Keysight 16198A 底面電極 SMD テスト フィクスチャ ユーザーズガイド 注記 © Keysight Technologies, Inc. 2015 米国および国際著作権法の規定に基 づき、Keysight Technologies, Inc. に よる事前の同意と 書面による許可 なしに、本書の内容をいかなる手段 でも（電子的記憶および読み出し、 他言語への翻訳を含む）複製するこ とはできません。 商標表示 マニュアル・パーツ番号 16198-97010 版 第 2 版、2016 年 6 月 印刷：キーサイト・テクノロジー International Japan GK 兵庫県神戸市 東川崎町 1-3-3、日本 保証 本書の内容は「現状のまま」で提供 されており、改訂版では断りなく変 更される場合があります。また、 キーサイト・テクノロジーは、法律 の許す限りにおいて、本書およびこ こに記載されているすべての情報に 関して、特定用途への適合性や市場 商品力を、黙示的保証に限らず、一 切の明示的保証も黙示的保証もいた しません。キーサイトは本書または 本書に記載された情報の適用、実 行、使用に関連して生じるエラー、 間接的及び付随的損害について責任 を負いません。キーサイトとユーザ が別途に締結した書面による契約の 中で本書の情報に適用される保証条 件が、これらの条件と矛盾する場 合、別途契約の保証条件が優先され ます。 テクノロジーライセンス 本書トに記載されたハードウェア及 びソフトウェア製品は、ライセンス 契約条件に基づき提供されるもので あり、そのライセンス契約条件の範 囲でのみ使用し、または複製するこ とができます。 米国政府の権利 本ソフトウェアは連邦調達規則 （FAR）2.101 により定義される 「商用コンピュータソフトウェ ア」です。FAR12.212 及び 27.405-3 並びに国防総省調達規 則 (DFARS)227.7202 に従い、合 衆国政府は、民生用コンピュー タソフトウェアを、当該ソフト ウェアが通常公衆に提供される 場合と同様の条件で調達しま す。したがって、キーサイトは エンド・ユーザー・ライセンス 契約 (EULA) に記された自社の 標準的な商用ライセンス契約に 基づき、米国政府顧客に本ソフ トウェアを提供します。これは EULA によって具体化されてい ます。EULA のコピーは http://www.keysight.co.jp/find/sweula でご覧いただけます。EULA で 定められているライセンスは独 占的な権限を示すもので、これ によって米国政府には、ソフト ウェアの使用、変更、頒布およ び開示が許されます。EULA と そこに定めるライセンスは、 キーサイトが以下の行為その他 を行うことを要求するものでも 許容するものでもありません： (1) 通常は公衆に提供されていな い商用コンピュータソフトウェ アまたは商用コンピュータソフ トウェアのドキュメンテーショ ンに関する技術情報の提供；ま たは、(2) 商用コンピュータソフ トウェアもしくは商用コン ピュータソフトウェアのドキュ メンテーションの使用、改変、 複製、発表、実演、展示もしく は開示に関して通常公衆に提供 されている権利の範囲を超え た、米国政府への権利の開放そ の他の供与。EULA に定める要 件以外の更なる政府要件が課さ れることはないものとします。 ただし、それらの条件、権利ま たはライセンスの適用が、FAR 及び DFARS に定める商用コン ピュータソフトウェアの提供者 全員に対し明示的に要求され、 かつ、EULA の別の箇所に明記 されている場合はこの限りでは ありません。キーサイトは、本 ソフトウェアのアップデート、 改訂またはその他の改変を行う 義務を一切負わないものとしま す。FAR 2.101 で定義されてい るすべての技術データについて は、FAR 12.211 および 27.404.2、および DFARS 227.7102 に従い、米国政府は FAR 27.401 または DFAR 227.7103-5(c) で定義されている 制限された権限を超えない範囲 で調達します。これはすべての 技術データに適用されます。 安全に関する注意 事項 注意の指示は危険を表します。ここ に示す操作手順や規則などを正しく 実行または遵守しないと、製品の損 傷または重要なデータの損失を招く おそれがあります。指定された条件 を完全に理解し、それが満たされて いることを確認するまで、注意の指 示より先に進まないでください。 警告の指示は危険を表します。ここ に示す操作手順や規則などを正しく 実行または遵守しないと、怪我また は死亡のおそれがあります。