スライド 1 - mu-sic

「MEMS集中講義 in 京都」
講師：江刺正喜、戸津健太郎、木股雅章(立命館大学)、高木秀樹(産総研)、小林健(産総研) 、
田中秀治、鈴木健一郎(立命館大学)、前田龍太郎(産総研) 、芳賀洋一、西澤松彦、小野崇人
日時：8/9(火), 10(水), 11(木) 9:30（初日10:00）～18:00 (1日目交流会18:00 ～20:00)
8/12(金) 立命館大学(びわこ草津ｷｬﾝﾊﾟｽ) 先端ﾏｲｸﾛ･ﾅﾉｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ見学会
場所：立命館大学朱雀キャンパス大講義室 (京都市中京区西ノ京朱雀町１)
http://www.ritsumei.jp/accessmap/accessmap_suzaku_j.html
主催：東北大学マイクロシステム融合研究センター、MEMSパークコンソーシアム、立命館大
学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター、産総研集積マイクロシステム研究ｾﾝﾀｰ
参加費：無料、但し交流会はMEMS PC会員は一口まで無料、非会員：有料
申込不要、当日直接参加可、問合先 : MEMSパークコンソーシアム事務局
TEL：022-795-4263 FAX：022-795-6259、E-mail [email protected]
【8月9日(火)】
10:00-12:00 (2h) マイクロマシニング１ (概論、フォトファブリケーション、エッチング) [江刺]
13:00-15:20 (2.3h) マイクロマシニング２ (堆積、接合､複合ﾌﾟﾛｾｽ､パッケージング他) [江刺]
15:30-17:20 (1.8h) 自動車・家電関連 (圧力、加速度センサ・ジャイロ他) [江刺]
17:30-20:00 MEMSPCカフェ(交流会)
(17:30-18:00 (0.5h) 試作コインランドリ [戸津])
(18:00-18:30 (0.5h) 講演「立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター」 [木股]
(18:30-20:00 (1.5h) 交流会)
【8月10日(水)】
9:30-10:30 (1h) 接合実装 [高木]
10:30-11:30 (1h) 圧電MEMSデバイス [小林]
11:30-12:30 (1h) マイクロエネルギ源 [田中]
13:30-15:20 (1.7h) RF関連MEMS (MEMSスイッチ、RFフィルタ) [田中、鈴木]
15:30-17:00 (1.5h) 光関連MEMS (ディスプレイ､光スイッチ､赤外線他イメージャ)[木股]
17:00-18:00 (1h) 産総研UMEMSME(集積ﾏｲｸﾛｼｽﾃﾑ研究ｾﾝﾀｰ)とMEMSの課題 [前田]
【8月11日(木)】
9:30-11:00 (1.5h) 医療 (カテーテル他) [芳賀]
11:10-12:30 (1.3h) バイオ関連 [西澤]
13:30-15:00 (1.5h) ナノマシニングとナノ構造体 [小野]
15:10-16:10 (1h) マイクロアクチュエータ [江刺]
16:10-18:00 (1.8h) 製造検査関連 (電子線制御、分析、微量流体制他) [江刺]

Download Report