静電容量型変位計・センサープローブ・特殊製品を

1102091018-160
M-2218
静電容量型変位計シリーズ
きわめて高分解能、非接触での変位測定
高速応答、周波数特性切替え可能
超小型(114W×26H×100D) 、低コスト
装置組込に最適
アプリケーション例
精密変位測定
・ストローク・振動・厚み・そり・偏心の測定
・精密位置決めステージ
・板厚測定
・水平度測定
・軸ブレ測定
・微小変位制御機構組込
Detector
変位計本体
M-2218
Models
型式
1
Channels
チャンネル数
Analog output
出力電圧
±10V(調整レンジ±5V)
オフセット調整
DC offset
±10V （ON／OFF 付き）※1
出力直線性
Linearity
±0.1%以下※2
応答周波数
Bandwidth
100Hz 1kHz 10kHz※3
測定レンジ
Dynamic range
最小分解能
Resolution
出力端子
Output connector
センサコネクタ
Sensor connector
センサプローブ TRA,CA,CB シリーズより選択
0.001%FS※4
BNC
LEMO 0S.650
0～40℃ 85%RH 以下(結露なきこと)
使用環境
直射日光の当たらない
腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
Power supply
電源
外形寸法/質量
Dimensions/Weight
Accessories
付属品
DC±15V(AC90～264V－DC±15V アダプタ付属)
消費電力
4VA(±15V)
114W×26H×100D（突起部を除く）／300g
AC ｱﾀﾞﾌﾟﾀ(ｹｰﾌﾞﾙ長 1.8m), 電源ｹｰﾌﾞﾙ(ｹｰﾌﾞﾙ長 2m), 調整ﾄﾞﾗｲﾊﾞ
※1 付属の精密ドライバで調整可能です。
MESS-TEK
MODEL
:M-2218
SERIAL NO :
POWER:
DC±15V CALIBRATED:
4VA
※2 測定レンジ内
※3 応答周波数はロータリースイッチによる切替え式とな
っております。応答周波数が下がるほど分解能は良く
なります。応答周波数の誤差は-10%以上となります。
※4 応答周波数 100Hz 時
オプションで縦置スタンドを取付けることもできます。
お問い合わせください。
製品の仕様は改良の為に予告無く変更される場
合があります。ご検討の際には最新の仕様をお問
縦置スタンド取付イメージ
52
MESS-TEK
C-Sensor
M-2218
合せ下さい。
1102091018-160
TRA,CA,CB,CD シリーズ静電容量型変位計センサプローブ
共通仕様
0～80℃※1
85%RH 以下(結露なきこと)
使用環境
直射日光の当たらない、
腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
ケーブル※2
長さ 1.5ｍ φ2.3
TRA シリーズでケーブル引出口を選ぶことのできる製品は以下の V1,V2,V3 より選択してください
TRA シリーズのケーブル引出口 V1,V2 はケーブル根元の強度が V3 より低いため、取扱いに注意してください。
センサプローブが 5mm 長くなりますが、設置スペースに余裕がある場合は V3 を推奨します。
TRA,CA,CD シリーズ
V1,-01(ストレート)
V2,-02(ライトアングル)
V3,-03(ストレートコレット)
ケーブル引出口
測定レンジ－分解能
測定レンジ
5000um
TRA1020-1K
CB1K-01
2000um
TRA2025-2K-V
1000um
500um
CA100
200um
100um
CB2K-01
CA50
CA500
50um
CD500
CB2K-11
TRA616-200
20um
10um
TRA316-20
0.1nm
1nm
10nm
100nm
分解能
※1 精度を保つため、測定時には常温、一定環境で使用してください。
※2 ケーブル長についてはご相談により変更可能です。最長 10m まで伸ばすことができますが、伸ばすことによってノイズ(分解能)が大きくなります。
53
1102091018-160
TRA シリーズ
センサプローブ仕様
外形図
型式
Dimensions
Models
ケーブル引出口
Sensor Probe
FS 測定レンジ(µm)
出力感度(µm/V)