指定さ れた条件を完全に理解し、それが満 たされていることを確認するまで、 警告の指示より先に進まないでくだ さい。 目次 目次 1. インスタレーションガイド 開梱時の検査 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1 対応測定器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1 コンタクトボードの選択と変更 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2 左側からのアプローチ用の構成 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3 16198A の測定器への接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4 測定器のセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5 2. 製品の概要 製品の概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1 仕様と補足性能特性 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3 一般情報 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3 追加誤差 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3 3. 使用方法 測定の流れ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1 測定器でのフィクスチャのモデル番号の選択 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1 フィクスチャ補正の実行 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ショート補正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . オープン補正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 測定 DUT の接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2 3-2 3-5 3-6 4. ユーザーメンテナンス 概要. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ユーザーメンテナンスの必要性 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ユーザーメンテナンス項目 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 耐用年数のある部品の交換 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . クリーニング . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 摩耗チェック . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1 4-1 4-2 4-2 4-3 4-3 部品の交換 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5 交換部品 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5 交換手順 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5 Keysight 16198A ユーザーズガイド 3 Keysight 16198A 底面電極 SMD テストフィクスチャ ユーザーズガイド 1 インスタレーションガイド この章では、16198A SMD テストフィクスチャがお手元に届いてから使用 を開始するまでに必要な作業について説明します。 開梱時の検査 製品がお手元に届きましたら、輸送用カートンに損傷がないか確認してく ださい。もしも輸送用カートンあるいは梱包材に損傷がある場合は、内容 品が揃っていることと、機械的 / 電気的に正常に動作することが確認され るまで、輸送用カートンおよび梱包材を保存しておいてください。