各サイズ、ラインに対応した製品ラインナップフラットパネルディスプレイ

フラットパネルディスプレイ（FPD）の製造プロセス
172nm
洗浄
露光
172nm
洗浄
172nm
172nm
エッチング
TFT(アレイ)⼯程
配向処理
172nm
貼り合わせ
レジスト剥離
偏光板貼り付け
配向膜塗布
ガラス基板
成膜
レジスト塗布
露光
現像
セル⼯程
172nm
カラーレジスト塗布
露光
露光
紫外線硬化樹脂
ITO膜付
露光
172nm
172nm
貼り合わせ
カラー
フィルター⼯程
R
ガラス基板
露光
露光
G
露光
B
配向処理
配向膜塗布
液晶滴下
モジュール⼯程
TFT（アレイ）基板
カラーフィルタ基板
残渣除去
ディスプレイ表⾯
各サイズ、ラインに対応した製品ラインナップ
1993年に世界で初めてエキシマランプの販売を開始して以来、液晶パネル各世代の製
造ラインで採⽤されています。
各サイズ、ラインに対応した製品をラインナップしていますので、お問い合わせ下さ
い。
mm
2800
G10
G8
G7
1800
G6
1100
300
G5,G5.5
G4,G4.5
G3
G2
G1
400
1200 1850
3000
mm
TABテープ
TAB露光

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