基準距離(µm)
最小分解能(nm)
Full scale measuring
Output sensitivity
Reference point
Resolution
2
20
0.2
TRA316-20
V3(V1,V2)
FS20(±10)
FS50(±25)
5
50
0.5
TRA616-200
V3(V1,V2)
FS100(±50)
10
100
1
FS200(±100)
20
200
2
FS100(±50)
10
100
1
FS200(±100)
20
200
2
FS500(±250)
50
500
5
FS1000(±500)
100
600
10
FS1000(±500)
100
600
10
FS2000(±1000)
200
1200
20
FS3000(±1500)
※1
300
1700
30
FS4000(±2000)
※1
400
2200
40
TRA1020-1K
TRA2025-2K
V3(V1,V2)
V1
CA,CB シリーズ
センサプローブ仕様
Sensor Probe
外形図
型式
FS 測定レンジ(µm)
出力感度(µm/V)
基準距離(µm)
最小分解能(nm)
Dimensions
Models
Full scale measuring
Output sensitivity
Reference point
Resolution
FS20(±10)
2
20
0.2
FS50(±25)
5
50
0.5
FS50(±25)
5
50
0.5
FS100(±50)
10
100
1
SUS304
CA50
SUS304
CA100
SUS304
FS300(±150)
C
30
250
3
FS400(±200)
A
40
300
4
50
350
5
FS100(±50)
10
100
1
FS200(±100)
20
200
2
FS500(±250)
50
500
5
FS1000(±500)
100
600
10
FS1000(±500)
100
600
10
FS2000(±1000)
200
1200
20
CD500
5
0
FS500(±250)
0
SUS304
CB1K-01
SUS304
CB2K-01
FS3000(±1500)
※1
300
1700
30
FS4000(±2000)
※1
400
2200
40
FS1000(±500)
100
600
10
FS2000(±1000)
Ceramics
CB2K-11
200
1200
20
FS3000(±1500)
※1
300
1700
30
FS4000(±2000)
※1
400
2200
40
センサ選択の際は必ず型式(ケーブル引出口)と FS(Full scale)測定レンジをご指定ください。注文例：TRA616-200-V3 FS200,
形状、材質、FS 測定レンジのご希望があれば特注対応可能です。
※1 FS3000 は非直線性誤差が±0.5％、FS4000 は非直線性誤差が±0.8％となります。
54
CA50-03 FS50
1102091018-160
NEW
CC シリーズ
大変位
10mm
静電容量型変位計センサプローブ
センサ
非接触
高速応答特性
～10kHz
特徴
非接触での変位測定・・・センサとターゲットは接触していません
ロングストローク・・・・～10mm(～20mm も応相談)
高速応答・・・・・・・・M-2218 との接続により 10kHz の応答可能
省スペース設置可能・・・ターゲット、φ20mm のスペース
・・・センサ、φ20mm のスペース
ターゲットを測定対象に固定し、測定します
ターゲット
型式
CC10K-01
外形図
Dimensions
ご希望の外形、固定方法がありましたらご連絡ください
FS 測定レンジ
Full scale measuring
FS10mm(±5mm)
出力感度
Output sensitivity
1mm/V
基準距離
Normal distance
14mm
最小分解能
Resolution
出力直線性
Linearity
ケーブル※2
100nm
±0.1%以下
長さ 1.5ｍ φ2.3※1
Cable
Sensor connector
センサコネクタ
LEMO 0S.650
0～80℃※2
85%RH 以下(結露なきこと)
直射日光の当たらない、
使用環境
腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
