近畿大学次世代基盤技術研究所報告 Vol.2(2011)95−100 ㉸◳ྜ㔠ࡢ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧ Direct Selective Laser Melting of WC Cemented Carbide ◊✲௦⾲⪅ ᕤᏛ㒊▱⬟ᶵᲔᕤᏛ⛉ ᩍᤵ ிᴟ ⚽ᶞ Hideki Kyogoku ඹྠ◊✲⪅ ᕤᏛ㒊ᶵᲔᕤᏛ⛉ ᩍᤵ ⏕⏣ ᫂ᙪ Akihiko Ikuta ᕤᏛ㒊ᶵᲔᕤᏛ⛉ ㅮᖌ ୖ᳃ Ṋ Takeshi Uemori ᕤᏛ㒊ᶵᲔᕤᏛ⛉ Ꮫ⏕ ⓑᆅ ㈗அ Takayuki Shirachi (⊂)⌮Ꮫ◊✲ᡤ ඹྠ◊✲ဨ ྜྷᕝ ◊୍ Kenichi Yoshikawa (⊂)⌮Ꮫ◊✲ᡤ ௵◊✲ဨ ᳃ ᩚ Hitoshi Omori In this study, the fabrication conditions of WC cemented carbides by direct selective laser melting were investigated. The effects of additives, such as Co, Cu-20%Sn and Cu powders, and laser melting conditions on laser scanning process were examined to fabricate a sound laser-scanned body of WC cemented carbides. The optimum laser power, scan speed and scan pitch were found out by experiments. It was found that the continuously smooth single-scan track can be obtained at a lower laser power and a higher scan speed by the addition of 30% Cu powder. The smooth surface of the laser-scanned body could be fabricated at a laser power of 9 W, a scan speed of 20 mm/s and a scan pitch of 0.05 mm. せ᪨ ᮏ◊✲࡛ࡣ㸪࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧᢏ⾡ࢆ⏝࠸࡚㸪ࡇࢀ ࡲ࡛ࢇ◊✲ሗ࿌ࡢ࡞࠸ WC-Co ⣔㉸◳ྜ㔠 ࢆᑐ㇟ࡋ࡚㸪ࡑࡢ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧྥࡅࡢᮦᩱタィ ࠾ࡼࡧ✚ᒙ㐀ᙧᢏ⾡ࢆ☜❧ࡍࡿࡇࢆ┠ⓗࡋࡓ㸬 ᮦᩱタィࡢୖ࡛㔜せ࡞ῧຍ⢊ᮎࡢᙳ㡪ࡘ࠸᳨࡚ ウࡍࡿࡶ㸪ࡑࡢ✚ᒙ㐀ᙧ᮲௳ࢆヲ⣽᳨ウࡋ ࡓ⤖ᯝ㸪Cu ⢊ᮎ 30%ῧຍ࠾࠸࡚㸪ప࣮ࣞࢨฟຊ࣭ 㧗㉮ᰝ㏿ᗘ࡛㸪㧗ᐦᗘࡢ✚ᒙ㐀ᙧయࢆᚓࡽࢀࡿࡇ ࢆぢฟࡋࡓ㸬ࡇࢀࡼࡾ WC-Co ⣔㉸◳ྜ㔠ࢆᑐ㇟ ࡋࡓᇶ♏ⓗ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧᢏ⾡ࢆ☜❧ࡍࡿࡇ ࡀ࡛ࡁࡓ㸬 㸬ࡣࡌࡵ 㹁㸿㹂ࢹ࣮ࢱࡽ┤᥋〇ရࢆ㎿㏿〇㐀࡛ࡁࡿࣛ ࣆࢵࢻࣉࣟࢺࢱࣆࣥࢢ㸦RP㸸Rapid Prototyping㸧ᢏ ⾡ 㸦2009 ᖺ ASTM ࡛㸪 AM㸦Additive Manufacturing㸧 ࡪࡇࡀỴᐃࡉࢀ㸪Ḣ⡿࡛ࡣ AM ࡤࢀ࡚ࡁ ࡚࠸ࡿ㸬㸧ࡢ୍ࡘ࡛࠶ࡿ࡛࠶ࡿࠕ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧࠖᢏ ⾡ࡀ㸪⮬ື㌴ࡸ㟁Ẽ〇ရࡢヨసẁ㝵࠾࠸࡚⏝ࡉ ࢀ࡚࠸ࡿ(1)㸬᭱㏆࡛ࡣ㸪㔠ᆺࡢ㐺⏝ࡶᅗࡽࢀ࡚ࡁ ࡚࠸ࡿ㸬ᚑ᮶㸪ᮏᢏ⾡ࡢ㐺⏝ࡣ㸪ࢫࢸࣥࣞࢫ㗰ࡸ㖡 ⣔ྜ㔠㝈ࡽࢀ࡚࠸ࡓࡀ㸪࠼ࡤ EOS ♫࡛ࡣᕤල 㗰⢊ᮎࡸ M2 ⢊ᮎ࡞ࡢ㛤Ⓨࡶ⾜ࢃࢀ㸪㔠ᆺࡢ㐺 ⏝ࡀ⾜ࢃࢀ࡚ࡁ࡚࠸ࡿ(2)㸬 ㉸◳ྜ㔠ࡢ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧࡘ࠸࡚ࡣ㸪Leuven Ꮫࡢࢢ࣮ࣝࣉࡀඛ㥑ⓗ◊✲ࢆ⾜࠸㸪Wang ࡽ(3) ࡣ㸪┤᥋㑅ᢥⓗ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧࡼࡿ WC-Co ㉸◳ ྜ㔠ࡢᐇ㦂ࢩ࣑࣮ࣗࣞࢩࣙࣥ㛵ࡍࡿሗ࿌ࢆ⾜ࡗ ࡚࠸ࡿ㸬ࡇࡢሗ࿌ࡼࢀࡤ㸪࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧࡔࡅ࡛ ࡣ㧗ᐦᗘࡢ↝⤖యࡣᚓࡽࢀࡎ㸪⁐ᾐࢆࡍᚲせࡀ࠶ ࡿ㸬Cu ࢆ⁐ᾐࡍࡿࡇࡼࡾ┿ᐦᗘ࡞ࡾ㸪㝆అ ᙉࡉ 424 MPa㸪◳ࡉ 85 HRB ࡢ〇ရࡀᚓࡽࢀࡓ ሗ࿌ࡋ࡚࠸ࡿ㸬Kumar(4)ࡣ WC-Co ⢊ᮎࢆ⏝࠸ࡓ㑅 ᢥⓗ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧࡼࡿ◊✲ࢆ⾜ࡗ࡚࠸ࡿ㸬✚ᒙ 㐀 