Analyseverfahren der Mikro

Studiengang:
Mikrosystemtechnik und Optische Technologien (B.Eng.)
Modulbezeichnung:
Fachspezifische Vertiefung
(es müssen Lehrveranstaltungen im Gesamtumfang von
mindestens 6 ECTS-Kreditpunkten aus der Liste FV
gewählt werden.)
ggf. Kürzel
ggf. Untertitel
ggf. Lehrveranstaltungen:
Analyseverfahren der Mikro- und Nanotechnologie
Studiensemester:
6. Semester
Angebotsturnus:
jährlich im Sommersemester
Modulverantwortliche(r):
Prof. Dr. sc. nat. K.-P. Möllmann
Dozent(in):
Prof. Dr. sc. nat. K.-P. Möllmann
Sprache:
Deutsch
Zuordnung zum Curriculum
Modul Fachspezifische Vertiefung (Wahlpflichtfach)
Lehrform / SWS:
Vorlesung: 2 SWS, Gruppengröße: 17,5 Studierende
Arbeitsaufwand:
90 h, davon 30 h Präsenz- und 60 h Selbststudium incl.
Prüfung
Kreditpunkte:
3
Voraussetzungen nach
Prüfungsordnung
keine
Empfohlene Voraussetzungen:
Gute Kenntnisse und Fertigkeiten in Experimentalphysik,
Elektrotechnik/Elektronik, Struktur der Materie, Messtechnik
Angestrebte Lernergebnisse:
Inhalt:
Studien- Prüfungsleistungen:
Medienformen:
Die Studierenden
- erhalten einen Überblick über die modernen, in den
technologischen Entwicklungen von Mikro- und
Nanostrukturen eingesetzten Analyseverfahren.
- beherrschen die Grundlagen ausgewählter Messverfahren
zur Charakterisierung von Mikro- und Nanosystemen im
Technologieprozess.
- Messverfahren - Überblick/Systematisierung und
Ergebnisgrößen
Dünnschichtanalytik, Strukturanalytik, Oberflächen- und
Grenzflächenanalytik
- Elektronen- und ionengestützte Messverfahren
z.B. REM,TEM, RTM, AFM, AES, SIMS, RBS usw.)
- Röntgenstrahlungsgestützte Messverfahren
z.B. XRD, RFA, XMA, EDX/WDX, EBSD u.a.)
- Taktile Messverfahren
- Optische Messverfahren
z.B. Interferometrie, Spektroskopie, Ellipsometrie usw.
Prüfung
Benotung: Ja
Tafel, Overhead, Präsentationen, Videos, PC-Simulationen,
Demonstrationsexperimente
W. Menz, J. Mohr; Mikrosystemtechnik für Ingenieure
VCH Weinheim 2005
L. Spieß, R. Schwarzer, H. Behnken, G. Teichert; Moderne
Röntgenbeugung, Teubner 2005
Literatur:
V. G. Bordo and H.-G. Rubahn; Optics and spectroscopy at
Surfaces and interfaces, Wiley VCH Weinheim 2005
R.W. Chan Frs, E. Lifshin; Concise Encyclopedia of Materials
Characterisation, Pergamon, Oxford, 1993
P.E.J. Flewitt, R.K. Wild; Physical methods of materials
characterization”,IOP, Bristol, 1994

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