DOEの特徴 • アライメント不要！！ 光源の動きに分岐パターンも追従する • DOEを回すとパターンも回る！！ • 分岐点位置とエネルギー分布を設計で作り出せる！！ • あらゆる波長に対応!!（紫外光から赤外光まで） 回折光学素子 Diffractive Optical Element : DOE レーザー光 DOE 3本 １本 青 青用DOE ５本 赤 赤用DOE ９本 各種波長に合わせて作ります DOEの使い方 調整が簡単!! 光源の動きに分岐パターンも追従する DOE DOEを回すとパターンも回る!! DOE 分岐パターン 古河電子 光源情報 ターゲット情報 設計解 実際のDOE構造（64階調） 設計 DOE構造 実際のDOE構造（64階調） 製造後測定値(nm) Fabricated height (nm) 2400 2200 2000 1800 1600 1400 1200 1000 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 Designed height (nm) 設計値(nm) Ap. 1 加工用 ④ ③ ② ① 集光ビーム 1000 900 800 分岐素子 強度（Count) 700 600 回折光学素子を使うことにより、 加工速度の向上が期待できる 500 400 300 200 100 0 100 125 150 175 径(μ m) 200 225 250 □ λ633 nm 8点サークル分岐 0次光位置 0次光位置 ジャストフォーカス λ405 nm デフォーカス λ532 nm λ633 nm 0次光位置 ビームプロファイラに よる 強度分布測定 □0次光位置強度は、リングパターン各8点の1/245 □ λ532 nm 8点サークル分岐 DOE設計構造深さ1136 nm→仕上がり構造深さ1131 nm(-0.4 %)品 DOE無し マルチモード分岐 DOE有り Ap. 2 表示用 ＤＯＥ レーザ Ap. 3 センサー光源用 様々なDOEに対応 リング 四角 ビームの形を変える 反射型 DOEの特徴 • • • • 国内で設計から完成までワンストップ体制!! 独自の加工技術で、高精度!! 初期費用が少ない!! あらゆる波長に対応!!（ＡＲコート） 是非ともお試しください！ 製造のみでもお試しください！
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