ᙧ ࡢ ࡲ ࡲ ࡛ ࡣ ┦ ᑐ ᐦ ᗘ ⣙ 60 㸣 ࡛ 㸪 ⁐ ᾐ ᚋ WC-9㸣Co ࡛┦ᑐᐦᗘ 96㸣ࡢ✚ᒙ㐀ᙧయࢆస〇ࡋ ࡚࠸ࡿ㸬ࡇࡢ㐀ᙧయࡢ◳ࡉࡣ 242 HB㸪᭤ࡆᙉࡉ 714 MPa ࡛ᕤල㗰༉ᩛࡍࡿ≉ᛶࡀᚓࡽࢀࡓሗ࿌ࡋ ࡚࠸ࡿ㸬Gu ࡽ(5)-(8)ࡣ㸪WC-Co ⢊ᮎ Cu ࢆΰྜࡋ ࡚┤᥋㑅ᢥⓗ࣮ࣞࢨ✚ᒙ㐀ᙧ࠾ࡅࡿ↝⤖ᶵᵓࢆ᳨ ウࡍࡿࡶ㸪WC-Co/Cu 」ྜయࢆస〇ࡋ࡚࠸ࡿ㸬 ࡇࢀࡽࡢ◊✲࠾࠸࡚ࡣ㸪Cu ῧຍ㔞ࡀ 30㸣௨ୖ ከ࠸ࡓࡵ㸪༑ศ࡞◳ࡉࡣᚓࡽࢀ࡚࠸࡞࠸ࡀ㸪Cu30㸣 - 95 - ᷝടߩ႐วߦߪ㧘⎬ߐ⚂ +9 ߩ⚿ᨐࠍႎ๔ߒߡ ࠆ㧚*X ߣ 0HLQHUVߪ㧘:㧘1L ߅ࠃ߮ࠣࡈࠔ ࠗ࠻☳ᧃࠍ↪ߡ⋥ធㆬᛯ⊛ࠩⓍጀㅧᒻߦࠃࠅ㧘 ⋧ኻኒᐲ⚂ 㧑㧘⎬ߐ +9 ߩⓍጀㅧᒻࠍ ߒߡࠆ㧚ߎߩࠃ߁ߦ㧘⎬ว㊄ߩࠩⓍጀㅧ ᒻߦ㑐ߔࠆ⎇ⓥ߇ⴕࠊࠇߡࠆ߇㧘ᦨ⚳ຠߣߒߡ ㊄ဳߥߤߦ↪ߢ߈ࠆ⁁ᴫߦߪ⥋ߞߡߥߩ߇ ⁁ߢࠆ㧚 ᧄ⎇ⓥߢߪ㧘㊄ဳ߳ߩᔕ↪ࠍ⠨ᘦߒߚ :& ♽⎬ ว㊄ߩࠩⓍጀㅧᒻᛛⴚߩ㐿⊒ࠍ⋡⊛ߣߒߡ⎇ⓥ ࠍⴕߞߚ㧚߹ߕ㧘৻⥸⊛ߦ↪ߐࠇߡࠆ :&&R ☳ᧃߩⓍጀㅧᒻ᧦ઙࠍᬌ⸛ߒ㧘ߐࠄߦᷝ ടߣߒߡ &R ☳ᧃ㧘&X6Q ☳ᧃ߅ࠃ߮ &X ☳ ᧃߩᓇ㗀ߦߟߡ߽ᬌ⸛ߒߚ㧚ߎߩ㓙㧘ࠩⓍጀ ㅧᒻߦ߅ߡ㊀ⷐߥࠩജ㧘ᩏㅦᐲ㧘ᩏࡇ ࠶࠴߅ࠃ߮ᩏࡄ࠲ࡦߩⓍጀㅧᒻ᧦ઙࠍ⚦ߦᬌ ⸛ߒߚ㧚 㧞㧚ታ㛎ᣇᴺ ᧄ ⎇ ⓥ ߢ ߪ 㧘 ☳ ᧃ ߦ ߪ ᐔ ဋ ☸ ᓘ P ߩ :&&R ᷙว☳ᧃ㧘ᐔဋ☸ᓘ P ߩ &X6Q 㕍㌃☳ᧃ߅ࠃ߮ᐔဋ☸ᓘ P ߩ &X ☳ᧃࠍ↪ߚ㧚 ࿑ ߦ☳ᧃߩ 6(0 ౮⌀ࠍ␜ߔ㧚 D:&&R ☳ᧃ E&X6Q ☳ᧃ F&X ☳ᧃ ࿑ ☳ᧃߩ 6(0 ౮⌀ ☳ᧃᷙวߪ 9 ဳᷙวᯏߢⴕ㧘ᷙว☳ᧃࠍ࿑ ߦ␜ߔࠩⓍጀㅧᒻⵝ⟎ߦࠃࠅ㧘⹜㛎 ↪࠻ ߦలႯߒߡ㧘ࠩᾖࠍⴕߞߡ⹜㛎 ࠍ ߒߚ㧚ߥ߅㧘ᧄⵝ⟎ߩࠩߦߪ㧘ᦨᄢജ : ߩࡈࠔࠗࡃࠩ߇タߐࠇߡ߅ࠅ㧘ࠩࠬࡐ ࠶࠻ᓘߪ P ߢࠆ㧚߹ߚ㧘ࠩᩏߪࠟ࡞ ࡃࡁࡔ࠲ࡒᣇᑼߦଐߞߡࠆ㧚 ࿑ ࠩⓍጀㅧᒻⵝ⟎ߩᄖⷰ ⵝ⟎ౝߪ㉄ൻ㒐ᱛߩߚ $U 㔓࿐᳇㧔㉄⚛㊂㧦㧝㧑 ⒟ᐲ㧕ߣߒ㧘ࠩജ㧘ᩏㅦᐲ߅ࠃ߮ᩏࡇ࠶ ࠴ࠍᄌൻߐߖߡ㧘ታ㛎ࠍⴕߞߚ㧚ࠩജ߅ࠃ߮ ᩏㅦᐲߩ▸࿐ߪ㧘ࠩജ㧦㨪:㧘ᩏㅦ ᐲ㧦㨪 PPV ߣߒߚ㧚ᩏࡇ࠶࠴ߦߟߡߪ㧘 㨪PP ߩ㑆ߢᬌ⸛ߒߚ㧚Ⓧጀࡇ࠶࠴ߦߟߡ ߪ㧘㨪PP ߩ㑆ߢ㧘ᦨㆡߥⓍጀㅧᒻ᧦ઙࠍᬌ ⸛ߒߚ㧚ߥ߅㧘Ⓧጀㅧᒻߩㅧᒻ⁁ᴫߦߟߡߪ 6(0 ࠍ↪ߡⷰኤߒߚ㧚 㧟㧚ታ㛎⚿ᨐ߅ࠃ߮⠨ኤ ࠩⓍጀㅧᒻࠍน⢻ߣߔࠆߚߦߪ㧘ࠩ ജߣᩏㅦᐲߩ㑐ଥࠍࠄ߆ߦߒ㧘ߘࠇࠍ␜ߔࡑ࠶ ࡊࠍᚑߔࠆᔅⷐ߇ࠆ㧚ߎߩ࿑߆ࠄṖࠄ߆ߥ✢⁁ ߩṁⲢࡆ࠼ࠍߔࠆ᧦ઙࠍߔߎߣߦࠃ ࠅㅧᒻ߇น⢻ߣߥࠆ㧚 ᧄ⎇ⓥߢߪ㧘߹ߕၮ␆ߣߥࠆ :&&R ☳ᧃߩ ߺߢߩࠩⓍጀㅧᒻࠍ⹜ߺߚ㧚ߘߩ⚿ᨐࠍએਅߦ ㅀߴࠆ㧚 9%%Q ߩࠩⓍጀㅧᒻ ৻⥸⊛ߦ↪ࠄࠇߡࠆ⎬ว㊄ :&&R ☳ ᧃࠍኻ⽎ߣߒߡ㧘ࠩജ߅ࠃ߮ᩏㅦᐲࠍ㧘ߘ ࠇߙࠇ 㨪: ߅ࠃ߮ 㨪PPV ߩ㑆ߢᄌൻߐ ߖߡⓍጀㅧᒻ᧦ઙߩᬌ⸛ࠍⴕߞߚ㧚 :&&R ☳ᧃߩߺߩ࠻࠶ࠢߩࠍ࿑ ߦ␜ ߔ㧚ߎࠇ߆ࠄࠊ߆ࠆࠃ߁ߦ㧘:&&R ☳ᧃߩߺߢ ߪ㧘ߕࠇߩ᧦ઙߢ߽ㅪ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥ࠻࠶ࠢࠍ ᓧࠆߎߣ߇ߢ߈ߥߎߣ߇ࠊ߆ߞߚ㧚 ߎߩߚ㧘&R ☳ᧃࠍ 㧑߹ߢᷝടࠍⴕߞߚ߇㧘 㧑ߩ႐วߣห᭽ߦㅪ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥ࠻࠶ࠢࠍ ᓧࠆߎߣ߇ߢ߈ߥ߆ߞߚ㧚 - 96 - ␜ߒߚߩ߇࿑ ߢࠆ㧚࿑ਛߦ␜ߒߚᢙ୯ߪ㧘ᰴᑼ ߢ᳞ߚࠛࡀ࡞ࠡኒᐲ ( ߩ୯ߢࠆ㧚 = [J/mm2] D:PPV E:PPV F:PPV G:PPV ࿑ &X6Q ☳ᧃࠍ 㧑ᷝടߒߚ႐วߩ ࠻࠶ࠢߩ⁁ᴫ ߹ߚ㧘ߎߩ࿑ߦ␜ߔࠃ߁ߦṁⲢߩᒻᘒߪ㧘ߟ߉ ߩ ߟߦಽ㘃ߐࠇࠆ㧚 D ㅪ⛯ߒߚ✢⁁ߩᒻᘒ㧔࿑ D㧕 E ✢⁁ߣࡏ࡞⁁߇ㅪ⛯ߒߡࠆᒻᘒ 㧔࿑ F߅ࠃ߮G㧕 F ṁⲢߒߚࡏ࡞⁁ߩᒻᘒ㧔࿑ E㧕 ߎࠇࠄߩᒻᘒࠍࠩജߣᩏㅦᐲߩ㑐ଥߣߒߡ ߎߎߢ㧘3 ߪࠩജ㧘Y ߪᩏㅦᐲ㧘G ߪ ࠩࠬࡐ࠶࠻ᓘ P ߢࠆ㧚 &X6QSRZGHU FRQWLQXRXVWUDFN PHOWHGDQGEDOOHGWUDFN EDOOHGWUDFN /DVHUSRZHU>:@ D:PPV E:PPV ࿑ :&&R ☳ᧃߩߺߩ࠻࠶ࠢߩ⁁ᴫ %W5P ☳ᧃࠍᷝടߒߚ႐วߩࠩⓍጀㅧᒻ ࠩജߣᩏㅦᐲߩ㑐ଥ ߟ߉ߦ㧘ࠩⓍጀㅧᒻߦᷝടߣߒߡࠃߊ↪ ߐࠇߡࠆ &X㧑6Q ☳ᧃࠍ 㧑ᷝടߒߚ႐วߩ ⚿ᨐߦߟߡ㧘એਅߦㅀߴࠆ㧚 ࠩജ߅ࠃ߮ᩏㅦᐲࠍ㧘ߘࠇߙࠇ 㨪: ߅ࠃ߮ 㨪PPV ߩ㑆ߢᄌൻߐߖߡⓍጀㅧᒻ᧦ઙ ߩᬌ⸛ࠍⴕߞߚࠍ࿑ ߦ␜ߔ㧚ߎࠇ߆ࠄࠊ߆ࠆࠃ ߁ߦ㧘ࠩജ : ߅ࠃ߮ᩏㅦᐲ PPV ߩ႐ วߦߪ㧘ㅪ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥ࠻࠶ࠢ߇ᒻᚑߐࠇߡ ࠆ ߩ߇ࠊ߆ ࠆ㧚ߒ ߆ߒ㧘 ߘࠇએᄖ ߩ᧦ઙ ߢߪ㧘 :&&R ☳ᧃߩ႐วߣห᭽ߦ㧘ࠛࡀ࡞ࠡߩๆ ㊂߇ᄢ߈ߊ㧘ṁⲢ߽ᄢ߈ߊࡏ࡞⁁ߣߥߞߡࠆ㧚 