ラインスキャンカメラ AF顕微鏡外観検査システム「高倍率でもフォーカスはジャストピント！！」日本エレクトロセンサリデバイス株式会社／柳澤好輝新素材・スマートフォン・4KTVなど検査の測定精度も日々要求が高まっている中、カメラの分解能も高画素高速スキャンが可能となっている。しかし今まで通りのマクロレンズで倍率を上げている方法では被写界深度も浅く、中々フォーカスが合わないことが多くなっている。移動ステージに問題があるのではなく、対象物自体の凹凸や反りが要因でフォーカスが合わないのである。そこで、本稿では、高分解能で連続した画像が取得することができるラインスキャンカメラAF顕微鏡システムを紹介する。 1 AF顕微鏡外観検査システム ④　新開発の 2 ラインセンサ方式を採用したモデルは、2m/secの速度で動く超高速ステージ上 1.1　概要のガラス基板であっても追従し、ピントを合本製品は、ラインスキャンカメラを搭載したオーわせ続けることが可能。トフォ−カス顕微鏡外観検査システムで、反射率の高い金属面は勿論、紙フィルタなどの低反射率 ⑤　対物レンズ 20 倍、上下変位± 150μm 以内の条件。も対応が可能である。 ⑥　マクロ〜ミクロまで幅広い倍率に対応。ガラス・透明プラスチックなど、他のオート ⑦　対物レンズ倍率 0.5〜150 倍まで対応可能。フォーカス方式では不可能な対象物でも高いパ ⑧　微分干渉ユニットでの微分干渉画像の画像取フォーマンスを発揮することができる。得も可能。 1.2　特長 1.3　構成主な特長を以下に示す。オートフォ−カス顕微鏡外観検査システム（型式： ①　C CD ラインセンサを利用した顕微鏡オート NLSC-AFMS × 5）（写真1）の構成は次のとおりフォーカスシステム。 ②　反射率の高い金属面はもちろん、反射率の低い紙、フィルタなどにも対応し、ガラスや透である。 ①　AF 機構部（C マウント・F マウント・M72 マウント）明なプラスチックなどの対象物にも、他方式 ②　XY ステージ部にはないパフォーマンスを発揮する。 ③　AF 用光源部 ③　試料のうねりや傾きにも超高速で追従、世界最高レベルの追従性能。 eizojoho industrial ④　ラインスキャンカメラ ⑤　AF 制御 BOX April 2015︱101