箱の中 の内容品リストに記載されているすべての内容品が揃っているかどうか確 認してください。内容品が不足している場合や機械的な損傷あるいは欠陥 がある場合は、最寄りのキーサイト・テクノロジー、セールス・オフィス にご連絡ください。輸送用カートンに損傷があったり梱包材が異常に変形 している場合は、当社だけでなく搬送会社にもご連絡ください。搬送会社 に検査を依頼するために、梱包材はすべてそのままの状態で保管しておい てください。 対応測定器 16198A テストフィクスチャは、E4982A LCR メータ、E4991B インピーダン ス・アナライザ、E5061B ENA ネットワーク・アナライザ（オプション 005 搭載）で使用できます。 このフィクスチャの補正は、他のフィクスチャで通常使用されている電 気長補正ではありません。対応測定器のファームウェアの機能によって、 特殊な手法でフィクスチャの誤差成分を補正します。そのため、対応測 定器は上記に限定されます。 1- 1 1- インスタレーションガイド コンタクトボードの選択と変更 コンタクトボードの選択と変更 測定する DUT の形状に合ったコンタクトボードを選択してフィクスチャの コンタクトボードと交換してください。 手順 ステップ 1. 表 2-2 （ページ）2-3 を参照して、DUT が適合サイズに合っているかどうか 確認してください。 ステップ 2. 測定する DUT の形状に合ったコンタクトボードを選択してください。 DUT サイズ 高さ キーサイトのパーツ番号 0201 ＜ 0.15 mm 16198-66601（70 μm） 0201 ＞ 0.12 mm 16198-66602（100 μm） 0402 すべて 16198-66603（100 μm） ステップ 3. DUT カバーを留めている 4 本のネジ（図 1-1 の 1）を緩めて外し、DUT カ バーを取り外します。 図 1-1 コンタクトボードの交換 ステップ 4. コンタクトボードを留めている 4 本のネジ（図 1-1 の 2）を緩めて外し、 コンタクトボードを取り外します。 1-2 Keysight 16198A ユーザーズガイド インスタレーションガイド 左側からのアプローチ用の構成 ステップ 5. フィクスチャのコンタクトボード（図 1-1 の 3）を選択したコンタクトボー ドと交換します。 ステップ 6. コンタクトボードを留める 4 本のネジ (HEX-Socket M2) を締めます。締付 けトルクは 0.17 Nm(1.5 in-lb) です。 ステップ 7. DUT カバーを留める 4 本のネジ (HEX-Socket M2) を締めます。締付けトル クは 0.17 Nm(1.5 in-lb) です。 左側からのアプローチ用の構成 DUT を左側から挿入する場合は、次の構成に変更した方が使いやすくなり ます。 ステップ 1. ローダーを留めている 2 本のネジを外します。 ステップ 2. 図 1-2 のようにローダーの位置を変更します。 図 1-2 ローダーの位置 ステップ 3. ローダーを留める 2 本のネジ (HEX-Socket M2) を取り付けます。締付けト ルクは 0.17 Nm (1.5 in-lb) です。 ステップ 4. ハンドルを留めている 1 本のネジ (HEX-Socket M2) を外します。 ステップ 5. 図 1-3 のようにハンドルの位置を変更します。 Keysight 16198A ユーザーズガイド 1-3 1- インスタレーションガイド 16198A の測定器への接続 ステップ 6. 図 1-3 のようにコネクタボードの位置を回して、DUT を左側から挿入でき るようにします。 図 1-3 左側からのアプローチ用の構成 16198A の測定器への接続 テストフィクスチャをアダプター上に取り付ける一般的な手順を以下に示 します。 ステップ 1. 16198A を接続する前に、アナライザの 7 mm コネクタで校正を実行してく ださい。使用している測定器の操作については各測定器のヘルプマニュア ルを参照してください。 ステップ 2. アダプタの 7 mm コネクタを上から見て反時計方向に回して、接続スリー ブを完全に埋め込んでください。 ステップ 3. テストフィクスチャをアダプタのマウントポストと 7 mm コネクタに合わ せて静かに置きます。 ステップ 4. アダプタの 7 mm コネクタを上から見て反時計方向に回して、テストフィ クスチャ下部のコネクタに接続します。 