vd 6FDQVSHHG>PPV@ ࿑ &X6Q ☳ᧃࠍ 㧑ᷝടߒߚ႐วߩ ࠩജߣᩏㅦᐲߩ㑐ଥ㧔ࡊࡠࠬࡑ࠶ࡊ㧕 ࠛࡀ࡞ࠡኒᐲߢᬌ⸛ߒߡߺࠆߣ㧘ࠛࡀ࡞ࠡኒ ᐲ߇ -PP ࠃࠅዊߐߥ୯ߢߪ㧘࠻࠶ࠢ߇ㅪ ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥᒻ⁁ߢߪߥߊ㧘ࡏ࡞⁁ߦ❬߇ߞߚ ⁁ᘒߦߥߞߡࠆ㧚ߎࠇߦኻߒߡ㧘ࠛࡀ࡞ࠡኒᐲ ߇ -PP ࠃࠅᄢ߈ߥ୯ߢߪ㧘ṁⲢߒߔ߉ߡṁ Ⲣㇱ߇ࡏ࡞⁁ߦ❬߇ߞߚ⁁ᘒߦߥߞߡࠆ㧚ߎߩ ࠃ߁ߦ㧘ㅪ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥ࠻࠶ࠢ߇ᓧࠄࠇࠆ᧦ઙ ߪ㧘ࠩജ : ߅ࠃ߮ᩏㅦᐲ PPV ߢࠛࡀ ࡞ࠡኒᐲ -PP ߩ ᧦ઙߢߞߚ㧚 㕙ߩ᧦ઙߩᬌ⸛ ㅀߒߚ᧦ઙਅߢ㧘㕙ߩࠍ⹜ߺߚ㧚ߘߩ⚿ᨐ ࠍ࿑ ߦ␜ߔ㧚Dߪᩏࡇ࠶࠴ PP ߢ㧘߶߷ ࠻࠶ࠢߩ ߇㊀ߥࠆ⁁ᘒ㧘Eߪᩏࡇ࠶࠴ PP ߢ㧘߶߷ ࠻࠶ࠢߩ ߇㊀ߥࠆ⁁ᘒߢࠆ㧚 ߕࠇߩ႐วߦ߽㧘ഀࠇ߇⊒↢ߒߡ߅ࠅ㧘Ṗࠄ߆ߥ 㕙ߪᓧࠄࠇߡߥߎߣ߇ࠊ߆ࠆ㧚߹ߚ㧘ᓧࠄࠇߚ 㕙ߪ㧘⣀⁁ᘒߢߞߚ㧚 ߎߩࠃ߁ߦ㧘&X6Q ☳ᧃࠍ 㧑ᷝടߒߡ߽㧘 ㅪ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥ࠻࠶ࠢߪߢ߈ࠆ߽ߩߩ㧘㕙 - 97 - の作製においては十分な結果が得られなかった. ことがわかる.これは,面作製において重要な知見 である. ■ continuous track (a) 走査ピッチ 0.1 mm (a) 10 W, 30 mm/s (b) 10 W, 10 mm/s ▲ partially melted track (b) 走査ピッチ 0.06 mm 図 6 面の作製状況(レーザ出力:5 W,走査速度: 5 mm/s) 300 μm 図 7 Cu 粉末を 30%添加した場合のトラックの 状況 WC-10%Co+30%Cu 50 continuous track melted and balled track partially melted track almost unmelted track 40 Laser power [W] 3.3.Cu 粉末を添加した場合のレーザ積層造形 (1) レーザ出力と走査速度の関係 Cu-20%Sn 粉末添加によっても,滑らかな積層造 形面を作製できなかったため,Cu 添加を行った. 以下に,Cu 粉末を 30%添加した場合の結果につい て述べる. Cu 粉末添加の場合においても,図 7 に示すよう に,Cu-20%Sn 粉末の場合と同様に,3 つの溶融体 の形態が見られた.