SURFACE INSPECTION AND METROLOGY FOR

SURFACE INSPECTION
AND METROLOGY
FOR INDUSTRY
AND RESEARCH
ConfoC
your SOLUTION FOR
THE QUALITY CONTROL
OF SURFACES
DIE LÖSUNG FÜR IHRE
QUALITÄTSKONTROLLE VON OBERFLÄCHEN
Cam
In partnership with Nikon Metrology
In many technological areas, the properties of the
surface are a critical factor for the effectiveness of
the entire product. Inspection and analysis are often
complex, because the measurement of fine surfaces
requires exacting conditions. Until now, quality
assurance in the production of functional surfaces
was time-consuming and cost-intensive.
confovis has developed an innovative optical process
for the non-contact scanning of surfaces, which allows
for direct analysis in the production environment. The
technology does not have any moving parts, and is therefore robust and is less sensitive to typical disturbances.
Even in tough conditions, it is able to consistently deliver
precise measurements, down to the low single-digit
nanometer.
Through the patented confovis technology, it is possible
to monitor the geometric composition of fine surfaces
during every step of development and production.
Processes can be directly controlled and optimized, so
standards can be checked in a cost- and time-efficient
manner.
Due to its robustness, its compact structure, and its
practical usability in both measurement and analysis
quality, confovis technology is the optimal solution for
the inspection of surfaces in industrial environments.
In vielen technischen Bereichen ist die Beschaffenheit
der Produktoberfläche ein für die Leistungsfähigkeit
des Gesamtproduktes entscheidender Faktor. Inspektion und Analyse sind hier oft sehr aufwändig, da
die Vermessung feinster Oberflächen anspruchsvolle
Bedingungen an die Untersuchung stellt. Die Qualitätssicherung in der Herstellung von Funktionsoberflächen
war deshalb bisher sehr zeit- und kostenintensiv.
confovis hat ein innovatives optisches Verfahren zur
berührungslosen Oberflächenabtastung entwickelt,
welches die Analyse direkt in der Produktionsumgebung
ermöglicht. Die Technik kommt ohne bewegliche Bauteile
aus und ist deshalb robust und weniger empfindlich als
herkömmliche Techniken für Störfaktoren wie Erschütterungen. Auch unter schwierigen Bedingungen ist sie in der
Lage, konstant präzise Messergebnisse bis in den unteren
einstelligen Nanometerbereich zu liefern.
Durch die patentierte confovis-Technologie ist es möglich,
die geometrische Beschaffenheit feinster Oberflächen und
Bauteile in jedem Entwicklungs- und Produktionsschritt
zu überwachen. Prozesse lassen sich so direkt kontrollieren und optimieren, Standards lassen sich kosten- und
zeiteffizient prüfen.
Aufgrund ihrer Robustheit, ihrer kompakten Bauweise und
ihrer Praktikabilität bei gleichzeitig höchster Mess- und
Analysequalität ist die confovis-Technologie die optimale Lösung für die Oberflächeninspektion in industriellen
Umgebungen.
A RADICALLY NEW
APPROACH:
operating PRINCIPLE
EIN GRUNDLEGEND NEUER ANSATZ –
DAS FUNKTIONSPRINZIP
The patented confovis technology is based on structured
LED lighting. Unlike in conventional confocal microscopy,
during the scanning process, there is no rotating pinhole
disk or other moving mechanical parts, such as the use of
scanning mirrors. Instead, the necessary depth selection
is ensured through the analysis of an illumination pattern
in the focal plane. A static mask coordinates the rays
of the quickly activated light sources. As our metrology
system is not susceptible to problems with shock and
vibrations that affect traditional confocal microscopes,
it is able to consistently deliver first-class results. The
non-contact measurement system can also be used in an
industrial environment.
