Encompass® HV Fluid Dispense System - Entegris

エンコンパス
高粘度薬液ディスペンスシステム
高粘度・高純度薬液用フィルター内蔵型高精度ディスペンスシステム
高粘度薬液用ディスペンスシステム
独自の 2-ステージ方式デジタルポンプ制御により、
ポリイミド等の高粘度薬液の塗布に要求される、
ディスペンス特性、サックバック制御、コンタミネーション
コントロール等の諸特性を実現します。
デジタルポンプ制御
2-ステージポンプデザイン
エンコンパス高粘度薬液ディスペンスシステムは、ろ過
とディスペンスを独立して動作させる、独自の 2-ステージ
方式を採用し、長期間安定したディスペンス特性、良好
なサックバック制御、理想的なコンタミネーション
コントロール等の諸特性を実現し、高粘度ディスペンス
におけるコスト・オブ・オーナーシップに貢献します。
この 2-ステージポンプ方式により、ディスペンスやろ過
等の各ポンプ動作におけるフローレートの最適化が可能
で、プロセスに要求されるディスペンス・レートを
損なうことなく、高粘度薬液のろ過に要求される低圧・
低流速のろ過が実現できます。
低圧・低流速のろ過は、ゲル、パーティクル、マイクロ
バブルなどのコンタミネーションをユースポイントで
効果的に除去し、高分子量薬液の劣化につながる分子
せん断を回避するためにも有効です。
EC0201
エンコンパス高粘度薬液ディスペンスシステム
コントローラには、複数の異なったレシピを用いたポンプ
制御機能があります。システム制御の各パラメータは、
ハンディーターミナルよりダウンロードされます。
リサーキュレーション三方バルブを通した循環運転は、
システムの保守・立ち上げ作業における薬液廃棄量を
低減します。また粘度変化も防止します。
Encompass® HV Fluid Dispense System
仕様
接液部材質
ポンプ本体
ステンレスポンプ： SUS316、PFA、PTFE、カルレッツ O-リング
テフロンポンプ： PFA、PTFE、カルレッツ O-リング
リサーキュレーション三方バルブ
テフロンフレア継手タイプ： PFA、PTFE
ステンレス Swagelok 継手タイプ： PFA、PTFE、SUS316
フィルター
オプチマイザー HV-40 カートリッジフィルター： UHMWPE、HDPE、カルレッツ O-リング
ウェハーガード F-40 カートリッジフィルター： PTFE、ECTFE、カルレッツ O-リング
電源： 85 ∼ 250［VAC］、50/60［Hz］
消費電力： 210［W］
供給ガス：ろ過処理済み N2 0.49 ∼ 0.56［MPa］
認証： CE Emission-EN55022、Immunity-EN50082-1、Safety-EN6101、
SEMI S2-0200 適合
動作条件
使用薬液粘度： 250 ∼ 30,000［mPa・s］
繰り返しディスペンス精度： 3 σ≦ 0.075［mL］（at1,000［mPa・s］）
ディスペンス・ボリューム： 0.01 ∼ 16.00［mL］分解能 0.001［mL］
ディスペンス・レート： 0.01 ∼ 5.50［mL/sec］、分解能 0.001［mL/sec］
フィルトレーション・レート： 0.01 ∼ 5.50［mL/sec］、分解能 0.001［mL/sec］
リチャージ・レート： 0.01 ∼ 5.50［mL/sec］、分解能 0.001［mL/sec］
ポンプ制御
注）上記レートに関するパラメータは、薬液粘度、配管条件、フィルタ種類などにより制限されます。
システム構成
レギュレータ＊
0.49∼0.56 MPa
N2
85∼250 VAC
電源
エンコンパストリガーケーブル
コータ側 I／O インターフェイスと接続
エンコンパスポンプケーブル
N2ライン
N2ライン
N2 パージライン
N2
レギュレータ＊
N2 SUPPLY
TRACK
PUMP
VENT
RECIRC
ハンドヘルドターミナル
エンコンパス
コントローラ
リサーキュレーションライン
（薬液ボトルまたはドレインへ接続）
N/O
N/C
A
エンコンパス
COM
ドレイン
リサーキュレーション
三方バルブ
Vent
オートエアベントバルブ
