蒸留システム原理 (有機溶剤の沸点差による分離) 廃液成分：溶剤 90%, 水分７%, 固形物 3% レジスト 剥離装置 剥離液供給 タンク 蒸気 廃液 冷却水 加 分 熱 離 塔 塔 蒸 留 塔 凝 縮 塔 新剥離液 固形物 再生済剥離液 排水 冷 却 水
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