皮手袋又は 耐低温・耐水手袋 保護眼鏡 第７章 半導体プロセスの安全について 第 7 章 半導体プロセスの安全について ■ 特殊材料ガスとは 長袖 特に危険性の高く，法令で規制のあるガス（特殊高圧ガス） 靴 名称 化学式 自然発火性 可燃性 毒性 モノシラン ＳｉＨ4 ◎ ◎ ○ ジシラン Ｓｉ2Ｈ6 ◎ ◎ ○ アルシン ＡｓＨ3 ○ ◎ ホスフィン ＰＨ3 ○ ○ ◎ ジボラン Ｂ2Ｈ6 ○ ○ ◎ モノゲルマン ＧｅＨ4 ○ ◎ ◎ セレン化水素 Ｈ2Ｓｅ ○ ○ ◎ 液体窒素を取扱う際のスタイル ■ 体積膨張注意 ・液体窒素 1L が，室内（20℃）で気化すると・・・ (1000cm３×0.808g/cm３÷28.0)×22.4L/mol×（20+273）/273≒700 体積 密度 分子量 倍 ・ガラス容器等は，気化により体積膨張が起こり，破損することがあるので， 密封しない温度を低く保つなどの注意が必要 ※その他の特殊材料ガスは，「健康・安全手帳」特殊材料ガスの種類，各種半導体ガスの 一般的性質を参照 液取りに関する注意 ■ ■ 講習会の受講 高圧ガス保安法，学内規則を守ること ・「特殊高圧ガス」を使用する施設は，学内の審査後，都道府県知事へ届出が必要 ・特殊材料ガス災害防止マニュアルを遵守 http://www.gsmc.titech.ac.jp/ ・コールドエバポレーターから液体窒素をデュワー瓶などに 汲み出すことを液取りと言い，液取りする人は，あらかじ め講習を受講する必要がある ■ 講習会・教育訓練の受講 ・特殊材料ガスを取扱うには，あらかじめ，総合安全管理センターが実施する講習会（毎年 6月実施予定）を受講する必要がある ・使用する設備の取扱主任者の教育訓練を受け，以下の内容を熟知する必要もある ①ガスの物理的・化学的な性質や危険性，毒性 ②設備の性能と操作方法 ③停電や装置の故障時の対処法 ④ガス漏えいなど緊急時の対処及び避難方法 ⑤消火器，空気呼吸器など緊急時の防護器具の使用法 など (左)デュワー瓶 (右)自加圧式貯蔵容器 CE タンク ■ ■ 運搬における注意事項 ・エレベータでの運搬は，地震，停電等でエレベータが停止した場合，酸欠事故を 引き起こす危険があるので，注意すること ・容器は傾けない ・自加圧式貯蔵容器（100ℓ）は，必ず２人以上で運搬すること 10 10 救急処置 ・万が一吸入した場合は，直ちに新鮮な空気中で酸素吸入を行う ・安静にして専門医を呼ぶ ・皮膚，眼，鼻などに付着した場合は，大量の流水で長時間洗浄する 11 11 第１編 ・半導体プロセスで使用するガスのうち，災害発生を防止するため特別の注意が必要なガス ・自然発火性，可燃性，爆発性，毒性，腐食性などの性質をもつ
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