これらの形態をレーザ出力と走 査速度の関係として示したのが図 8 である.図中に 示した数値は,上式で求めたエネルギー密度 E の値 である. 図 8 に示すように,Cu-20%Sn 粉末添加の場合と は異なり,レーザ出力および走査速度の広い範囲で 連続した滑らかなトラックを得ることができた.こ れから,レーザ出力が小さく,走査速度が速いほど, すなわちエネルギー密度が小さいほど連続した滑ら かなトラックが作製できることがわかった.この傾 向は,Cu-20%Sn 粉末添加の場合と異なり,エネル ギー密度が,約 4 J/mm2 以下の場合に作製できるこ とがわかった. 図 9 に,エネルギー密度とトラック幅の関係を示 す.この図からわかるように,エネルギー密度とト ラック幅は直線関係となっており,エネルギー密度 を変化させることにより,トラック幅を制御できる (c) 30 W, 10 mm/s 47.1 23.5 11.8 7.8 35.3 17.6 8.8 5.9 23.5 11.8 5.9 3.9 11.8 5.9 2.9 2.0 5 10 30 20 10 0 0 15 20 25 30 35 Scan speed [mm/s] 図8 Cu 粉末を 30%添加した場合のレーザ出力と 走査速度の関係(プロセスマップ) (2) 面の作製条件の検討 つぎに,プロセスマップより明らかになったレー ザ出力および走査速度の範囲で作製した面の状況を 図 10 にマクロ写真で示す.このように,マクロ的 には,滑らかな面を作製できることがわかる. - 98 - さらに,面作製のための走査ピッチについて検討 を行った結果を図 11 に示す.走査ピッチについて は,図 11(a)に示すように,オーバラップさせない 場合,1/3 あるいは 2/3 オーバラップさせた場合の 3 種類を検討した.レーザ照射は,図 11(b)に示すよ うなパターンとした.その結果,図 11(c)に示すよう に,2/3 オーバラップさせた場合に滑らかな面が得 られることがわかった. このように,面製作のためのレーザ出力,走査速 度および走査ピッチを明らかにすることができた. ࿑ 㕙⁁ᴫ (b) 10 W, 20 mm/s (2.9 J/mm2) (a) 10 W, 10 mm/s (5.9 J/mm2) D ᩏࡇ࠶࠴ E ࠩᾖࡄ࠲ࡦ (c) 10 W, 30 mm/s (2 J/mm2) 300 μm 㪣㪸㫊㪼㫉㩷㫇㫆㫎㪼㫉㪑㩷㪈㪇㩷㪮 