※1 ケーブル長についてはご相談により変更可能です。最長 10m まで伸ばすことができますが、伸ばすことによってノイズ(分解能)が大きくなります。
※2 精度を保つため、測定時には常温、一定環境で使用してください。
製品の仕様は改良の為に予告無く変更される場合があります。ご検討の際には最新の仕様をお問合せ下さい。
55
1102091018-160
ランジュバン振動子駆動用コントローラ M-5107
Bolt-clamped Langevin type Transducer Controller
ボルト締めランジュバン振動子（ＢＬＴ）駆動用のコントロールユニットを発売しました。各社ＢＬＴ
製品のほとんどに対応可能のため、超音波応用実験や装置開発等に最適です。本器をピエゾドライバー
に接続するだけで、ＢＬＴを共振駆動させる事が簡単に行なえます。更に、駆動中に共振周波数が変動
しても、自動で共振周波数に追尾し、常に最大能力で駆動させる事が出来ます。
・発振周波数の設定機能(20～70kHz)
・共振周波数にロック・オン状態で LED 点灯表示
・ＢＬＴの駆動周波数・電流・電圧をＬＣＤ表示
・ＢＬＴ駆動モニタ端子（周波数・電流・電圧）
・超音波応用実験（センシング，化学反応促進，
切断・溶着・機械加工，洗浄，攪拌等）や装置開発向け
に最適
周波数制御範囲が広い！
Ａ社ＢＬＴ
Ｂ社
・各社ＢＬＴ製品をカバー
・色々なＢＬＴを使えるので
実験・装置開発に最適
Ｃ社
Ｄ社
2
7
0
仕様
0
PLL 発振ユニット PLL Oscillation unit
M-5107
Frequency control range
20～70kHz(10 回転ポテンショメータ)
出力電圧制御範囲
Output voltage control range
0～10Vpp(10 回転ポテンショメータ)
周波数表示範囲
frequency display range *1
周波数制御範囲
電圧表示範囲
電流表示範囲
共振駆動
正弦波出力信号
ＢＬＴ接続端子
LCD 0.00～99.9KHz
LCD 000.0～199.9Vrms
Voltage display range *1
LCD 0.00～1.99Arms
Current display range*1
ON / OFF(“ LOCK IN ” スイッチ)
Resonance drive
ON / OFF(“ DRIVE ON ”スイッチ)
Sine wave output signal
ターミナル(BLT を接続) バナナプラグ接続可能
BLT connetor
電圧モニタ
Voltage monitor
出力電圧の 1/100(BNC コネクタ)
電流モニタ
Current monitor
電圧出力で電流電圧比１対 1(BNC コネクタ)
周波数モニタ
信号出力コネクタ
高電圧入力コネクタ
寸法 (mm)
電源
5Vpp の矩形波(BNC コネクタ)
Frequency monitor
BNC(ピエゾドライバー入力を接続)
Signal output connetor
BNC(ピエゾドライバー出力を接続)
High voltage input connetor
160W × 149H × 230D
Body size
AC 100 V
Operating voltage
56
50Hz / 60Hz
1102091018-160
ブロック図
主要機能のブロック図内の発振器／ＰＬＬ制御部は、弊社の独自回路技術によるピエゾ共振駆動に特化し
た回路です。このＰＬＬ機能によりＢＬＴの共振周波数に自動追尾させる事が出来ます。また、ＰＬＬ機能を解除
してＢＬＴの駆動周波数・電圧を自由に調整させる事も可能です。
周波数調整
ダイヤル
出力電圧調整
ダイヤル
正弦波出力
ＯＮ/ＯＦＦ
スイッチ
周波数モニタ
共振駆動
ＯＮ/ＯＦＦ
スイッチ
LOCK ON LED 付き
発振器部
＋
ＰＬＬ制御部
電流モニタ
正弦波出力信号
(ドライバー入力へ)
電圧モニタ
電流センサ
高電圧入力信号
(ドライバー出力から)
I 実効値変換
ＢＬＴ出力
Ｖ実効値変換
ＬＣＤ（４行×１６桁）
組合せ例
弊社にはＢＬＴを駆動出来るピエゾドライバー製品もありますが、お客様がお使いのピエゾドライバー（信号
入力端子有り）にも接続可能です。また、お使いになるＢＬＴに最適なピエゾドライバーを紹介出来ますので、
お気軽にお問い合わせ下さい。
弊社ピエゾドライバーM-26109B
ＢＬＴコントローラ
M-5107
Max.
