従来技術(フォトリソ法)とインクジェット法の比較 従来技術 フォトマスク作成 絶縁膜形成 インクジェット法 基板 絶縁膜 表面処理 フォトレジスト形成 レジスト インクジェット・ヘッド 紫外線 露光 絶縁層を 直接描画 チッソ 絶縁性インク マスク 熱処理 現像 エッチング レジスト剥離 パターニング絶縁層形成 脱フォトリソ化、脱真空化 → 設備投資が1/10以下に!
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