Optics & Optical Coatings 紫外集光レンズアプリケーションシステム光学素子 ETL/EDL/NEDL カタログコード紫外域で高い透過率が得られる合成石英レンズで構成された紫外レーザ用の集光レンズです。紫外光を吸収するガラスや接着剤は使用していないので、耐光性に優れています。 ◦2枚または3枚の球面レンズを組合せて、球面収差とコマ収差を補正しています。 ◦Kr＊Fエキシマレーザ（248nm）、YAGレーザの4倍波（266nm）、 3倍波（355nm）の集光レンズとしても使えます。 ◦NA0.1以下のレンズではレーザコリメート光をほぼ回折限界のスポット径に絞り込むことができます。（ETLではNA0.25以下）共通仕様ホルダー材質ベース手動ステージ機能説明図入射許容角度 ±1° 注意固定用ネジ保護ガラス取付用ネジ（但しφ50タイプは無し）ガイダンスミラー金属枠ビームスプリッター外形図 ●公差長さ L±0.2 焦点距離 ±2％刻印 4 4 プリズム φ36±0.15 M34 P0.75 有効径φ27 フィルター（単位：mm） M34 P0.75 ETL-30 NEDL-30 MEオプティクス L ▶集光レンズは無限遠にある物体を焦点に結像させる場合、または、点光源を平行光にする場合にご使用ください。近距離の結像などに使用した場合、十分な光学性能が得られません。 ▶集光レンズには光を入れる向きがあります。必ず上側（鏡筒側面の刻印を正立に見て）から平行光を入射させてください。逆にすると球面収差が大きくなり、集光スポットが大きくなったり、像がボケて見えることがあります。 ▶指定波長域以外で使用した場合、収差や透過率が悪くなります。 ▶高出力レーザで使用する場合や高熱が出る光源の近くで使用する場合、集光レンズが高温になり、集光レンズの焦点距離が変化する可能性があります。長時間照射する場合は、放熱対策が必要になります。 ▶集光スポット径を小さくしたい場合は、入射ビーム径（1/e2）が集光レンズの有効径の約半分になる大きさまで広げてご使用ください。 ▶この集光レンズはアクロマティックレンズではありません。色収差は補正されていません。 ▶レンズの表面反射（4％）によって約20％の透過損失が発生します。 WD φ54±0.1 光学データメンテナンス有効径φ47 EDL-50 M50.9 P0.75 基板/窓ノーコート ▶各波長ごとの焦点距離はWEBの『焦点距離の波長特性データ』でご確認ください。　W3082 索引レンズ 248nm コーティング ▶高エネルギーパルスレーザ用やご指定波長などのカタログ掲載品以外の製作も承ります。 ▶お客様の仕様でロット数百個の製作にも対応いたします。 ▶レーザ加工による飛まつからレンズを保護するため、別売りの保護ガラスを装着できます。　B183 自動ステージ偏光素子エキシマレーザ用合成石英（エアーギャップ）設計波長ご案内アクチュエータ光源 W3082 刻印セレクションガイド 4 L アクロマート集光レンズ仕様 fθレンズ対物レンズエキスパンダーその他品番価格〔￥〕焦点距離 f 〔mm〕長さ L 〔mm〕 NA WD 〔mm〕 ETL-30-40P 110,000 39.6 22 0.34 31.1 ETL-30-50P 110,000 49.8 22 0.27 41.6 ETL-30-60P 110,000 59.7 22 0.23 52.4 ETL-30-80P 110,000 79.8 22 0.17 73.2 NEDL-30-100P 69,000 99.9 12 0.14 94.6 NEDL-30-150P 64,000 149.3 12 0.09 144.6 194.7 NEDL-30-200P B184 WD 60,000 199.3 12 0.07 EDL-50-100P 128,000 100.4 20 0.24 87.1 EDL-50-150P 123,000 149.6 20 0.16 137.9 EDL-50-200P 117,000 199.1 20 0.12 187.9 EDL-50-250P 111,000 249.0 20 0.09 238.0 EDL-50-300P 105,000 298.6 20 0.08 288.0 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]