Miniaturisierte Modulare Mikroopsche Systeme Beispiel Mikrointerferometer Mikroopsche Bank · Direktlithografisch in PMMA auf Silizium oder in Kunststoff abgeformt, Größe 11 x 8 mm² · Hybrider Aufbau mit optisch vergüteten Glaskomponenten, minimale Kantenlängen 500 µm · Mach-Zehnder Delay Interferometer mit einem Kontrast von 92 % · FTIR Wellenlängenbestimmung im C-Band mit einer Genauigkeit < 1 nm Mikroaktor · Derzeit wahlweise ein Piezo-, Inchworm- oder elektromagnetischer Mikroaktor, weitere Mikroaktoren sind möglich · Stellwege 11 µm bis 20 mm, Auflösung < 30 nm Schnistellen · Rein op5sch über Glasfasern oder optoelektronisch · Photodioden bis 40 GHz integrierbar · Datenausgabe analog, über USB oder Bluetooth Kontakt Karlsruher Ins5tut für Technologie (KIT) Ins5tut für Mikrostrukturtechnik Hermann-von-Helmholtz-Platz 1 76344 Eggenstein-Leopoldshafen Deutschland Mikro-Interferometer-System Leiter Op5k & Photonik Dr. Jürgen Mohr Telefon: +49 721 608-24433 Fax: +49 721 608-24331 [email protected] Projektleiter Micro MOPS© Dr. Sven Schüle Telefon: +49 721 608-29239 Fax: +49 721 608-24331 [email protected] www.imt.kit.edu © IMT 2010 - 2011 KIT – Universität des Landes Baden-Württemberg und nationales Forschungszentrum in der Helmholtz-Gemeinschaft www.kit.edu Was ist Micro MOPS© Was bietet Micro MOPS© Wie funkoniert Micro MOPS© Der Name Micro MOPS© steht für miniaturisierte modulare op5sche Systeme, einer flexibel kombinierbare Modulbox für op5sche Mikrosysteme. Micro MOPS© stellt die konsequente Weiterentwicklung derzeit auf dem Markt befindlicher modularer Sensorsysteme dar, indem es die Vorteile der Modularisierung und der Miniaturisierung erfolgreich miteinander verknüp$. Micro MOPS© bietet die Möglichkeit hochintegrierte Sensorsysteme spezifisch an Kundenwünsche anzupassen. Bei herkömmlichen Systemen erfordert dies ein hohes Maß an Zeit- und Entwicklungskosten. Micro MOPS© und dessen Modulcharakter schaffen hier neuar5ge Möglichkeiten um Kundenwünsche effizient zu erfüllen. Micro MOPS© besteht derzeit aus drei Submodulen, die je nach Applika5on des Anwenders individuell miteinander kombiniert werden können. Die Submodule selbst liegen in unterschiedlichen Varianten vor. Durch das klar definierte Schni6stellenkonzept kann Micro MOPS© auch zukün$ig flexibel an variierende Aufgabenstellungen adap5ert werden. Micro MOPS ist damit weitaus mehr als nur ein einfaches Sensorsystem. Durch geeignete Wahl der eingesetzten Modulkomponenten kann Micro MOPS© verschiedenste Anwendungsfelder bedienen. Diese reichen von Mess- und Sensorapplika5onen, über die Bes5mmung von Materialeigenscha$en bis hin zu komplexen Signaldmodula5onssystemen in der Kommunika5onstechnik. © Die fer5gungs- und montagegerechte Gestaltung der Module ermöglicht eine zuverlässige, zeiteffiziente Montage und setzt neue Maßstäbe in Sachen Systemgröße. So betragen die Gehäuseabmaße eines voll ausgesta6eten mikro-interferometer-Systems gerade einmal 25 x 37 x 50 mm³. · Das mikroop5sche Bankmodul vereint das mikroopsche System und die opschen Komponenten · Das Mikroaktormodul dient zur akven Justage des Systems um einen gewünschten Arbeitspunkt oder zur Durchführung diverser Messanwendungen · Das Schni6stellenmodul kann wahlweise faseropsch oder elektronisch bedient werden bis hin zur Ausgabe der Messsignale miels modernster Kommunikaonsschnistellen
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