Inlet
フィルタ
ブ
ル
バ
ク
ェッ
チ
モジュラーチェックバルブ
A
Outlet
M
M
マスターポンプ
薬液ボトル
ウェーハ
スレーブポンプ
エンコンパスポンプ
＊お客様でご準備下さい。
寸法図（単位： mm）
テフロンポンプ
ステンレスポンプ
（7.9）
（7.9）
（376.1）
（377.8）
（407.4）
（138.9）
（348.4）
（138.9）
（348.4）
（重さ約17.1 Kg）
（重さ約18.6 Kg）
エンコンパスコントローラ
（112.0）
（215.7）
（285.5）
（291.1）
（重さ約4.0 Kg）
Encompass® HV Fluid Dispense System
製品型番のご案内
製品名
カタログ番号
コンポーネント
エンコンパス HV ディスペンスシステム
ポンプ本体
ステンレスポンプ
テフロンポンプ
コントローラ
エンコンパスコントローラ
エンコンパス HV リサーキュレーション三方バルブ
3／8 " テフロンフレア継手
3／8 " ステンレススチール Swagelok 継手
エンコンパストリガーケーブル
ハンドヘルドターミナル
フィルター（梱包数 1 本）
オプチマイザー HV-40 0.5 µm カートリッジフィルター
1.0 µm カートリッジフィルター
ウェハーガード F-40
0.2 µm カートリッジフィルター
1.0 µm カートリッジフィルター
フィルター・フィラー
バキューム・プライム・ボトル
ENC0 MPH 01
ENC0 MPH 02
ENC0 M2C N2
ENC0 MPV 01
ENC0 MPV 02
ENC0 MTC 00
WGEN 02K P1
CWAH 40K M1
CWAA 40K M1
WGFG 40K P1
SH5M 026 R4
W250 1SP 10
P75390
スペアパーツ
電源コード 10 ft コントローラ用
オートベントバルブ
ステンレスポンプ用
テフロンポンプ用
モジュラーチェックバルブ
カルレッツ O- リングフィルターハウジング用（梱包数 1 本）
ENC0 MSP 01
ENC0 MSP 02
ENC0 MSP 04
ENC0 MSP 05
ENC0 MSP 06
● ご不明な点は弊社までお問い合わせ下さい。 ● 製品の仕様は改良の為、予告なく変更する場合があります。
登録商標 Swagelok® ： Swagelok Company
Teflon®、Viton®、Kalrez® ： E.I. du Pont de Nemours and Company
Encompass®、Opitimizer®、Wafergard®、Entegris®、Mykrolis® ： Entegris Inc.
日本インテグリス株式会社（2006 年 1 月 1 日、日本マイクロリス株式会社とインテグリスジャパン株式会社が合併）
東京／ TEL. (03) 5442-9718 FAX. (03) 5442-9738 〒 108-0073 東京都港区三田 1-4-28 三田国際ビル
大阪／ TEL. (06) 6390-0594 FAX. (06) 6390-3110 〒 532-0011 大阪市淀川区西中島 6-1-1 新大阪プライムタワー
九州／ TEL. (092) 471-8133 FAX. (092) 471-8134 〒 812-0013 福岡市博多区博多駅東 1-13-9 住友生命博多駅東ビル
米沢工場（ISO9001/ISO14001 登録認定工場）／第一工場：〒 992-1128 山形県米沢市八幡原 2-4736-3 第二工場：〒 992-1128 山形県米沢市八幡原 3-3145-5
URL/http://www.entegris.com/nihon
お問い合せ用 E メールアドレス:
[email protected]
● このカタログはエコマーク認定の再生紙を使用しています
The materials integrity management company
＜ EC0201 ＞③ 8/1/2007 1K I.133.3
＜ MC0201 ＞初版 42/22/2002 1.5K I. 55

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