106Vrms，
1.0Arms
BLT
ドライバー入力
ドライバー出力
57
1102091018-160
外付け USB-DAC
M-5104
●ポケットサイズの１６ｂｉｔ
USB-DAC
●USB で PC に接続するので電源不要（USB バスパワー）
●持ち運びが容易なため、事務所の PC、作業現場等
場所を選ばすどこでも利用可能
●任意の指定電圧を出力可能（-10～+10V）
●簡単なサンプルプログラム付属の為、すぐ使用可能
●テキスト(ASCII)コマンドのため、
ターミナルソフトからのコマンド入力での制御も可能
仕様 Technical Data
M-5104-1
型式
出力チャンネル数
M-5104-3
1 チャンネル
3 チャンネル
16bit（0～65535）
分解能
出力端子
BNC コネクタ
出力電圧
-10V～+10V
通信方法
仮想 COM ポートによるシリアル通信
38.4Kbps
※パソコンからの受信のみ
約 150mA
約 250mA
※パソコンの USB（+5V）より供給
通信速度
消費電流
W140×D110×H30mm（突起物は除く）
外形寸法（mm）
約 200ｇ
重量
規格
※ パワーオン時の初期電圧は、「前回終了時の設定電圧」となります。
※
USB1.1/2.0（フル・スピード）準拠
本製品を２台以上接続又は、他の機器を接続している場合はセルフパワータイプのＵＳＢハブを使用してください。
サンプルプログラム
●仮想 COM ポートの通信設定
●１チャンネル～３チャンネルに対し、
任意の電圧を設定
●任意の電圧を 16bit(0～65535)に変換した
コマンドが実行されます。
※サンプルプログラムは LabView7 で作成されています。
バージョンの異なる LabView では開けない可能性があります。
58
1102091018-160
オプション・表示器ユニット
温度表示器
型式： M-5206
ピエゾ製品の温度監視ができます
対象センサ
ピエゾ製品にオプション設定された温度センサ（測温抵抗体）
測定値のデジタル表示
4桁
アラーム機能
目標設定値を決めておきリレー出力できます
配線方式
ネジ端子
電源
定格 100-240VAC（±10％）、50/60Hz
付属品
ブラケット（取付具）、ユーザーズマニュアル、電源ケーブル
小型変位表示器
型式： M-5207
ピエゾ製品（ひずみゲージセンサ付き）の変位表示ができます
対象センサ
ピエゾ製品にオプション設定された
ひずみゲージセンサ
測定値のデジタル表示
4桁
配線方式
ネジ端子
コネクタ付属（ﾋﾟｴｿﾞ製品のｾﾝｻと接続可）
電源
定格 100-240VAC（±10％）、50/60Hz
付属品
ユーザーズマニュアル、電源ケーブル
59
1102091018-160
オプション・アクセサリー
BNC ケーブル
静電容量型変位センサー用ケーブル
型式： M-9907
型式： M-9908
外皮材質：PVC
外皮材質：PTFE
注文例
型式
－
形状タイプ
－
全長指定 1・2・3・5・10 (m)
M‐9907 －
PP
－
01
M‐9908 －
PJ
－
05
形状タイプとは
形状タイプ
外形イメージ図
PJ
PP
P
静電容量型変位センサー用_気密カプラ
型式： M-9909
真空チャンバ―などへセンサープローブを導入する場合に導入端子として使用できます
（詳細はお問合せください）
60
1102091018-160
オプション・アクセサリー
M-9910-5（MPA-UA 用）
M-9910-7（MPA-UB 用）
M-9910-10（MPA-UC 用）
61

Download Report