SID4シリーズ + KALEO ソフトウェア高空間分解能

シャックハルトマン型波面センサに満足されていないエンジニアの皆さまへ
改良型ハルトマンマスク搭載
高空間分解能波面センサ
単レンズ、組レンズ、各種レンズ波面特性評価に！
SID4
シリーズ +
KALEO
ソフトウェア
これまでの波面計測：シャックハルトマン型波面センサ
領域外で測定不可
センサ面
マイクロレンズアレイ
理想波面の集光点
乱れた波面の集光点
センサ上の 1 集光点の動き
そのコア技術は、マイクロレンズアレイ。それを透過した各ビームの移動方向 / 距離から波面を計測します。
だから・・・
1. 測定光は並行光のみ
並行光以外は、リレーレンズで並行光に補正が必要。
2. 低空間分解能 / 低ダイナミックレンジ
多くの画素をレンズごとに割り当てる必要あり。
そこで改良型ハルトマンマスク波面センサ：SID4 シリーズ
干渉画像
改良型ハルトマンマスク
センサ
入射ビーム
４方向にシアリング
波面マップ
SID4 波面センサ
それまでの煩わしさ、一度に解決 ! !
マイクロレンズアレイの代わりに回折マスクを使用。回折と干渉現象から入射ビームの波面を評価。
これまでと全く異なる手法で波面評価を行う、全く新しいこれからの波面センサです。
高分解能に位相をマップ表示
Phasics
広がりのあるビームもそのまま入射 OK!!
シャックハルトマン
高空間分解能でスムースな波面データ
■ レンズ透過後のビームも並行光に補正せずにそのまま測定
レンズアッセンブリ時にリレーレンズ必要なし
■ Zernike 係数を確認しながらリアルタイムにレンズアライメント OK
リアルタイムに Zernike 係数を確認、その場でレンズアライメントが可能
■ 組レンズの高精度アライメント用のセンサとして使用可能
波面計測から MTF の評価まで。レンズの総合評価がこれ一台で可能
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株式会社オプトサイエンス　www.optoscience.com
レンズ測定用ソフトウェア KALEO
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
① 測定ツール
④ 解析ツール
⑦ Intensity Map
⑧
② 絶対値測定 or 比較測定
⑤ Phase 情報
⑧ Phase Map
③ アライメント機能
⑥ レンズ透過後のビーム解析
Zernike 波面収差マップをクリックすると、即座に残差成分をマップと係数で表示
MTF, PSF も一台で測定可能。
収差の各係数を一度に表示。
波面特性を簡単に把握できます。
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SID4 シリーズ
SID4 シリーズは、紫外域から遠赤外域まで (190nm から 14µm) 全 9 種類 !!
センサ本体には、基本オペレーションソフトウェアが付属しています。
SID4 UV-HR
動作波長
センササイズ
動作波長
SID4 NIR
SID4 SWIR
190
- 400nm SID4
250UV
- 400nm 400
- 1100nm 400
- 1100nm
SID4
UV-HR
SID4
SID4
HR
1.5
- 1.6µm
SID4
NIR
0.4
- 1.7µm
SID4
SWIR
8.9×11.8mm
190 8.0×8.0mm
- 400nm
2507.4×7.4mm
- 400nm
4003.6×4.8mm
- 1100nm
400
- 1100nm
3.6×4.8mm
1.5
- 1.6µm
9.6×7.6mm
0.4 - 1.7µm
空間分解能
空間分解能
32µm
32µm
SID4 UV
29.6µm
29.6µm
SID4
SID4 HR
29.6µm
29.6µm
29.6µm
29.6µm
29.6µm
29.6µm
60µm
60µm
フォーマット
フォーマット
250 ×
250
250250×250
× 250
250×250
160
× 120
160×120
300
× 400
300×400
160
× 120
160×120
160 × 28
160×128
精度
10nm RMS
10nm RMS
15nm RMS
15nm RMS
15nm RMS
15nm
RMS
Phase分解能
0.5nm RMS
2nm RMS
< 2nm RMS
< 2nm RMS
11nm RMS
> 200µm
> 200µm
> 100µm
> 500µm
>100µm
精度
Phase分解能
ダイナミックレンジ
ダイナミックレンジ
RMS
10nm RMS 10nm
10nm
RMS
0.5nm RMS
> 200µm
2nm RMS
> 200µm
10nm RMS
< 2nm RMS
15nm RMS
> 100µm
< 2nm RMS
> 500µm
15nm RMS
11nm RMS
< 2nm RMS
< 2nm RMS
>100µm
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オプションソフトウェア
SID4
: レーザ特性測定ソフトウェア
レーザの波面を測定評価するソフトウェアです。
透過波面、反射波面、ゼルニケ係数、ファーフィールド、
ストレール比、M2、ビームプロファイル機能など。
ビーム特性を測定する機能がこの一台に集約されています。
OASys
: 補償光学ソフトウェア
高出力レーザから天文観測のイメージングまで、デフォーマブルミラーを
使用した波面（補償光学）をコントロールするソフトウェアです。
お手持ちのデフォーマブルミラーと SID4 を OASys ソフトウェア下で
一元的にコントロール。高品質の補償光学を実現します。
DENSITY
: ガス密度観測ソフトウェア
気体の流れ場で発生するシュリーレン現象の観測ソフトウェアです。
透明気体で領域により屈折率が異なる際に見られる現象を撮像、
解析するのに使用できます。
小型で光路上に直接設置できるのでシンプルな光学系で観測が可能です。
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