パルス幅可変 パルスファイバーレーザー ピコ秒モデル Pico Pal Pico Pal is your Friend ! Pico Pal は、広範囲でのパルス幅の調整が可能、高ピークパワー、 高ビーム品質などの多彩な特長により、高精度な微細加工応用に 最適なパルスファイバーレーザーです。 用 途 特 長 PicoPal は、レーザーマーキング、半 導 体・エ レ ク ト ロ ニ ク ス 製 造 関連 での微細加工に最適なピコ秒パルス レーザーです。 非常に短いパルス幅 での加工により、品質に大 き な 問 題 をもたらす熱影響を大幅に低減でき るため、高精度で高品質な加工に向き ます。 ࠉa マイクロファブリケーション ࠉa 表面処理プロセス ࠉa ITO フィルムのスクライビング ࠉa 薄膜ドライエッチング p 加工部周辺への熱影響・熱損傷 の少ない高精度な加工に最適です ! PicoPal は、パルス幅を調整可能とし、 ピークパワーを意識し、薄膜除去に適 した空冷、コンパクトなオールファイ バーレーザーです。 ࠉa パルス幅可変（100ps‐700ps） ࠉa 高ピークパワー（最大 60kW） ࠉa 波長 1050nm（Typical） ࠉa 高品質なビーム ࠉa 高精度な加工パラメータ ࠉa メンテナンスフリー p 加工対象の構造や材料に応じた パルス幅の最適化ができます ! 株式会社メガオプト MEGAOPTO Co., Ltd. Pico Pal is your Friend ! パルスファイバーレーザー ピコ秒モデル Pico Pal Specification Data 平均出力 8W 波 長 Typ. 1050 nm 繰り返し周波数 100 kHz - 1000 kHz パルス幅 100 ps - 700 ps ビーム品質 TEM00 M2<1.3 ( Typ. <1.1 ) 偏 光 Random サイズ ヘッド D 312 x W 48 x H 54 mm 電 源 D 400 x W 482 x H 200 mm 例 #1 - ITO フィルムスクライビング 溝底面のフラット化 >> 最小限 HAZ デブリ飛散なし HAZ : 熱影響層（Heat Affected Zone） 例 #2 - ITO フィルムスクライビング 平均出力 繰り返し周波数 スキャンスピード パルス幅 8W 150 kHz 3000mm/s 300 ps 外観図 ＊ 外観・仕様は予告なく変更することがございます。 p さらにこんな利点も！ >> 使い勝手の良さ , メンテナンスフリー , そしてランニングコストが安い ! お気軽にお問合せください。>>> [email protected] 株式会社メガオプト www.m eg a op t o.co .jp Megaopto Co., Ltd. 2013 All rights reserved. 〒351-0104 埼玉県和光市南 2-3-13 和光理研インキュベーションプラザ 301 Tel: 048 469 3377 Fax: 048 469 3332 [email protected]
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