㪪㪺㪸㫅㪄㫊㫇㪼㪼㪻㪑㩷㪈㪇䌾㪊㪇㩷㫄㫄㪆㫊 :LGWKRIWUDFNPP F Ⓧጀㅧᒻ㕙 ࿑ 㕙ߦ߅ߌࠆᩏࡇ࠶࠴ߩᓇ㗀 (QHUJ\GHQVLW\-PP 図 9 エネルギー密度とトラック幅の関係 ߐࠄߦ㧘ኒᐲࠍะߐߖࠆߚߦ㧘ࠩജ߅ ࠃ߮ᩏㅦᐲߩ㑐ଥ㧘ᩏࡇ࠶࠴ߩᓇ㗀ߦߟߡ ⚦ߦᬌ⸛ࠍⴕߞߚ㧚ߘߩ⚿ᨐ㧘࿑ ߦ␜ߔࠃ߁ߦ㧘 ࠩജ :㧘ᩏㅦᐲ PPV ߅ࠃ߮ᩏࡇ࠶ ࠴ PP ߢⓨ㓗ߩዋߥ㕙ࠍߢ߈ࠆߎߣ߇ ࠊ߆ߞߚ㧚 એߩࠃ߁ߦ㧘:&&R ♽⎬ว㊄☳ᧃߦ &X ࠍ 㧑ᷝടߒ㧘Ⓧጀㅧᒻ᧦ઙࠍ⚦ߦᬌ⸛ߔࠆߎߣߦ ࠃࠅ㧘ࠩⓍጀㅧᒻߣߒߡߪኒᐲߩ㜞Ⓧጀㅧ - 99 - ᒻࠍᓧࠆߎߣ߇ߢ߈ߚ㧚ߎࠇߦࠃࠅ :&&R ♽ ⎬ว㊄ࠍኻ⽎ߣߒߚၮ␆⊛ࠩⓍጀㅧᒻᛛⴚࠍ⏕ ┙ߔࠆߎߣ߇ߢ߈ߚ㧚 ࠩജ :㧘ᩏㅦᐲ PPV㧘 ᩏࡇ࠶࠴ PP ࿑ 㕙ߩ 6(0 ౮⌀ 㧠㧚߹ߣ ᧄ⎇ⓥߢߪ㧘:&&R ♽⎬ว㊄ࠍኻ⽎ߣߒߚ ࠩⓍጀㅧᒻ᧦ઙߦߟߡ㧘ᷝടߩᓇ㗀߅ࠃ߮ߘ ߩⓍጀㅧᒻ᧦ઙࠍ♽⛔⊛ߦᬌ⸛ߒߚ㧚ᓧࠄࠇߚ⚿ᨐ ߪ㧘ᰴߩߣ߅ࠅߢࠆ㧚 :&&R ߩߺߢߪ㧘ㅪ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥ࠻ ࠶ࠢࠍᓧࠆߎߣ߇ߢ߈ߥ߆ߞߚ㧚߹ߚ㧘&R ☳ᧃࠍ 㧑ᷝടߒߡ߽㧘ห᭽ߩ⚿ᨐߣߥߞߚ㧚 &X6Q ☳ᧃࠍᷝടߒߚ႐วߦߪ㧘ㅪ⛯ߒߚ Ṗࠄ߆ߥ࠻࠶ࠢ߇ᓧࠄࠇࠆ᧦ઙࠍ ᧦ઙ߶ߤ ߒߚ߇㧘㕙ࠍߒߚ㓙ߦߪ㧘Ṗࠄ߆ߥ㕙ࠍߔ ࠆߎߣߪߢ߈ߥ߆ߞߚ㧚 &X ☳ᧃࠍ 㧑ᷝടߔࠆߣ㧘&X6Q ☳ᧃࠍ ᷝടߒߚ႐วࠃࠅㅪ⛯ߒߚṖࠄ߆ߥ࠻࠶ࠢࠍ ߢ߈ࠆ᧦ઙ߇߆ߥࠅᐢ߇ߞߚ㧚߹ߚ㧘㕙ߩ᧦ઙ ࠍᬌ⸛ߒߚ⚿ᨐ㧘ࠩജ :㧘ᩏㅦᐲ PPV ߅ࠃ߮ᩏࡇ࠶࠴ PP ߢṖࠄ߆ߥ㕙ࠍߔ ࠆߎߣ߇ߢ߈ߚ㧚 ߎߩࠃ߁ߦ㧘ᷝടߩലᨐ߅ࠃ߮ኒᐲߩ㜞Ⓧጀ ㅧᒻࠍᓧࠄࠇࠆⓍጀㅧᒻ᧦ઙࠍߒߚߎߣߪ㧘 ᣂߚߥ⍮ߢࠆ㧚ᓟߪ㧘Ⓧጀ᧦ઙߦߟߡߐࠄ ߦᬌ⸛ࠍⴕ㧘㜞ኒᐲ㜞⎬ᐲ⎬ว㊄ࠍߒ㧘 ㊄ဳ߳ߩㆡ↪ࠍ⹜ߺࠆ੍ቯߢࠆ㧚 ⻢ㄉ ᧄ⎇ⓥߪ㧘⋉⽷࿅ᴺੱ߭ࠈߒ߹↥ᬺᝄ⥝ᯏ᭴ᐢ ፉ↥ᬺ⑼ቇ⎇ⓥᚲᐔᚑ ᐕᐲត⚝⎇ⓥߥࠄ߮ߦᢥ ㇱ⑼ቇ⋭⑳┙ᄢቇᚢ⇛⊛⎇ⓥၮ⋚ᒻᚑᡰេᬺߩ৻ ㇱߣߒߡታᣉߒߚౝኈߢࠆ㧚ߎߎߦ㧘㑐ଥฦߦ ᷓ⻢ߩᗧࠍߔࠆ㧚 ෳ⠨ᢥ₂ ੩ᭂ⑲᮸㧘´ࠕ࡞ࡒ࠾࠙ࡓว㊄ߦࠃࠆⓍጀㅧᒻ´ ဳᛛⴚ㧘 (26 ࡎࡓࡍࠫ㧔KWWSZZZHRVLQIR㧕 ;&:DQJ7/DRXL-%RQVH-3.UXWK% /DXZHUVDQG/)UR\HQ´'LUHFW6HOHFWLYH/DVHU 6LQWHULQJRI+DUG0HWDO3RZGHUV([SHULPHQWDO 