1-4 Keysight 16198A ユーザーズガイド インスタレーションガイド 測定器のセットアップ 測定器のセットアップ DUT が非常に小さい場合は、DUT を配置するために拡大鏡が必要です。適 切な拡大鏡を準備してください。 図 1-4 E4991B と拡大鏡のセットアップ例 Keysight 16198A ユーザーズガイド 1-5 Keysight 16198A 底面電極 SMD テストフィクスチャ ユーザーズガイド 2 製品の概要 製品の概要 16198A は、チップ部品測定用のテストフィクスチャです。チップタイプの コンデンサー、インダクターなどを高い精度と測定再現性で測定すること ができます。16198A は 3 GHz までの測定周波数に対応しています。 16198A は、コンタクトボードの種類によって 0402 サイズと 0201 サイズの DUT を測定できます。 図 2-1 電極の構造 中心導体からの電流は、コンタクトボード上の電極を介して DUT（被試験 デバイス）に流れ、外部導体へ戻ります。 2- 1 2- 製品の概要 製品の概要 図 2-2 各部の名称 表 2-1 2-2 各部の名称と役割 名称 役割 コンタクトボード 表面に電極を配置します。DUT サイズによってさまざ まな種類の電極を使用できます。 おもり DUT に接触する圧力を調整するおもりです。 ローダー DUT 上にプッシャーをロード／アンロードします。 ローダーストッパー ローダーの位置を固定します。 プッシャー DUT を電極に押し付けます。 DUT カバー コンタクトボードから DUT が離れないように押さえ ます。 Keysight 16198A ユーザーズガイド 製品の概要 仕様と補足性能特性 仕様と補足性能特性 一般情報 表 2-2 一般情報 仕様 一般情報 適合 DUT タイプ 底面電極付きの表面実装デバイス 適合 DUT サイズ 0201：幅 0.1 ～ 0.125 mm× 長さ 2 mm ～ 0.25mm× 高さ 0.1 ～ 0.2 mm 0402：幅 0.18 ～ 0.22 mm× 長さ 0.38 mm ～ 0.42 mm× 高さ 0.11 ～ 0.22 mm 周波数 DC ～ 3 GHz 最大電圧 最大 ±40 V ピーク（ AC ＋ DC） 最大電流 5.0 A 追加誤差の適用温度 23±5 ℃ 動作環境 温度－ 55 ～ 85 ℃、湿度 15 % ～ 95 %RH （湿球温度＜ 40 ℃） 保管環境 温度－ 55 ～ 85 ℃、湿度 15 % ～ 90 %RH （湿球温度＜ 60 ℃） 寸法 幅 145 mm× 奥行き 80 mm× 高さ 110 mm 質量 870 g（おもりが 300 g の場合） 安全規格 IEC 61010-1:2001 / EN 61010-1:2001 カナダ：CAN / CSA C22.2 No. 1010.1-92 インストール／過電圧カテゴリー II 汚染度 2 屋内用 圧力用おもりの質量範囲 (15)a 30 ～ 330 g ショートバー ショート：0.19 nH オープンオフセット 0（底面電極タイプ）～－ 7.5 fF（5 本の側 面電極タイプ） a. おもりホルダーを取り外した場合（特殊な場合） 追加誤差 追加誤差は、以下のように計算します。 Keysight 16198A ユーザーズガイド 2-3 2- 製品の概要 仕様と補足性能特性 |Z| 測定の場合 インピーダンス追加誤差 Ze[%] は、以下の式に表内の値を代入して計算し ます。 Ze [%] ＝ ±｛A ＋（Zs/Zx ＋ Yo×Zx）×100｝ A [%]：テストフィクスチャの比例誤差 [%] Yo [S]：テストフィクスチャのオープン再現性 [S] Zs [Ω]：テストフィクスチャのショート再現性 [Ω] Zx [Ω]：DUT のインピーダンス測定値 [Ω] 誤差成分 計算式 比例誤差 1.2×f (GHz) ^2 [%] オフセットショート誤差 60 ＋ 125×f(GHz) [mΩ] オフセットオープン誤差 5 ＋ 40×f(GHz) [μS] 図 2-3 追加誤差 2-4 Keysight 16198A ユーザーズガイド Keysight 16198A 底面電極 SMD テストフィクスチャ ユーザーズガイド 3 使用方法 この章では、16198A を使用するときの測定の準備とフィクスチャ補正、 DUT の接続と測定方法について解説します。 測定の流れ 次の手順に従って 16198A で DUT の測定を実行します。測定の前に、測定 器で校正を実行してからフィクスチャを配置します。“16198A の測定器へ の接続 ” （ページ）1-4 を参照してください。 手順 ステップ 1. 