小型チェンバー試作状況 神戸大学 越智 2015/5/14 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 1 Aging test 用小型チェンバー • 抵抗電極には、ESL社のインクを使用 • ２種類のカプトン膜を使用し、違いを調べる – Kapton 200EN (Toray-Dupont) – Kapton 200HN (Dupont) • それぞれのカプトン膜を使った検出器を3台ずつ、合 計6台製作予定。 • 費用は、印刷費用10万円＋MM製作費用150万円くら い。 • この他に、ガスパッケージも作る必要あり。 – 大体5万円/一台 • 多分、6月中旬までにはできる。 2015/5/14 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 2 小型MM 試作 ver. 5 仕様書 Printed strips on polyimide film • 試作の概要 Preprig – レイテック社に依頼する部分 は、リジッド基板の作成、レ ジスティブフィルム層の圧着、 ピラーの形成、コネクタの装 着の部分 – レジスティブフィルムは、マツ ダスクリーン社より提供する。 銅箔パターン部分は無し。 – 提供されるレジスティブフィ ルムの材質は、TorayDupont Kapton 200EN (2枚) 及び Dupont Kapton 200HN (2枚) の２種類 – メッシュは不要 – ピラーのパターン・高さ等は、 前回発注品と同じ(125μm) 2015/5/14 Readout strips on rigid board A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS Rigid board Rigid board Rigid board 3 Rigid 層 コネクタ部 • コネクタから、中央の 読出ストリップ部分は、 前回と同じ • 右図下に示す通り、パ ターンを追加 • この追加パターンの線 幅は、4mm • 片面基板使用 • 裏面はベタ銅箔 • 基板に空ける穴は、前 回同様。φ3mm。デー タは etc.dxf を参照。 コネクタ 引き回し 検出部 100 15 52 60 線幅: 4mm 2015/5/14 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 25 25 4 抵抗フィルム層 • マツダスクリーン社でカプトンフィ ルム上に印刷したものを使用 6.0 120.0 • カプトンフィルムの素材としては、 以下の２種類を使用 117.0 104.8 117.0 – このフォイルは、マツダスクリーン 社から一度神戸に納入してもらっ てからレイテック社へ送る。 – 印刷パターンと貼り付け位置の関 係は右に示すが、可能な限りレジ スティブ膜のストリップと、Rigid層 のストリップは重ねてほしい。 – Kapton 200EN – Kapton 200HN • Rigid 層へ貼りつける前に、この フィルム層と接着層について右図 で指示した位置(白丸)に穴をあけ る(計5ヶ所)。 2.5 10 穴(φ5mm, 2か所) 2015/5/14 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 50 穴(φ3mm, 3か所, 35mm 間隔) 5 レジスト層 • 永久レジスト（ピラー形 成）は、横方向109mm、 縦方向は 119mm – 前回と同じ。変更なし 109mm 120mm 119mm 2015/5/14 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 6 スクリーン印刷MM試作 ver.5 • • カーボンペーストによるパターン 昨年7月にお願いした10cm×10cmの パターンと似ていますが、以下の赤 字の部分が違います。 – 400μmピッチの細線 • 20mm パターンの線幅は180μm – 20mm毎に交互に、細線間を繋ぐパター ンを入れる（あみだくじの様な形、右図 参照） – パターン形成は、105mm×200mmのエ リア、及び片方に +5mmの電極用領域 （次ページ参照） • レジスティブストリップの数は、262本 – 電圧供給部分はベタのパターンにする。 （次ページ参照） – インクは、ESL社のものを使用 – 被印刷体には、以下の2種類を使用 • • 2015/5/14 カプトン200EN （貴社にて用意） 6枚 カプトン200HN （こちらから送付） 6枚 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 0.40mm 0.18mm 7 カーボンペーストのパターンについて • 「高圧電極」とある部分は ベタのパターンにします。 0.40mm 0.18mm （高圧電極） 10.0mm 2015/5/14 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 8 あみだ型パターン詳細 • 右図は、横方向 の縮尺を大幅に 拡大しています。 105 mm (262本前後) 7mm 10mm 10mm 10mm 110 mm (架橋の線は、 2cm毎に 5本 もしくは4本) 10mm 10mm 120mm 10mm 10mm 10mm 同じ太さで下のベタ パターンに接続 23mm 10mm 2015/5/14 A.Ochi ATLAS-J MicroMEGAS 9
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