蒸留システム原理
(有機溶剤の沸点差による分離)
廃液成分：溶剤 90%, 水分７%, 固形物 3%
レジスト
剥離装置
剥離液供給
タンク
蒸気
廃液
冷却水
加
分
熱
離
塔
塔
蒸
留
塔
凝
縮
塔
新剥離液
固形物
再生済剥離液
排水
冷
却
水

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明賀溶接工作所

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