ｽﾗｲﾄﾞﾀｲﾄﾙなし - アルバックテクノ株式会社リセール本部

中古機ｶﾀﾛｸﾞ
スパッタ装置型式：C-7540HC
装置概要
メーカー
： ANELVA
問合番号： RS15-1026
製造年月： 1996年製
装置履歴： 2002年装置ﾘﾆｭｰｱﾙ履歴有り。ﾒﾀﾙ材料成膜機(Au,Cu,Ni)
装置初期仕様
内部治具：ｶﾙｰｾﾙ式9面体
排気系
：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ(CAP-120MarkⅡ)+油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ(ｱﾙｶﾃﾙ2063)
カソード：5ｲﾝﾁ×15ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×3元
ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC電源(PDC-087D)、RF電源(PRF-246(逆ｽﾊﾟｯﾀ用))
基板加熱：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ
ｽﾊﾟｯﾀｶﾞｽ：Ar 200sccm×1系統
操作
：ｼｰｹﾝｻｰでの自動/手動
※装置詳細仕様は、ｱﾙﾊﾞｯｸﾃｸﾉ株式会社ﾘｾｰﾙｾﾝﾀｰまでお問い合わせ下さい。

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