低炭素化材料設計・創製ハブ拠点共用装置群課金表（平成24年8月1日以降利用分に適用）装置分類材料創製・合成材料加工装置群材料評価装置群機器利用単価（円/h）装置番号旧No. 装置名称メーカー技術補助・技術代行単価（円/h）型式企業大学・公的研究機関企業大学・公的研究機関 NM-IF000001 A1 MBE量子井戸薄膜創製装置（株）エイコー EV-500 1,300 650 3,640 1,820 NM-IF000002 A2 放電プラズマ焼結創製装置（高温、高パワー）双日マシナリー（株） SPS-1080 1,300 650 3,640 1,820 NM-IF000003 A3 炭素系材料気相成長装置セキテクノトロン（株） AX5200-S 1,300 650 4,030 2,015 NM-IF000004 A4 高純度窒化物気相成長装置（株）エピクエスト SH2001-HTA 2,600 1,300 5,330 2,665 SG-IF000005 A5 磁性多元合金スパッタ装置（株）エイコー 1EK500 1,300 650 3,640 1,820 SG-IF000006 B1 ナノマニピュレーション用電界放出形走査電子顕微鏡日本電子（株） JSM-7001F/TTLS 2,600 1,300 4,940 2,470 NM-IF000007 B2 集束イオンビーム加工観察装置 (FIB) （株）日立ハイテクノロジーズ NB5000 3,900 1,950 6,240 3,120 NM-IF000008 B3 電子線描画装置日本電子（株） JBX-6300FS 3,900 1,950 6,240 3,120 NM-IF000009 B4 微細組織三次元マルチスケール解析装置エスアイアイ・ナノテクノロジー（株） SMF-1000 3,900 1,950 5,850 2,925 SG-IF000010 B5 酸化膜ドライエッチング装置住友精密工業（株） MUC-21 RV-APS-SE 2,600 1,300 4,550 2,275 NM-IF000011 B6 無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置（株）ニューメタルスエンドケミカルス Fischione Instruments Model コーポレーション 1040 NanoMill 1,300 650 3,250 1,625 SG-IF000012 C1 マイクロフォーカスX線CT装置（株）島津製作所 SMX-160CT-SV3 1,300 650 3,250 1,625 NM-IF000013 C2 単結晶X線構造解析装置ブルカー　AXS Smart ApexII Ultra 2,600 1,300 4,550 2,275 NM-IF000014 C3 顕微ラマン測定装置（株）フォトンデザイン Jupiter 1,300 650 3,250 1,625 NM-IF000015 C4 機能材料電子スピン共鳴装置日本電子（株） JES-FA100 1,300 650 3,250 1,625 NM-IF000016 C5 温度変調型熱分析装置/熱重量-示差熱分析-質量分析 TA インスツルメント・ジャパン（株）同時測定装置 Q2000/Q600 1,300 650 3,250 1,625 SG-IF000017 C6 極低温比熱・電気抵抗測定装置ロックゲート（株） BF-LD250 1,300 650 3,640 1,820 NM-IF000018 C7 パワーデバイスアナライザアジレント･テクノロジー（株） B1505A 1,300 650 3,250 1,625 SG-IF000019 C8 表面・界面物性解析装置（株）三ツワフロンテック NN－０４W 1,300 650 3,250 1,625 SG-IF000020 C9 飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）（株）アルバック PHI TRIFT V nanoTOF 3,900 1,950 5,850 2,925 SG-IF000021 C10 実動環境対応ナノ物理分析TEM 日本電子（株） JEM-ARM200F 5,200 2,600 7,150 3,575 NM-IF000022 C11 蛍光体発光特性評価装置大塚電子（株） MCPD 9800 1,300 650 4,030 2,015 NM-IF000023 C12 ナノ材料評価用カソードルミネッセンス測定装置（株）日立ハイテクノロジーズ SU6600CL 1,300 650 3,640 1,820 SG-IF000024 C13 蛍光寿命測定装置（株）堀場製作所 FluoroCube UltraFast-3000U 1,300 650 3,640 1,820 SG-IF000025 C14 走査型ヘリウムイオン顕微鏡カールツァイス（株） ORION Plus 5,200 2,600 7,150 3,575 SG-IF000026 C15 ３次元測定レーザー顕微鏡オリンパス（株） LEXT OLS4000 1,300 650 3,250 1,625 NM-IF000027 C16 高圧ガス／蒸気吸着量測定システム日本ベル（株） BELSORP-HP/BELSORP-max 1,300 650 3,250 1,625 SG-IF000028 C17 触針式表面形状測定器（株）アルバック Dectak 150 1,300 650 3,640 1,820