）
NPNオープンコレクタ出力 DC5∼24V 16mA以下
制御出力
残留電圧0.4V以下
（負荷電流16mA時）
N.C.…入光時ON
N.O.…遮光時ON
16.8
XMSG750
220
4−4.5キリφ8ザグリ
（M4用ボルト穴）
4−M2深サ4
MAX 186
126
100
25 25
32
4
60
24
20
52
28
14
4
4−3.5キリφ6ザグリ
（M3用ボルト穴）
60
4
24
20
コネクタHR10A−10J−12P（HRS）
28
4 20 4
30
コネクタHR10A−10J−12P
（HRS）
66.8
50
40
30
13
φ20
8−M3深サ4
XMSG650
1 -1737
5
Q電気仕様
タイプ
モータ
ステップ角
受側適合コネクタ
消費電流
ツマミ
87
70
40
30
13
3.5
ツマミ
16.8
30
4−3.5キリφ6ザグリ
（M3用ボルト穴）
5
102.5
90
16.5
94
81.5
40
171
56.8
40
16 16
28
4 20 4
32
4
XMSG530
77
60
16 16
MAX 159
4−M4深サ4
4
MAX 170
XMSG430
【共通スペック】
送りねじ
ガイド
＊1 1パルスの信号に対してのステージの移動量です。
＊2 最大荷重を載せ、
当社コントローラ
（MSCTL102）
を使用してフルステップ設定で駆動可能なスピードです。
（使用するドライバコントローラや、
載せる荷重により値は異なります。）
＊3 Z軸
（垂直）
使用時の耐荷重は49Nに低下します。
センサ
8−M3深サ4
28
14
4
50
4−4.5キリφ8ザグリ
（M4用ボルト穴）
コネクタHR10A−10J−12P
（HRS）
24
20
8−M4深サ4
LA5
φ20
4
60
φ20
25
4−M3深サ4
14
28
24
20
7
3
ツマミ
XMSG413 −
E表示数量超えはお見積り
Eセンサ電圧が24Vの場合、MSCTL102
（コントローラ）
で動作させることはできません。
Eセンサ電圧5V選択時に、5Vを超える電圧をかけると破損します。
コネクタHR10A−10J−12P
（HRS）
70
60
40
30
16.5
4−4.5キリφ8ザグリ
（M4用ボルト穴）
40
XMSG715
102.5
90
25
32
25
32
3
MAX 149
60
8−M3深サ4
70
60
40
30
25
− センサ選択
MAXスピード＊2
4−M2深サ4
14
28
24
20
7
4
32
Delivery
出荷日
ツマミ
50
40
30
13
4−3.5キリφ6ザグリ
（M3用ボルト穴）
コネクタHR10A−10J−12P
（HRS）
E図面はカバー
位置Lです。
102.5
90
型式
16.5
8−M3深サ4
XMSG615
60
40
φ20
16.5
32
4−3.5キリφ6ザグリ
（M3用ボルト穴）
50
3.5
ツマミ
40
16 16
3.5
50
50
40
30
13
XMSG513
102.5
90
40
16 16
Order
注文例
（反モータ側）CW
CCW（モータ側）
メカ
CW
原点
リミットリミット端面
CW方向
移動量
座標基準
メカリミット
CWリミット
原点
13
原点復帰
7.5
7
0
15
原点復帰
8.5
8
0
30
原点復帰
16
15.5
0
50
原点復帰
26
25.5
0
共通
スリット原点
（検出）
間隔 S＝1
・原点復帰はMSCTL102
（コントローラ）
を用いて原点復帰タイプ3
（下記参照）
を行った場合。
・座標は設計上の値です。実際には±0.5mm程度の寸法誤差が生じることがあります。
反
端面
反端面
2
2
2
2
CCW
メカ
リミットリミット
CCWリミット
7
8
15.5
25.5
CCW方向
メカリミット
7.5
8.5
16
26
（単位：mm）
Q推奨原点復帰方法（MSCTL102（P.1742）
を使用した場合）
タイプ3
CCW方向に検出を行い、ORG1信号のCCW側エッジの検出工程を行います。
タイプ4
CW方向に検出を行い、ORG1信号のCW側エッジの検出工程を行います。
タイプ9
パターン1実施後、TIMING信号のCCW側エッジの検出工程を行います。
タイプ10 パターン2実施後、TIMING信号のCW側エッジの検出工程を行います。
1 -1738

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