6WXG\DQG6LPXODWLRQ´,QWHUQDWLRQDO-RXUQDORI $GYDQFHG0DQXIDFWXULQJ7HFKQRORJ\ ± 6.XPDU³0DQXIDFWXULQJRI:&±&RPRXOGVXVLQJ 6/6PDFKLQH´-RXUQDORIPDWHULDOVSURFHVVLQJ WHFKQRORJ\± '*XDQG<6KHQ³3URFHVVLQJDQGPLFURVWUXFWXUH RIVXEPLFURQ:&±&RSDUWLFXODWHUHLQIRUFHG&X PDWUL[FRPSRVLWHVSUHSDUHGE\GLUHFWODVHU VLQWHULQJ´0DWHULDOV6FLHQFHDQG(QJLQHHULQJ$ ±± '*X<6KHQ/=KDR-;LDR3:XDQG<=KX ³(IIHFWRIUDUHHDUWKR[LGHDGGLWLRQRQ PLFURVWUXFWXUHVRIXOWUDILQH:&±&RSDUWLFXODWH UHLQIRUFHG&XPDWUL[FRPSRVLWHVSUHSDUHGE\GLUHFW ODVHUVLQWHULQJ´0DWHULDOV6FLHQFHDQG(QJLQHHULQJ $±± '*XDQG<6KHQ³,QIOXHQFHRIUHLQIRUFHPHQW ZHLJKWIUDFWLRQRQPLFURVWUXFWXUHDQGSURSHUWLHVRI VXEPLFURQ:&±&RS&XEXON00&VSUHSDUHGE\ GLUHFWODVHUVLQWHULQJ´-RXUQDORI$OOR\VDQG &RPSRXQGV± '*XDQG<6KHQDQG-;LDR³,QIOXHQFHRI SURFHVVLQJSDUDPHWHUVRQSDUWLFXODWHGLVSHUVLRQLQ GLUHFWODVHUVLQWHUHG:&±&RS&X00&V´ ,QWHUQDWLRQDO-RXUQDORI5HIUDFWRU\0HWDOV+DUG 0DWHULDOV± '*XDQG:0HLQHUV³0LFURVWUXFWXUH FKDUDFWHULVWLFVDQGIRUPDWLRQPHFKDQLVPVRILQVLWX :&FHPHQWHGFDUELGHEDVHGKDUGPHWDOVSUHSDUHG E\6HOHFWLYH/DVHU0HOWLQJ´0DWHULDOV6FLHQFHDQG (QJLQHHULQJ$± - 100 -
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