XY–AXIS STAGES リニアボール式 XY軸ステージ 最大12% CADデータフォルダ名:XY_Stage g特長:高精度・高剛性で低価格を実現。2軸にしても厚さ40mm以下に抑えられ、直交出しも不要です。 gXY軸ステージ gマイクロメータヘッド g送りねじ XYSG XYSCG (25≦A≦100) gマイクロメータヘッド(XYSG) g送りねじ (XYSCG・XYSBG) 型式 T T1 Type A 25 24 3.7 40 32 4.5 50 32 4.5 XYSG 60 32 5 XYSCG 70 36 6 XYSBG 80 40 6.5 100 40 6.5 (25≦A≦100) (Pitch0.5) XYSBG (40≦A≦100) (Pitch1.0) Q B±S J F E P A Q B±S J P J K X A A K A A X A J F E 0 5 B±S 0 5 F B±S F E eXYSBGはA=40∼100に適用 L φ13 ※1 G R T G D R T L T1 T1 X 4−d2キリ d1ザグリ深サℓ X ※1 A=25はφ7となります。 4−d2キリ d1ザグリ深サℓ e基準面付標準装備 g粗微動マイクロメータヘッド XYSKG (40≦A≦80) F E 移動軸 (仮想) φ10 K A25 11.5 eA25・80・100は送り用ブラケット形状が異なります。 A80・A100 F A F A (拡大) B±S F E 基準ライン (溝) eミスミのリニアボール式ステージは移動 軸に対して平行、及び直交する基準面を 持っています。 基準面は図で示す通りです。 SUS440C 無電解ニッケルメッキ SUS440C 58HRC∼ SUS304WPB A5052 白アルマイト SUS303 R マイクロメ−タヘッドブラケット 先端受け部品 m材質 l表面処理 m材質 eマイクロメ−タヘッド・送りねじの構成部品の材質はP.1159をご覧ください。 位置決めピンの 差込が出来れば 位置決め完了と判断 Example 使用例 ※1 送りねじの端面が、 ステージ端面より5mm内側にあります。 g粗微動マイクロメータヘッド(XYSKG) 型式 T T1 B Type A 40 32 4.5 60 50 32 4.5 55 32 5 50 XYSKG 60 70 36 6 50.5 80 40 5.5 49.5 4−d2キリ d1ザグリ深サℓ G R P Q L K J X d1 d2 ℓ 7 9 9 9 10 11 11 20.5 26.5 26.5 26.5 29.5 34.5 34.5 6 10 10 10 10 10 10 8.5 10.5 10.5 10.5 11.5 14.5 14.5 19 25 25 25 28 31 31 15 26 31 36 46.5 55 67.5 6.8 11.5 11.5 11.5 11.5 11.5 11.5 20 32 40 50 60 70 90 4.2 6 6 8 8 8 8 2.5 3.5 3.5 4.5 4.5 4.5 4.5 2.5 3.5 3.5 4 4.5 5.3 5.3 ※2 送りねじA=80・100の場合F=20 E F G R Q L K X d1 d2 ℓ 16 16 16 16 17 18.5 18.5 18.5 18.5 25 11.6 11.6 11.6 12.5 11 26.5 26.5 26.5 29.5 34.5 10.5 10.5 10.5 11.5 14.5 27.6 27.6 27.6 30.5 31 26 31 36 46.5 55 32 40 50 60 70 6 6 8 8 8 3.5 3.5 4.5 4.5 4.5 3.5 3.5 4 4.5 4.3 付属品(4本) Type M−L SCB3−6 SCB3−6 SCB4−6 SCB4−6 SCB4−6 ¥単価 移動精度 許容モーメント荷重(N・m) モーメント剛性(″/N・cm) 自重 耐荷重 N {kgf} 真直度 平行度 ピッチング ヨーイング ピッチング ヨーイング ローリング ピッチング ヨーイング ローリング(kg) 1∼19コ 95.2 {9.7} 5.0 5.0 5.0 0.63 0.70 0.63 0.44 106,200 144.2 {14.7} 6.0 6.8 6.0 0.24 0.28 0.24 0.54 108,200 1μm 30μm 25″ 15″ 9.0 192.1 {19.6} 10.0 9.0 0.13 0.16 0.13 0.78 108,200 219.7 {22.4} 12.9 13.8 12.9 0.09 0.10 0.09 1.14 116,200 255.8 {26.1} 3μm 40μm 17.7 18.2 17.7 0.06 0.08 0.06 1.78 120,200 eXYSKG:粗微動マイクロメー夕最小読取単位 粗動 10μm 微動 0.5μm e表示数量超えはお見積り 型式 Order 注文例 Delivery 出荷日 XYSG40 型式 Alteration 追加工 3 − (CR・A・H・P・MN) XYSCG40 − 改善後 A 5 段換え位置プレート GFG60−60 (P.1147) レーザー溶接機 eマイクロ・送りねじやクランプの取付寸法が標準品と異なります。 