ナノ・ソルテック株式会社 JAPAN Tel ： +81-45-222-8438 KOREA Tel ： +82-32-686-0430 http：//www.nstj.co.jp/ 【性能保証】 お客様の使用条件およびプロセスを事前に十分な打ち合わせを行い ベース装置および改造仕様を提案させていただきます。 【保守メンテサービス】 弊社が提供する中古再生装置は保守部品・保守技術をOEMメーカーと遜色ない 装置のみを提案させていただいております。 【無償保証期間90日】 検収後、90日間の保証期間を設定しております。 通常装置調整後、1か月前後は安定しないケースが稀にございますが 検収後、保証期間内であれば安定稼働までエンジニアを常駐させることも可能です。 ※弊社設置装置のみに対応 【輸送搬入据付】 精密機器である半導体製造装置は、輸送に関しても非常に技術を要します。 弊社では各装置に精通した輸送技術を持った輸送会社と提携しており 安心且つ迅速に据付までのサービスを実施させていただきます。 特に安全作業に関しては 『安全衛生責任者資格者』を従事させ 安全作業を優先とした管理を徹底しております。 中古装置最新情報及び推奨装置 Used Equipment List I Line Stepper NSR-2005i9C I Line StepperNSR-2205i11D NIKON （1996） NIKON 200mm (Notch & Flat) 200mm (Notch & Flat) I Line Stepper NSR2025i14E2 NIKON 200mm (Notch & Flat) 中古装置最新情報及び推奨装置 Pre-owned Equipment List KLA-Tencor KLA 2135 Bright Field Defect Inspection 200mm Kosaka Lab ET4000 (2007) Profiler 100mm – 200mm YGK YPI200 (2007) Particle Counter （Manual type) 160mm 200mm ～0.3µm 中古装置最新情報 Used Equipment List KLA-Tencor KLA-Tencor TOHO Technology (KLA-Tencor ) Omni Map RS75/tc FLX2320S P-16 Resistivity Mapping System Thin Film Stress Measure System Profiler 150mm - 200mm Manual Type Manual Type ID No Process Item Manufacture Model Vintage Configuration Remarks NSJ0001 Metrology NSJ0002 Metrology Defect Inspection (Bright field) Defect Inspection (Bright field) KLA-Tencor KLA-Tencor KLA2135 KLA2139 200mm NSJ0003 Metrology Review station Leica INS3000 DUV 2002 200mm 200mm NSJ0004 Metrology NSJ0005 Metrology Profiler Profiler KLA-Tencor Kosaka Lab P16 ET4000 2007 2006 100mm - 200mm 100mm - 200mm NS0001 NS0002 NS0003 NS0004 NS0005 NS0006 NS0007 NS0008 Metrology Metrology Metrology Metrology Metrology Metrology Metrology Metrology Thin Film Stress Measurement Resistivity Mapping System Defect Inspection (Dark field) Profiler Overlay Profiler Profiler Surface Profiler KLA-Tencor KLA-Tencor KLA-Tencor KLA-Tencor KLA-Tencor KLA-Tencor KLA-Tencor KLA-Tencor FLX2320S RS75 AIT XP P10 KLA5300 Alpha step IQ Alpha step 500 HRP-220 2003 1998 2000 1998 Manual 100mm - 200mm C to C type 200mm Manual 200mm Manual (100mm - 200mm) Manual (100mm - 200mm) 200mm YG0001 Metrology Surface Particle Measurement YGK YPI200 2007 50mm - 200mm □ Manual MK0001 MK0002 MK0003 MK0004 MK0005 MK0006 MK0007 MK0008 Implant Photo Photo Metrology Photo Photo Photo Metrology Implant Stepper Coater Developer Review SEM Stepper Coater Developer Surface Particle Measurement SEN Nikon TEL HITACHI Nikon TEL TEL KLA-Tencor HE3 NSR2205i9 Mark8 RS3000 NSR2205 EX14 Mark7 Mark7 SFS6220 2005 1998 1998 2005 2000 1997 1997 200mm 150㎜ 150㎜ １C1D 200㎜-300mm 200mm Coater x 2 cup Developer x 2 cup 100mm - 200mm 2 system available For parts EDX WDX ID No Process Item Manufacture Model CS0001 CS0002 CS0003 CS0004 CS0005 CS0006 CS0007 CS0008 CS0009 CS0010 Implant PVD Implant WET WET Photo Photo Photo Implant Metrology HC Implant PVD MC Implant Back side cleaner Cleaner Coater KrF Scanner ArF Scanner HE Implant CD-SEM AMAT AMAT NISSIN SEMITOOL DNS DNS Nikon Nikon SEN KLA-Tencor Xr120 Endura Exceed 2000 Millennium WS820L SC-200W-BV NSR S203B NSR S305 GSD-HE eCD2 FS0001 FS0002 FS0003 FS0004 FS0005 FS0006 FS0007 FS0008 FS0009 Photo Photo Etch Etch Metrology WET CVD Etch CMP Stepper Coater Developer Metal Etch (R0 Chamber) Poly Si Etch (R1 Chamber) CD-SEM Cleaner Metal CVD Oxide CMP + WET CANON TEL AMAT AMAT AMAT DNS AMAT TEL AMAT FPA-5500IZa ACT8 Centura DPS Centura DPS SEMVISION CX FC-821L Centura WXZ U2e-855SS MIRRA Vintage 1996 1996 1998 2000 1997 2000 1999 2003 2003 2003 1999 1999 2002 2003 2000 Configuration Remarks 200mm 150mm 200mm 200mm 200mm Coater x 2cup 200mm 200mm 200mm 200mm - 300mm For parts PCⅡｘ１ PVDx4ch 200mm 200mm 4D 4C 200mm CS 200mm 200mm 200mm 200mm 200㎜ SMIF FABS coming soon coming soon R0 Chamber x 2 R1 Chamber x 2 Polymer remover Acid Type For parts For parts W CVD with AS2000
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