微細加工室使用許可申請書 No. 使用者氏名 学科 内線番号 研究室名 責任者印 研究室 メールアドレス 使用希望時間 1限 申請依頼日 使用希望日 年 月 日 2限 年 月 日 3限 4限 型名 使用機材 使用ガス 超純水装置 Milli-Q Advantage（ヤマト科学） ① スピンコータ MS-A100（ミカサ） ② 定温乾燥機１ DX302（ヤマト科学) ③ 定温乾燥機２ DX302（ヤマト科学) ④ 電子ビーム描画装置 SE4300SE+BeamDraw（日立・東京テクノロジー） ⑤ 表面段差計 D-120（ヤマト科学） EB蒸着装置 （誠南工業） プラズマリアクタ PR301（ヤマト科学） ① 電子顕微鏡 JSM-6510（日本電子） ② システム工業顕微鏡 BX51M+DP21（オリンパスメディカルサイエンス） ③ 使用薬品 ④ ⑤ ⑥ ⑦ 実験計画（使用目的及び内容をご記入下さい）：
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