対応機種 PHEMOS-1000 THEMOS mini iPHEMOS-MP InSbHS カメラ C9985-05（発熱解析専用） ミクロ視野に加えて、マクロ視野における高感度観察を可能にした 新世代発熱解析専用カメラ！ 特長 高解像度かつ超高感度化を実現 ・ 高解像度：640 画素 × 512 画素 ・ 感度：従来比 2 倍以上 ( 当社従来 InSb カメラとの比較 ) 高速フレームレート 最大 2 kHz（Windowing 時）を実現 オプションのマクロレンズ 1× InSb カメラ用 A10159-10 と組み合わせることで マクロ視野におけるさらなる高感度計測を実現 用途 発熱解析 ・ 配線ショート箇所の特定 ・ 酸化膜リーク箇所の特定 ・ パワーデバイス電流集中箇所の特定 積層チップの故障箇所深さ位置特定（オプション） 温度計測機能（オプション） Failure Analysis Systems Option 測定例 ■ 目的 InSbHS カメラの Windowing 機能により、さらにフレームレートが高速になることで 感度が向上することを確認。 ■ 方法 同一光学系、同一サンプル・印加条件における SN を算出しました。 ■ 結果 ■ 結論 フレームレートを約 3 倍にすることで、SN 比で 1.7 倍感度向上を見込めることがわかりました。 製品構成 品名 型名 備考 InSbHS カメラ C9985-05 カメラ本体 カメラベース A11436-07 PHEMOS-1000 用取り付けベース カメラベース A11436-47 iPHEMOS-MP 用取り付けベース ” 詳細情報は、 半導体故障解析専用サイトから” ホトニクス 半導体故障解析装置 検索 ★ PHEMOS、THEMOSは、浜松ホトニクス（株）の登録商標です。 その他の記載商品名、ソフト名等は該当商品製造会社の商標または登録商標です。 ※本カタログの記載内容は2016年8月現在のものです。 本内容は改良のため予告なく変更する場合があります。 www.hamamatsu.com □ システム営業推進部 〒431-3196 浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 E-Mail [email protected] □ □ □ □ □ □ 仙台営業所 筑波営業所 東京営業所 中部営業所 大阪営業所 西日本営業所 TEL TEL TEL TEL TEL TEL (022)267-0121 (029)848-5080 (03)3436-0491 (053)459-1112 (06)6271-0441 (092)482-0390 FAX FAX FAX FAX FAX FAX (022)267-0135 (029)855-1135 (03)3433-6997 (053)459-1114 (06)6271-0450 (092)482-0550 Cat. No. SSMS0057J01 AUG/2016 HPK 最新情報や技術情報を掲載しています。 ぜひ、 アクセスしてください。
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