Tecnologie MEMS MOTIVAZIONE MOTIVAZIONE Realizzazione di dispositivi MEMS e microfluidica per soluzioni customizzate IL ILMATERIALE MATERIALE Dispositivi MEMS a base di silicio e microfluidica polimerica Un ampio portafoglio di tecnologie per l’implementazione di processi alla microscala per la realizzazione di MEMS, microsistemi e microfluidica in silicio e materiali polimerici: - deposizione di film sottili (evaporazione e-gun, PECVD, mag. sputtering, Electroplating, RTA, PZT sol-gel, …); - litografia (litografia ottica con allineamento front & backside, SU-8, Direct Laser Writing); - wet & dry etching (RIE, DRIE, micro powder blasting); - microlavorazione di polimeri (Hot Embossing, Micro Injection Moulding, Casting in Situ); - Rapid Prototyping (3D Polymer Ink-Jet Printing, Microfresatura CNC); - funzionalizzazione di superfici Tecnologie MEMS LE LE NOSTRE NOSTRE ATTIVITA’ ATTIVITA’ EEPROSPETTIVE PROSPETTIVE Realizzazione di dispositivi MEMS e microfluidica per soluzioni customizzate Le nostre tecnologie consentono lo sviluppo di processi per la realizzazione di diverse microstrutture (microcantilevers, micro-membranes, micro-bridges, ...), strutture ad elevato aspect-ratio o in grado di integrare nano-materiali, dispositivi microfluidici e LabOn-Chip Tali microstrutture possono poi essere trasformate in microsensori altamente specializzati o in array degli stessi, integrando opportuni materiali attivi o mediante funzionalizzazione delle superfici per conferire specificità ad un determinato target. Sono stati sviluppati dispositivi microfluidici e Lab-On-chip con architetture proprietarie, così come dispositivi microfluidici che integrano sensoristica avanzata di terze parti.
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