•R
obust, shock- and vibration-resistant,
maintenance-free
• Easy to operate
• Fast, cost-efficient analysis
• Depth resolution in the nanometer range
• No re-calibration or re-adjustment necessary
• Customized and miniaturized
Die patentierte confovis-Technik basiert auf strukturierter
LED-Beleuchtung. Anders als bei konventioneller Konfokalmikroskopie finden bei dem Abtastverfahren keine rotierende Pinhole-Disk oder andere bewegte mechanische
Bauteile wie Scanner-Spiegel Verwendung. Die notwendige akkurate Tiefenselektion wird stattdessen durch die
Abbildung und anschließende Auswertung einer Sequenz
von Beleuchtungsmustern in der Fokusebene gewährleistet. Hierfür ist eine statische Spezialmaske verantwortlich, welche die Strahlen der schnell geschalteten
Lichtquellen koordiniert. Ohne die typische Schock- und
Vibrationsanfälligkeit herkömmlicher Konfokalmikroskope
erzielen unsere Metrologiesysteme dadurch dauerhaft
erstklassige Ergebnisse. Die exzellenten Qualitäten des
berührungslosen Messverfahrens werden so auch im
industriellen Umfeld verfügbar.
•
•
•
•
•
•
robust, schock- und vibrationsresistent, wartungsfrei
einfache Handhabung
schnelle und kosteneffiziente Analyse
Tiefenauflösung im Nanometerbereich
keine Nachkalibrierung oder -justierung nötig
individualisierbar und miniaturisierbar
2
▶
1
4
▶
2
▶
3
▶
5
6
Key Elements
Funktionselemente
1
Illumination Mask / Grating
Beleuchtungsmaske
5
CCD Detector
CCD Detektor
2
LED Light Sources
LED-Lichtquellen
6
Imaging Beam Path
Abbildungsstrahlengang
3
Illumination Beam Path Transmission
Beleuchtungsstrahlengang Transmission
7
Objective Lens
Objektiv
4
Illumination Beam Path Reflection
Beleuchtungsstrahlengang Reflexion
8
Sample
Probe
7
8
onfoCa
Structure Depth
Strukturtiefe
1 mm
Geometry
Geometrie
100 µm
10 µm
1 µm
Roughness
Rauheit
100 nm
Evenness
Ebenheit
10 nm
1 nm
Structure Width
Strukturbreite
1 µm
10 µm
100 µm
A scanner for all tasks:
The ConfoCam accurately measures all
parameters of surface geometry.
Depending on the numerical aperture
of the objectives, in one reading, it can
reach a depth resolution of just a few
nanometers and image fields of up to
two mm. By joining multiple, neighboring image fields, called “stitching,” the
size of the surface scanned can easily be
expanded.
Ein Scanner für alle Aufgaben
Die ConfoCam misst zuverlässig alle
Parameter der Oberflächengeometrie.
Abhängig von der numerischen Apertur
des Objektivs erreicht sie dabei eine Tiefenauflösung von wenigen Nanometern
und Bildfeldgrößen von bis zu 2 mm in
einer Messung. Durch Aneinanderfügen
mehrerer benachbarter Messflächen,
auch Stitching genannt, kann die Größe
der abgetasteten Oberfläche auf einfache Weise erweitert werden.
1 mm
10 mm
100 mm
ConfoCam
Tactile
Measurement
Systems
Taktile Messsysteme
Stereomicroscopy
Stereomikroskopie
Topography
Measurement
Topografiemessung
am
THE MOST PRECISE
SURFACE MEASUREMENT
FEINSTE OBERFLÄCHENMESSUNG
confovis technology allows for the non-contact inspection of various surfaces. Its precise measurements allow
for extremely high three-dimensional resolution, up to the
low single-digit nanometer. In addition, a number of other
analysis functions are available, including the calculation
of material share/ portion and functional volume.
confovis technology allows for the efficient control of
functional surfaces and running surfaces during the entire
process of development and production.
Practical Example:
In mechanical engineering, relevant geometrical qualities
become quantifiable and comparable through precise inspection. The knowledge gained through inspection makes
it possible to optimize the running surfaces of machine
parts in the manufacturing process and to minimize
reject rates.