測定器でのフィクスチャのモデル番号の選択 使用している測定器のフィクスチャ選択ソフトキーから 16198A を選択し ます。 ステップ 2. フィクスチャ補正の実行 オープン補正用のデータとショート補正用のデータを測定します。 ステップ 3. DUT の接続と測定 DUT を接続して測定を実行します 選択できるフィクスチャのモデル番号とフィクスチャ補正は、使用する測 定器によって異なります。使用している測定器の操作については各測定器 のヘルプマニュアルを参照してください。 測定器でのフィクスチャのモデル番号の選択 使用している測定器のフィクスチャ選択ソフトキーから 16198A を選択しま す。測定器の操作手順についてはヘルプマニュアルを参照してください。 3- 1 3- 使用方法 フィクスチャ補正の実行 フィクスチャ補正の実行 より正確な測定を実行するには、測定手順を開始する前に、フィクスチャ を補正する必要があります。16198A 用に、オープン補正データとショート 補正データの測定を実行してください。 ショート補正データの測定 ステップ 1. 図 3-1, “ おもりのセット .” のように、必要なおもりをセットします。 ショートバー用に推奨されるおもりは 200 ～ 300 g です。200 g 未満のおも りを使用すると不正確な測定になる可能性があります。 図 3-1 おもりのセット ステップ 2. ショートバーをコンタクトボードの適切な位置に置きます。 図 3-2, “ ショートバーの配置 .” のように、ショートバーの上側には 2 本の線があります。 3-2 Keysight 16198A ユーザーズガイド 使用方法 フィクスチャ補正の実行 図 3-2 ショートバーの配置 図 3-3 DUT/ ショートバーの配置例 ステップ 3. 図 3-4, “ クローズ状態 .” のように、フィクスチャをショート状態にセット します。 Keysight 16198A ユーザーズガイド 3-3 3- 使用方法 フィクスチャ補正の実行 図 3-4 クローズ状態 ステップ 4. 図 3-6, “ プッシャー .” のように、プッシャーがショートバーを適切に押さ えているかどうか確認してください。 図 3-5 3-4 プッシャーのセットアップ Keysight 16198A ユーザーズガイド 使用方法 フィクスチャ補正の実行 図 3-6 プッシャー ステップ 5. 使用している測定器のヘルプマニュアルに従って、ショート補正用データ の測定を実行します。 オープン補正データの測定 ステップ 1. 図 3-7, “ オープン状態 .” のように、フィクスチャをオープン状態にセット します。 Keysight 16198A ユーザーズガイド 3-5 3- 使用方法 フィクスチャ補正の実行 図 3-7 オープン状態 ステップ 2. 使用している測定器のヘルプマニュアルに従って、オープン補正用データ の測定を実行します。 測定 DUT の接続 ステップ 1. DUT の測定に必要なおもりをセットします。適切なおもりは DUT によって 異なります。おもりは、安定した測定を実行するために十分な圧力をかけ られる程度で、かつ、DUT が破損しない程度である必要があります。 ステップ 2. 図 3-3, “DUT/ ショートバーの配置例 .” のように、コンタクトボードに DUT をセットします。 ステップ 3. 図 3-4, “ クローズ状態 .” のように、フィクスチャをクローズ状態にセット します。 ステップ 4. 図 3-6, “ プッシャー .” のように、プッシャーが DUT を適切に押さえている かどうか確認してください。 ステップ 5. 使用している測定器のヘルプマニュアルに従って、測定を実行します。 3-6 Keysight 16198A ユーザーズガイド Keysight 16198A 底面電極 SMD テストフィクスチャ ユーザーズガイド 4 ユーザーメンテナンス この章では、16198A のメンテナンス手順を説明します。 概要 ユーザーメンテナンスの必要性 フィクスチャの測定性能は、測定を繰り返すたびに少しずつ劣化します。 これは、はんだなどによる接触部の汚れや、繰り返し使用することによっ て生じる機械的な摩耗／変形などが原因です。継続的に良好な測定結果を 得るためには、接触部を常に良好な状態に保ち、摩耗や変形が発生してい ない状態で適切な測定を実行することが重要となります。これを実現する には、フィクスチャをモニターし、さまざまな項目のメンテナンスを実行 する必要があります。 コンタクトボードとショートバーは市販品です。これらはフィクスチャの 構成部品の中でも測定結果に最も大きな影響を及ぼす傾向があるものです。 