中古機ｶﾀﾛｸﾞ 表面活性化接合装置 VE08-10 装置概要 概要 メーカー 問合番号 製造年月 装置履歴 ： 基板活性化処理 並びに 加熱加重印加接合 一括処理装置 ： アユミ工業株式会社 ： RS15-2080 ： 2003年製 ： 研究開発用 装置初期仕様 装置構成 基板ｻｲｽﾞ 加熱温度 真空到達圧力 加重量 排気系 ｶﾞｽ系 ： ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ ＋ ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ室 ＋ ﾌﾟﾛｾｽﾁｬﾝﾊﾞｰ ： φ50 ・ φ75 （基板保持；静電ﾁｬｯｸ） ： MAX 500 ℃ ： 10E-6 Pa （ﾌﾞﾗﾝｸ 室温時） ： MAX 2000 kg ： ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ ； FT-2300W-W1N1 （三菱重工） ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ ； VOS100 （荏原製作所） ： Ar ・ N2 ※装置詳細仕様は、ｱﾙﾊﾞｯｸﾃｸﾉ株式会社ﾘｾｰﾙ本部までお問い合わせ下さい。
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