Further Applications:
•M
easurement of the strength of resistance lacquers in
the semi-conductor industry
• Measurement of structures on wafers
confovis-Technik ermöglicht die berührungsfreie Inspektion verschiedenster Oberflächen. Das präzise Messverfahren gewährleistet eine extrem hohe dreidimensionale
Auflösung bis in den unteren einstelligen Nanometerbereich. Zur weiteren Analyse stehen dem Anwender
zahlreiche Auswertungsfunktionen zur Verfügung – unter
anderem die Errechnung von Materialanteil und funktionalem Volumen.
confovis-Technologie erlaubt die effiziente Kontrolle von
Funktions- und Laufoberflächen während des gesamten
Entwicklungs- und Produktionsprozesses.
Anwendungsbeispiel:
Im Maschinenbau macht die präzise Oberflächeninspektion relevante geometrische Eigenschaften quantifizierund vergleichbar. Die gewonnenen Erkenntnisse ermöglichen es, die Laufeigenschaften von Maschinenteilen im
Herstellungsprozess zu optimieren und Ausschussraten
zu vermindern.
Weitere Anwendungen:
• Vermessung von Resistlackstärken in der
Halbleiterindustrie
• Vermessung von Strukturen auf Wafern
Measurement according to DIN ISO 4287 and 25 178 in the automotive industry and metal processing
Vermessung nach DIN ISO 4287 und 25178 in der Automobilindustrie und Metallverarbeitung
TOPOGRAPHY OF
SURFACE STRUCTURES
TOPOGRAFIE VON OBERFLÄCHENSTRUKTUREN
Silver conductor paths deposited Aerosol-Jet
printing on silicon surface producted at the
Mittels Aerosol-Jet-Print aufgetragene
Silberleitbahnen, hergestellt von
Measurement of cut angel of a laser with 50x Objective
Messung des Einschnittwinkels eines Lasers mit 50x Objektiv
ENAS
Our systems can be used to analyze even the smallest
structures. A high density of test points and an extremely
high depth resolution guarantee the quantifiability of
step height, angular dimensions, volumes, or the diameter
of specific structures on the surface.
Unsere Systeme analysieren selbst kleinste Strukturen.
Eine hohe Dichte an Prüfpunkten und eine extrem hohe
Tiefenauflösung gewährleisten die eindeutige Quantifizierbarkeit von Stufenhöhen, Winkelmaßen, Volumina oder
Durchmessern spezifischer Oberflächenstrukturen.
confovis technology makes it possible to control sensitive
production processes and to react during the process,
such as during the automatic analysis of structures.
confovis-Technologie ermöglicht es, sensible Fertigungsprozesse zu kontrollieren und prozessbegleitend einzugreifen - z.B. durch die automatische Auswertung von
Strukturen.
Practical Example:
Through the precise measurement of silver conductors on
solar panels, the regularity of the application of silver can
be controlled, and the cross-section of the silver contacts
can be optimized. It is therefore possible to minimize the
use of materials without compromising conductivity.
Further Applications:
Checking laser cutting angles while optimizing processes
for laser processing
Anwendungsbeispiel:
Durch die präzise Vermessung der Silberleitbahnen auf
Solarzellen können die Regelmäßigkeit des Silberauftrages kontrolliert und der Querschnitt der Silberkontakte
optimiert werden. Dadurch ist es möglich, den Materialverbrauch zu minimieren, ohne die Leitfähigkeit zu
beeinträchtigen.
Weitere Anwendungen:
Überprüfung von Lasereinschnittwinkeln bei der Optimierung von Prozessen der Laserbearbeitung
confovis technology can be used for the accurate
geometric analysis of small construction objects. Angles,
volumes, lengths, and areas of miniaturized building
components can be precisely measured using recognized
standards. Through the powerful automation functions
of our software, complex measurement processes and
their statistical evaluation are unproblematic during
production.
With confovis, the control and quality assurance of
microgeometries is simple, secure, and time-saving.