DUT を交換するたびに、少しずつ電極が劣化します。ショートバーはフィ クスチャ補正中にゼロ標準を作成するために使用する部品なので、ショー トバーに変形や汚れがあると、直接、測定結果に影響を及ぼします。この 章では、コンタクトボードとショートバーを中心に、ユーザーメンテナン スの全般について説明します。 4- 1 4- ユーザーメンテナンス 概要 ユーザーメンテナンス項目 項目 周波数 クリーニング 1 日数回 コンタクトボードの摩耗チェック コンタクトボードが摩耗していると、 測定結果が正確ではなくなります。 ショートバーの摩耗チェック ショートバーが摩耗していると、測定 結果が正確ではなくなります。 部品の交換 摩耗チェックが不合格のとき 耐用年数のある部品の交換 表 4-1 耐用年数の目安 部品 交換時期の目安 コンタクトボード 600 ～ 1,200 回の DUT 交換 ショートバー 1,000 回のショートバー交換 プッシャー 300,000 回の測定 APC 3.5 mm コネクタ 500 回のコンタクトボード交換 耐用年数は使用環境によっても変化します。これらのデータは代表値です。 表 4-2 4-2 市販部品 部品 モデル番号 コンタクトボード（Guide PCA 0201、70 μm）、1 個 19198AU-101 コンタクトボード（Guide PCA 0201、100 μm） 、1 個 16198AU-102 コンタクトボード（Guide PCA 0201、70 μm） 、8 個 16198AU-103 コンタクトボード（Guide PCA 0201、100 μm）、8 個 16198AU-104 コンタクトボード（Guide PCA 0402、100 μm） 、1 個 16198AU-201 コンタクトボード（Guide PCA 0402、100 μm） 、8 個 16198AU-202 ショートバー 0201、5 本 16198AU-110 ショートバー 0402、5 本 16198AU-210 Keysight 16198A ユーザーズガイド ユーザーメンテナンス 概要 クリーニング コンタクトボードやショートバーが汚れると、測定確度と再現性が低下し ます。確度の高い測定を行うには、必ず定期的にクリーニングを行ってく ださい、。 クリーニングには専用のクリーニング棒（キーサイトパーツ番号： 5182-7586）を使用してください。クリーニング棒の白いラバー部分で、コ ンタクトボードとショートバーのすべての接触面の汚れを取り除きます。 汚れを取り除く際には、部品を削ったり破損したりしないように注意して ください。 クリーニング棒で汚れを取り除けない場合は、綿棒とイソプロピルアル コールを使用してクリーニングしてください。 クリーニング棒にはアルコールをつけないでください。 摩耗チェック 摩耗チェックによりフィクスチャの劣化の状態を把握して、必要な測定確 度が得られているかどうかを確認します。 オープン／ショート測定チェック ステップ 1. 使用している測定器のフィクスチャ選択ソフトキーから 16198A を選択し ます。測定器の操作手順についてはヘルプマニュアルを参照してください。 ステップ 2. 測定パラメータとして Ls-Rs を選択します。 ステップ 3. スタート周波数を 10 MHz に、ストップ周波数を 1 GHz にそれぞれ設定し ます。 ステップ 4. 図 3-1, “ おもりのセット .” のように、200 g ～ 300 g のおもりを ステップ 5. ショートバーをコンタクトボードの適切な位置に置きます。 図 3-2, “ ショートバーの配置 .” のように、ショートバーの上側には 2 本の 線があります。 ステップ 6. 図 3-4, “ クローズ状態 .” のように、フィクスチャをショート状態にセット します。 ステップ 7. 図 3-6, “ プッシャー .” のように、プッシャーがショートバーを適切に押さ えているかどうか確認してください。 ステップ 8. 使用している測定器のヘルプマニュアルに従って、ショートバーのデータ を測定します。 ステップ 9. 図 3-7, “ オープン状態 .” のように、フィクスチャをオープン状態にセット します。 ステップ 10. ショートバーをコンタクトバーから取り外します。 Keysight 16198A ユーザーズガイド 4-3 4- ユーザーメンテナンス 概要 ステップ 11. オープン状態のデータの測定を実行します。 