従来技術（フォトリソ法）とインクジェット法の比較
従来技術
フォトマスク作成
絶縁膜形成
インクジェット法
基板
絶縁膜
表面処理
フォトレジスト形成
レジスト
インクジェット・ヘッド
紫外線
露光
絶縁層を
直接描画
チッソ
絶縁性インク
マスク
熱処理
現像
エッチング
レジスト剥離
パターニング絶縁層形成
脱フォトリソ化、脱真空化 → 設備投資が１／１０以下に！

パワーエレクトロニクスの 研究開発に関する各府省施策

ガラスエッチング用ドライフィルムレジスト HF含有エッチング液による

外形寸法図

中型ベルトコンベア炉 形式 ND－S2 標準タイプ仕様 ND－S2 1 電気炉

各サイズ、ラインに対応した製品ラインナップ フラットパネルディスプレイ

VEC発表(6/20)

PowerPoint プレゼンテーション

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93頁の図 後染めの染色方法 【誤】 【正】

Suisei V RLヘッド｜COMET DIGITAL CATALOG

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オゾン層の破壊