Practical Example:
The micro-electro-mechanical systems (MEMS) function
is made up of components precise to within a few
micrometers. With our technology, the measurements of
sensitive construction elements can be captured, without
touching the object, in all dimensions.
Further Applications:
The analysis of microstructures after electroplating
Quality control in the production of microlenses
THE MEASUREMENT OF
MICROGEOMETRIES
VERMESSUNG VON MIKROGEOMETRIEN
Die Inspektion mit confovis-Technik erlaubt die sichere geometrische Analyse kleinster Bauformen. Winkel,
Volumina, Strecken und Flächen miniaturisierter Bauteile
werden höchst präzise nach rückführbaren Standards
vermessen. Durch die leistungsfähigen Automatisierungsfunktionen unserer Software sind selbst komplexe
Messabläufe an verschiedenen Probenorten und deren
statistische Auswertung während der Herstellung problemlos möglich.
Die Kontrolle und Qualitätssicherung von Mikrogeometrien erfolgt mit confovis einfach, sicher und zeitsparend.
Anwendungsbeispiel:
Die Funktion mikro-elektro-mechanischer Systeme
(MEMS) beruht auf Komponenten, die oft nur Ausdehnungen von wenigen Mikrometern aufweisen. Mit unserer
Technik lassen sich die Abmessungen dieser sensiblen
Bauteile berührungsfrei in allen Dimensionen erfassen.
Weitere Anwendungen:
Analyse von Mikrostrukturen nach Elektroplating
Qualitätssicherung in der Herstellung von Mikrolinsen
Analysis of microstructures and substrates by electroplating or
etching processes
Analyse von Mikrostrukturen und Substraten nach Elektroplating
oder Ätzprozessen
INNOVATIVE
TECHNOLOGY FOR
STANDARD AND
Custom Applications
INNOVATIVE TECHNIK FÜR STANDARD- UND
SPEZIALANWENDUNGEN
Our technology makes the optical analysis of surfaces
in industrial applications practicable. At the heart of this
technology is the efficient and robust ConfoCam.
The scanner module allows for three-dimensional analysis
of surfaces in the micrometer and nanometer range.
Unsere Technik macht die optische Oberflächenanalyse
praktikabel für industrielle Anwendungen. Ihr Herzstück
besteht in der leistungsfähigen und robusten ConfoCam.
Das Scanner-Modul ermöglicht die dreidimensionale Analyse von Oberflächen im Mikro- und Nanometerbereich.
ConfoCam Module
•R
obust scanning device for the optical analysis
of surfaces and profilometry
•C
ontrol of the focus position via step motor or
piezo motor
• Compatible with Nikon microscopes
• All systems are delivered with PC and ConfoViz
software (stereoscopic 3D display optional)
• Can simultaneously create a conventional 2D picture
for documentation and sample navigation
• Also available as an OEM module for system
integrators
ConfoCam-Modul
•robuste Scanneinheit zur optischen Oberflächenanalyse
und Profilometrie
•Steuerung der Fokusposition mittels Schrittmotor oder
Piezoantrieb
•kompatibel mit Nikon-Mikroskopen
•Auslieferung aller Systeme mit PC und ConfoViz-Software (3D-Stereodisplay optional)
•gleichzeitige Ausgabe eines konventionellen 2D-Bildes
zur Dokumentation und Probennavigation möglich
• auch als OEM-Modul für Systemintegratoren lieferbar
There are a number of different ways to integrate the
patented confovis technology into your measurement
processes.
Je nach Anforderung und strukturellen Gegebenheiten
bestehen verschiedene Möglichkeiten, die patentierte
confovis-Technologie in Ihre Messroutinen zu integrieren.
