INSTRUCTIONS イ オ ン ビ ー ム ス パ ッタ 装 置 第 一章 概 要 HITACHI 第 1.概 一 章 概 要 要 1.1基 本 構 成 の慨 要 末 装 置 は 、 ス パ ッ タ 用 , ア シ ス ト用 の イ オ ン ガ ン 2 基 を 備 え た イ オ ) ビ ー ム 方 式 の ス バ ッタ リ ン ダ装 置 で 、 基 板 ホ ル タ ー は 基 板 回転 機 構 , 角 度 調 整 機 構 , 加 熱 機 構 を 有 し 、3 面 の タ ー ダ ッ トホ ル ダ ー ( 自 動 割 出 式 ) 、 イ オ ン 源 用 ガ ス 供 給 装 置 か ら 構 成 さ れ て い ます , 排 気 系 は 、 i 芭回 転 ホ > ブ , ク ラ イ オ ホ ン ブ か ら構 成 さ れ 、 操 作 は 自 動 方 式 と な っ て お り ます 。 本 装 置 の 構 成 を 図 1 に 示 し ます 。 ま た 、 各 機 器 、 機 構 の 配 置 に つ い て は 、 第 8 章 の 図 面 を参 照 下 さ い c i.2安 全 上 の注 意 次 の 事 項 に つ い て は 、 運 転 状 況 及 び 装 置 の 状 況 を勘 案 して 万 全 の 安 全 対 策 を お願 い い た します 。 1.2,1感 電 防 止 ( 1 ) 通 電 中 は 充 電 部 に 接 近 しな い で 下 さ い 。 ( 2 ) 低 圧 回 路 に つ い て も 、 直 接 又 は 五 具 等 に よ り間 接 的 に 触 れ る 活 緑 作 業 は 避 け て 下 さい。 (3)高 圧 充電 部 の端 子 に夕 、れ る 場 合 は 必 ず 接 地 し て か ら 作 業 に か か つ て 下 さ い 。 も 1 . 2 . 巳凍 傷 防 止 ( 1 ) 低 温 機 器 に お、れ る 場 合 は 内 部 に 冷 峡 が な い こ と を 確 認 後 作 業 に か か っ て 下 さ い ぅ 1.2.3回 転 部 分 r i ) 回 転 す る 部 分 に 敏 れ る 時 は 、 電 源 を切 つ て か ら作 業 に か か っ て 下 さ い 。 ( 2 ) 回 転 機 器 は 、 電 源 の 相 回 転 を 間 違 え て 通 電 し ま す と 、 逆 回 転 して 機 能 障 害 を 発 生 す る は か り で な く、 締 付 部 分 が ゆ る む 危 険 が あ り ま す の で 注 意 して 下 さ い 。 1.2.40リ ン グ関 係 本 装 置 は 、 燃 性 ・窒 息 性 の ガ ス を多 量 に使 用 し、 又 プ ラ ズ マ 生 成 , 加 熱 ホ ル ダ 等 に よ り、 チ ャ ンバ ー が 加 熱 され る 等 で 、 O リ レ ダ の 寿 命 を短 くす る 要 素 と有 して お り ます 。 ○ リ ン グ の腐 食 , へ た り, 経 年 劣 化 等 に よ り装 置 の 気 密 劣 化 は 、 ガ ス 漏 れ 等 に よ ″グ の チ ェ ッ ク又 は 交 換 を 、 定 期 的 に 実 施 る 重 大 事 故 の 原 因 と な り ます の で 、 ① り と して 下 さ い 。 1 . 2 . 5 そ の他 ( 1 ) 安 全 装 置 が 正 常 に 動 作 す る か 始 業 時 又 は 定 期 的 に 確 認 の 上 、 使 用 して 下 さ い 。 万 一 、 安 全 装 置 が 破 損 又 は 除 外 され て お り ます と人 身 事 故 に つ な が る 恐 れ が あ り ます 。 ( 2 ) 消 火 設 備 を設 け る な ど の 防 火 に つ い て も 御 配 慮 お 願 い 致 しま す 巣 即巣 ハ末 ヽ ︱転 ミ 指 案 岬案 ハ末 や 工 ︵本 ︱ ヽ ヽ ハ 指 ︱ 心 ヽ∼ 回 函 窓 理 細 部 革 小Ｋ く ヽ ︱ 卸 ハ 代 や ︻ 図 ト ハ 指末 ヽい ふ ∼無 ミ 指媒 珊 墨 ハ 末 ヽ眠 二 ヽあ ト 2.主 仕様 2 , 1 イ オ ン ビ ー ム ス パ ッタ リ ン グ装 置 型式 SIBS-402 2 . 