パラメータ 周波数 下限リミット 上限リミット Ls （ショート） 10 MHz 50 pH 1250 pH Rs（ショート） 10 MHz － 5 mΩ 40 mΩ Ls （ショート） 1 GHz － 50 pH 650 pH Rs（ショート） 1 GHz － 30 mΩ 575 mΩ Cp（オープン） 10 MHz － 200 fF 200 fF G（オープン） 10 MHz - 20 µS 20 μS Cp（オープン） 1 GHz － 200 fF 200 fF G（オープン） 1 GHz -35 μS 70 μS ショート再現性チェック ステップ 1. 使用している測定器のフィクスチャ選択ソフトキーから 16198A を選択し ます。測定器の操作手順についてはヘルプマニュアルを参照してください。 ステップ 2. 測定パラメータとして Ls-Rs を選択します。 ステップ 3. スタート周波数を 10 MHz に、ストップ周波数を 1 GHz にそれぞれ設定し ます。 ステップ 4. 図 3-1, “ おもりのセット .” のように、200 g ～ 300 g のおもりを ステップ 5. ショートバーをコンタクトボードの適切な位置に置きます。 図 3-2, “ ショートバーの配置 .” のように、ショートバーの上側には 2 本の線があります。 ステップ 6. 図 3-4, “ クローズ状態 .” のように、フィクスチャをショート状態にセット します。 ステップ 7. 図 3-6, “ プッシャー .” のように、プッシャーがショートバーを適切に押さ えているかどうか確認してください。 ステップ 8. 使用している測定器のヘルプマニュアルに従って、ショートバーのデータ を測定します。 ステップ 9. Step 5 ～ 8 を繰り返します。ショートバーを一度取り外してから、再度、 置いて、再現性を測定します。 4-4 パラメータ 周波数 2 回の測定の差 Rs（ショート） 10 MHz 20 mΩ 未満 Rs（ショート） 1 GHz 300 mΩ 未満 Keysight 16198A ユーザーズガイド ユーザーメンテナンス 部品の交換 部品の交換 この章では、部品の交換について説明します。 交換部品 ユーザーが自分で交換できるのは以下の 3 つの部品です。他の部品が破損 した場合には、修理のためにキーサイトのサービスセンターにユニットを 送ってください。 表 4-3 交換部品 部品 モジュール／パーツ番号 プッシャーユニット 16198AU-540 DUT カバーアセンブリ 16198AU-544 APC 3.5 mm コネクタ 16198AU-545 交換手順 プッシャーの交換 ステップ 1. プッシャーを留めている 2 本のネジを取り外します（図 4-1）。 ステップ 2. プッシャーを交換します。 ステップ 3. プッシャーを留める 2 本のネジ (HEX-Socket M2) を取り付けます。締付け トルクは 0.17 Nm (1.5 in-lb) です。 Keysight 16198A ユーザーズガイド 4-5 4- ユーザーメンテナンス 部品の交換 図 4-1 プッシャーの交換 APC 3.5 mm の交換 ステップ 1. 2 本のネジ (HEX-Socket M2) をコンタクト・ボード・ベースから取り外し ます。 （図 4-2 の 1） ステップ 2. 2 本のネジ (HEX-Socket M2) を外して側面パネルを取り外します。 （図 4-2 の 2） ステップ 3. 3.5 mm 接続ナットを時計回りの方向に緩めて APC 3.5 mm コネクタを外し ます。 （図 4-2 の 3） ステップ 4. 新しい APC 3.5 mm コネクタの穴に固定ピンを通します。 ステップ 5. APC 3.5 mm コネクタをコネクタ・ボード・ベースに取り付けます。締付け トルクは 0.9 Nm (8 in-lb)、方向は反時計回りです。 ステップ 6. 側面パネルを留める 2 本のネジを取り付けます。締付けトルクは 0.17 Nm (1.5 in-lb) です。 ステップ 7. コネクタ・ボード・ベースを留める 2 本のネジを取り付けます。締付けト ルクは 0.17 Nm (1.5 in-lb) です。 4-6 Keysight 16198A ユーザーズガイド ユーザーメンテナンス 部品の交換 図 4-2 APC 3.5 mm コネクタの交換 Keysight 16198A ユーザーズガイド 4-7 この情報は予告なしに変更される場合があります。 © キーサイト・テクノロジー 2016 2016 年 6 月 *16198-97010* 16198-97010 www.keysight.co.jp
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