TURN-KEY SYSTEMS
Komplettsysteme
Complete System with
High-End Wafer Microscope
Komplettsystem mit hochwertigem Wafer-Mikroskop
individual systems
Individuelle systeme
CONFOCAM
C 101 SYSTEM
L300 N
Complete System with
High-End Wafer Microscope
Komplettsystem mit hochwertigem Wafer-Mikroskop
Granite Bridges Flexible Industry Solutions Microscopes
Granit-Brücken Flexible Industrielösungen Mikroskope
L200 N
Complete System with
High-End Microscope
Komplettsystem mit
hochwertigem Mikroskop
LV150
Complete and Individual Systems:
We manufacture high-performance standard and
customized systems for the highly precise analysis of
surfaces.
There are standard systems available that are configured
for the accurate quantitative measurement of surfaces.
They are based on the Nikon LV150 (for general laboratory use), the Nikon L200N (for the inspection of wafers
of up to 200 mm in the semi-conductor industry), or the
larger Nikon L300N (for wafers up to 300 mm).
with additional solutions for sample positioning (such
as motorized microscope sample positioning) and highly
precise optical encoder systems.
Expansion Module:
The ConfoCam is also available as a separate add-on kit
for your current microscope. It can easily be integrated
via the camera port.
For special use, such as work with large sample heights,
we offer individual solutions, also using microscopes and
industrial components by Nikon. They can be combined
For manufacturers of individualized measurement systems, the ConfoCam is available as an OEM module for
the construction of proprietary systems. To control the
hardware functions of the ConfoCam, it comes with an
easily integrated, high-performance library (DLL for Windows 7, 64-bit).
Komplett- und individelle Systeme:
Wir fertigen leistungsfähige Standard- und Individualsysteme zur hochgenauen Oberflächenanalyse.
weiteren Lösungen zur Probenpositionierung (z.B. motorischen Mirkoskoptischen) und hochgenauen optischen
Encodersystemen.
Standardmäßig stehen Ihnen Komplettsysteme zur Verfügung, welche für die akkurate quantitative Oberflächenvermessung konfiguriert sind. Sie basieren auf dem Nikon
LV150 (für allgemeine Laboranwendungen), dem Nikon
L200N (für die Inspektion von Wafern bis 200 mm in der
Halbleiterindustrie) oder dem größeren Nikon L300N (für
Wafer bis 300 mm).
Für spezielle Anwendungen, wie etwa die Arbeit mit großen Probenhöhen, bieten wir Ihnen individuelle Lösungen,
ebenfalls basierend auf Mikroskopen und industriellen
Komponenten von Nikon. Sie sind kombinierbar mit
Erweiterungsmodul:
Die ConfoCam ist auch als separater Nachrüstsatz für Ihr
vorhandenes Mikroskop erhältlich. Ihre Einbindung erfolgt
einfach über den Kameraport.
Herstellern individualisierter Messsysteme steht die
ConfoCam als OEM-Modul für den Aufbau eigener Systeme zur Verfügung. Im Lieferumfang enthalten ist eine
leistungsfähige und einfach zu integrierende Bibliothek
(DLL für Windows 7, 64 Bit) zur Steuerung der HardwareFunktionen der ConfoCam.
ACCURATE IN EVERY
ENVIRONMENT
AKKURAT IN JEDER UMGEBUNG
C
Unsere Technik arbeitet absolut zuverlässig auch in
rauer Umgebung. In der ConfoCam kommen keine
schwenkbaren Spiegel oder Pinhole-Disks zum Einsatz.
Typische Einflüsse des fertigungsnahen Umfelds, wie
Vibration oder Staub, haben daher eine wesentlich
geringere Einwirkung auf die Messung, als dies bei mechanischen Abtastsystemen der Fall ist. Der Verzicht
auf bewegliche Teile gewährt außerdem eine hohe
Lebensdauer und Wartungsfreiheit.
Measurement of wafer in industrial enviroment
Wafermessung in Industrieumgebung
Our technology is reliable, even in harsh environments.
There are no pivoting mirrors or pinhole disks in the
ConfoCam. With a ConfoCam, typical influences of a
production environment, such as vibrations or dust,
have a much lower effect on measurement than they
would on a mechanical scanning system.
confovis technology allows for reliable inspection during
production. The compact design and individualized
system solutions allow for its simple integration into
demanding environments. Consistent, precise, and costefficient control over all steps of your development and
production process is therefore guaranteed.