2 装 置性 能 大 項 目 1 目 項 1)到 達 真 空度 1 1排 気特 性 12)排 気速 度 1× 1 0 7 T o r r 以下 か ら 5 × 1 0 6 T o r r まで IMV開 30分以 内 3)測 定 条件 無 試 料 , 無加 熱 で 大 気放 置 3 分 以内 基 板温度特性 ( 有 効 範 囲 φ7 5 1 1 1 1 1 1 ) 3 5 0 ± 1 5 ℃ ( 但 し有 効 範 囲 お い て) φ 100EIIllに 3)温 度 制御 PID制 4)昇 温 時 間 350℃ まで lHR以内 500℃ か ら 100℃ ま で 3HR 15)降 温 時 間 16)カ 3 1基 板 ホ ル ダー 1)基 セ ラ ミ ッ ク ス ヒー タ ー ロ熱 源 板寸法 御 l φ 2)基 板 回転 機 構 75aull 1∼ 6rpm可変 3 ) 基 板 角 度 調 整 機 構 1 基 板 水 平 を 0 ° と し、 タ ー ゲ ッ 卜方 向 1 5 ° , ア シ ス ト方 向 9 0 ° 基板 着 脱 1 8 0 ° 基板加熱ホルダー 基板加 熱温度 1常 タ ー ゲ ッ トホ ル ダ ー 1 ) 寸 法 月 350℃ φ6 イ レ チ 12)保 持 数 3)冷 却 方 式 4)防 着 シー ル ド ￨タ ー ゲ ッ ト間 接 冷 却 方 式 2,3装 置 構 成 N ●. 1 大 項 目 真 空 チ ャ ンバ 項 目 1 ヤ ンバ 1)チ 様 仕 Sビ S304製 390×325X530 2)冷 却 方 式 3)防 着 板 4)予 備 ポ ー ト 1水 冷 ジャケッ ト I S U S304製 l φ 701 CFフ ラ ンジ 4式 6)内 部 覗 窓 ゅ1 2 0 シ ャ ッタ ー 付 き 7)蓋 開 関機 構 前扉 手動 式 8)X線 照 射 ポ ー ト用 φ70ビ ュ ー イ ン グポ ー ト兼 用 フラ レジ 2 1制 御 盤 1)装 置 別 置 操 作 盤 次 の操 作 系 を含 む 自動 排 気 , 真 空 計 , ガ ス , 基 板 駆 動 ,加 熱 水 冷 ,ス パ ッタ の 各 制 御 ,各種 安 全装 置 と信 号 3 1 イ オ ン源 1 ) ス パ ッタ 用 1型 式 : バ ケ ッ ト型 1500eV ビー ム エ ネル ギ : 5 0 0 ∼ ビ ー ム 引 出径 : φ1 0 0 ニ ュ ー トラ ラ イ ザ 付 2 ) ア シ ス ト用 1型 式 : バ ケ ッ ト型 ビー ム エ ネ ル ギ : 1 0 0 ∼ 600eV ` 電 源 は ヽ6 0 0 V ) 引 出 ビー ム電 流 :Max30mA (at100V) ビー ム 引 出径 :φ100 ニ ユ ー トラ ラ イ ザ 付 2.3装 置 構 成 4 1)油 回転 ポ ンプ 排気系 直結 型 9 0 0 ゼ/ m i n ( オイル ミス ト トラ ップ付 ) 5 2)ク ラ イ オポ ンプ 」 I S8イ ン チ 3)メ イ ンバ ル ブ J I S8イ ン チ ゲ ー トパ ル プ 1 ) ワ イ ドレ ン ジ真 空 「 真空計 IR 計 2)ピ ラ ニー真 空 計 S F C280 ｒ Ａ 一ヽ ロー ラ ー S F C280 一め マ ス フ ロー コ ン ト い 6 二 式 二 式 一 A 2.4イ ンタ ー ロ ック系 (1)冷 却 水 (2)圧 空 (3)排 気 系 (4)高 電 圧 電 源 2.5必 要 設 備 本 装 置 を稼 動 させ る た め 下 記 設 備 を御 準 備 頂 け る も の と します 。 (1)電 源 200V 50Hz 約 3相 豊室本 目1 0 0 V (2)冷 却水 50Hz 22kVA 3承4 k V A 2 埴/ c 意 約 2 0 ゼ/ m i n 2 8 C 以 下 約 入口 P S 3 / 4 ″ メネ ジ 出 口 PS3/4″ズ ネ デ (3)圧 縮空気 約 5 kg/c面 入口 P S 3 / 8 ″メネ ジ ( 4 ) ベ ン ト用 N 2 ガス 約 2 k g / c ボ 入再 φ 6 . 3 5 スウ ェ ー ジ ロ ック ( 5 ) 成 膜用 ガス l k g / c ボ 入 口 φ 6.35ス ウェー ジ ロ ック (6)RP排 気 曰 N町 40 中古装置 HITACHI 製 イオンビームスパッタ装置 型番 IBS-3T1 各部写真 写真１：正面からの写真 写真２：装置名盤の写真 写真３：装置全体の写真 写真４：制御盤名盤の写真 写真５：架台名盤の写真 写真６：真空槽内部の写真 写真７：真空槽扉部の写真 研究所で使用されていたものです。引取る直前まで稼動しておりました。 現状渡しにて税別価格２５０万円(送料別途、工場引渡し可)で販売致します。
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