e詳細寸法はCADデータでご確認ください。 eマイクロ・送りねじの下記以外の取付位置が必要な場合はフリーステージ (P.1155) でお選びいただけます。 Alterations マイクロ・送りねじ位置変更 クランプ強化 ディスククランプ センター マイクロメータヘッド無 対向クランプ A B1 40 24.5 50 19.5 60 14.5 70 4.0 φ14 15.5 6.2 XYZSG60 (P.1134) マイクロメータヘッド無 B1±6.5 10 0 10 20 サイド左右勝手違い ワーク (コネクタ) D 9.3 13 13 13 13 18 18 性能表(XYSKG) 型式 ステージ面 移動量 (mm) (mm) Type A 40 40×40 粗動 50 50×50 ±6.5mm XYSKG 60 60×60 微動 70 70×70 0.2mm 80 80×80 eテーブル上取付寸法はリニアボール式X軸ステージ (P.1129) をご覧ください e詳細寸法はCADデータでご確認ください。 改善前 F 7 9 12 18.5 12 18.5 12 18.5 12 18.5 17 22※2 17 22※2 G バネ m材質 φ21 ボ−ル m材質 n硬度 T 本体 l表面処理 L T1 m材質 X K 基準ライン 基準直交面 直交度:0.04 Q B±6.5 E 性能表:XY軸ステージ 型式 許容モーメント荷重(N・m) モーメント剛性(″/N・cm) 自重 付属品(4本) ¥単価 1∼19コ 移動精度 ステージ面 耐荷重 {kgf} 真直度 平行度 ピッチングヨーイングピッチングヨーイングローリングピッチングヨーイングローリング(kg)Type M−L XYSG XYSCG XYSBG Type A (mm) N 25 25×25 38.2 {3.9} 3μm 30″ 25″ 2.0 2.0 2.0 3.0 2.20 3.00 0.14 SCB2−4 34,000 28,000 − 40 40×40 95.2 {9.7} 5.0 5.0 5.0 0.63 0.70 0.63 0.46 SCB3−6 36,000 30,000 30,000 50 50×50 144.2 {14.7} 6.0 6.8 6.0 0.24 0.28 0.24 0.56 SCB3−6 38,000 32,000 32,000 30μm XYSG 1μm 60 60×60 192.1 {19.6} 9.0 10.0 9.0 0.13 0.16 0.13 0.80 SCB4−6 38,000 32,000 32,000 XYSCG 25″ 15″ 70 70×70 219.7 {22.4} 12.9 13.8 12.9 0.09 0.10 0.09 1.16 SCB4−6 46,000 40,000 40,000 XYSBG 80 80×80 255.8 {26.1} 17.7 18.2 17.7 0.06 0.08 0.06 1.80 SCB4−6 50,000 44,000 44,000 3μm 40μm 100 100×100 329.6 {33.6} 30.7 31.8 30.7 0.03 0.04 0.03 2.66 SCB4−6 57,000 51,000 51,000 eXYSG:マイクロメー夕最小読取 10μm/目盛 e表示数量超えはお見積り φ13 基準平行面 平行度:0.02 A B±S(移動量) マイクロメータ 送りねじ 25±3.2 11±3.2 24±6.5 20.3±6.5 19±6.5 15.3±6.5 14±6.5 10.3±6.5 14.5±6.5 10.8±6.5 43.5±12.5 10±6.5 ※1 28.5±12.5 −5±6.5 j25角は適用不可。 j追加工Aとの 併用不可。 0 5 0 0 5 5 X軸ローダー ・溶接位置を±0.1mmの精度で調節ネジにて調整している。 ・その調整は、 段換えの都度、 職人的感覚で行われており、 人によっては1時間近くかかっていた。 0 0 5 5 eXYSGのみ適用。 j25・80・100角適用不可。 j追加工Aとの併用不可。 ・調整をステージにて実施。調整量を定量的に把握し、 誰でも出来る作業に。 h段換えの手間削減(20分程度) h装置の省スペース化も実現。 Code ¥/1Code 1131 5 18.5 12 20 0 Spec. CR 無料 A 無料 ディスクを挟み込むことで、ステージ面に 負荷をかけないクランプ方式です。標準 クランプと比べ固定時の位置ずれを抑 えることが可能です。 サイド押しマイクロメータの反対方向 (対向) から、ボ ルト (M4×25、ピッチ0.5) で押さえます。振動に強く確 実で大きな固定力が得られます。 H 14,000 P 6,000 eXYSGのみ適用。 eマイクロメータヘッドとブラケットを外 して出荷します。 eバネが入っている為クランプをしめ込ま ないとステージ面が固定されません。 eハンドルカバー HDCVR13 (別売) :φ13のマイクロメータヘッド、送りねじのハンドルに取り付けるだけで、 ハンドル径を大きくすることができます。hP.1130 MN −8,000 1132
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