Dadurch ermöglicht confovis-Technologie die zuverlässige
Inspektion direkt in der Produktion. Das kompakte Design
und individualisierte Systemlösungen erlauben die einfache Integration selbst in anspruchsvollste Umgebungen.
Eine stetige, präzise und kosteneffiziente Kontrolle aller
Schritte Ihres Entwicklungs- und Produktionsprozesses
ist somit gewährleistet.
ConfoC
Measurement is very fast; with a high lateral and depth
resolution, a typical scan, including processing, is completed in less than half a minute. The software then
converts the stack of images to a 3D image, available to
the user directly after the optical scan.
The new scanning procedure reduces idle time caused
by complex sample preparations or long inspection
times. Because it is easier to react to critical results, the
number of rejects can be reduced and idle time can be
minimized.
Die Vermessung erfolgt sehr schnell. Mit einer hohen
Lateral- und Tiefenauflösung benötigt die ConfoCam für
einen typischen Oberflächenscan weniger als eine halbe
Minute. Der Bildstapel wird von der Software zu einem
3D-Bild verrechnet, das dem Anwender direkt nach der
optischen Abtastung zur Verfügung steht.
Das neuartige Messverfahren reduziert Leerlaufzeiten,
die durch aufwendige Probenvorbereitungen oder eine
lange Inspektionsdauer verursacht werden. Aufgrund der
Möglichkeit einer unmittelbaren und gezielten Reaktion
auf kritische Ergebnisse können Ausschuss reduziert und
Standzeiten minimiert werden.
DIRECT MEASUREMENT,
FAST RESULTS
DIREKTE MESSUNG, SCHNELLE ERGEBNISSE
POWERFUL
SOFTWARE
LEISTUNGSFÄHIGE SOFTWARE
Die Software ConfoViz ist ein Benutzerinterface
für Windows. Sie ist in einer Standardversion und
als ConfoViz pro zur Oberflächenanalyse basierend
auf MountainsMap® erhältlich. Durch die einfache
Bedienung, ein immens breites Funktionsspektrum
und die umfassende Standardisierung aller Applikationen ist ConfoViz pro optimal für den industriellen
Einsatz geeignet.
ConfoViz software is a user interface for Windows.
Designed for the analysis of surfaces and based on
MountainsMap®, it is available as a standard version
as well as in a “professional” edition. Through its
ease of use, wide variety of functions, and comprehensive standardization of all functions, ConfoViz
pro is optimal for industrial use.
Die Software bietet Ihnen umfassende Darstellungsfunktionen vom Höhenprofil bis zum schwenkbaren 3DEchtbild. Sie erstellt standardisierte Reports auf Knopfdruck und erlaubt Ihnen eine integrative und interaktive
Betrachtung multipler Datensätze.
Oberflächen lassen sich hinsichtlich ihrer räumlichen und
funktionalen Eigenschaften und unter Einbeziehung der
Faktoren Zeit, Druck, Temperatur o.a. in bis zu vier Dimensionen analysieren. Komplexe Aufgaben können dabei voll
automatisiert vollzogen werden.
Für die Vergleichbarkeit der Ergebnisse sorgt die Berücksichtigung der neuesten internationalen und nationalen
Standards zur Oberflächenanalyse, unter anderem von
ISO 25178, ISO 4287, ISO/TS 16610 und anderen internationalen Normen.
The software offers a comprehensive display function,
from height profile to a swiveling 3D image. It creates
standardized reports at the push of a button and allows
for an integrative and interactive observation of multiple
data sets. Surfaces can be analyzed in terms of spatial
and functional characteristics, and take time, pressure,
temperature, and other characteristics in up to four
dimensions into consideration.
For the comparison of results, the latest national and
international standards for surface analysis are used,
including ISO 25178, ISO 4287, ISO/TS1660, and other
international norms.
