超高真空蒸着装置 Ｅ－４５０ＥＢ－Ｃ
装置概要
メーカー
：　島津製作所
問合番号 ：　ＲＳ０７－２６０７０Ａ
製造年月 ：　１９８８年製
装置状態 ：　ｶﾞﾗｽ基板へのAL等の金属膜成膜装置　装置初期仕様
装置構成 ： ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ内径φ450×H430mm
適用基板　： □22mm×t0.3mm　ｶﾞﾗｽ板9枚／ﾊﾞｯﾁ
排気系
： ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟUV202-6J(ﾀﾞｲｷﾝ製) ＋ 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟGDH-361（島津製)
蒸発源
： EBGUN SEG-T54（10cc×4点）5KW電源
その他
： 制御系更新必要