ConfoViz software
ConfoViz Software
Wear Scar Analysis
Analyse einer Verschleißkalotte
The ConfoCam is designed to be a maximally efficient
instrument for the examination and analysis of surfaces
– an easy-to-use device that quickly delivers the best
results. For the optical process, no sample preparation is
needed; no special environmental conditions are necessary for the innovative confovis technology.
Measurement and analysis are simple, and require no
special training. The control of the focus position is easily
carried out with a joystick (step motor) or mouse wheel
(piezo motor). The model generated by the software can
be examined from every angle. For standardized measurements in production, there are automated testing and
analysis processes that can be initiated by the push of a
button.
Die ConfoCam ist als maximal effizientes Instrument
zur Untersuchung und Analyse von Oberflächen konzipiert – ein geringer Untersuchungsaufwand liefert schnell
beste Ergebnisse. So ist für das optische Verfahren keine
Probenvorbereitung nötig, die innovative confovis-Technik
macht die Herstellung spezieller Umgebungskonditionen
überflüssig.
Messung und Analyse erfolgen denkbar einfach und erfordern kein spezielles Training. Die Steuerung der Fokusposition wird bequem per Joystick (Schrittmotor) oder Mausrad (Piezoantrieb) vorgenommen. Das von der Software
errechnete Modell kann schließlich auf dem Bildschirm
aus jedem Winkel untersucht werden. Für standardisierte Messungen in der Produktion stehen automatisierte
Prüf- und Analyseverfahren zur Verfügung, die einfach per
Knopfdruck auszulösen sind.
HIGH FLEXIBILITY
HÖCHSTE FLEXIBILITÄT
Highest flexibility due
to Nikon platform
Höchste Flexibilität durch
Nikon-Plattformintegration
In addition to high-quality measurement, all functions
of an advanced microscopy platform are available to the
user through the use and seamless integration of high
performance microscope systems. Direct observation,
simple test navigation, and different contrast and lighting
possibilities, such as dark field, DIC, and polarization,
help to locate test sample details and increase comfort.
Because of this, there is a very short learning curve for
users who already have experience with conventional
microscopes.
Durch die Verwendung und nahtlose Integration leistungsfähiger Mikroskopiesysteme stehen dem Anwender – zusätzlich zur hohen Messqualität – alle Funktionen
einer ausgereiften Mikroskopieplattform zur Verfügung.
Direkte Okularbeobachtung, einfache Probennavigation
sowie verschiedene Kontrast- und Beleuchtungsverfahren
wie Dunkelfeld, DIC und Polarisation helfen beim Auffinden von Probendetails und erhöhen den Komfort. Nutzer,
die bereits Erfahrungen mit konventionellen Mikroskopen
besitzen, haben dadurch eine sehr kurze Einarbeitungszeit.
confovis GmbH is a high-tech company
specializing in optical testing and
surface measurement technology. It
was founded in 2009 in Jena, Germany,
a center of the optical industry. With
a solid basis of scientific know-how
and award-winning technical concepts,
the company manufactures the first
grid confocal measurement system
without moving components. Today,
confovis technology enables numerous
customers in a variety of industries to
take exact surface measurements in all
environments.
Die confovis GmbH ist ein HightechUnternehmen im Bereich der optischen
Prüf- und Oberflächenmesstechnik.
2009 wurde sie in Jena, einem Zentrum
optischer Industrien, gegründet. Aufbauend auf wissenschaftlich fundiertem
Know-how und einem preisgekrönten
technischen Konzept fertigt das Unternehmen seitdem die weltweit ersten
gitterkonfokalen Messsysteme ohne
bewegliche Bauteile. confovis-Technik
ermöglicht heute zahlreichen Kunden
verschiedener Industrien exakte Oberflächenmessungen in allen Umgebungen.
confovis GmbH
Hans-Knöll-Straße 6
07745 Jena
Germany
Telefon: +49 (0) 3641 527 4610
Telefax: +49 (0) 3641 527 4611
[email protected]
www.confovis.com

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