Balluff Grundlagen MEMS-basierte vs. Fluid-basierte Neigungsmessung Vergleich zwischen zwei unterschiedlichen Neigungsmesssystemen Was ist der Unterschied zwischen MEMS-basierter und Fluid-basierter Neigungsmessung? vs MEMS-basiert Funktionsweise Stärken Herausforderungen Anwendungsbeispiele Fluid-basiert Beide arbeiten mit einem kapazitiven Messprinzip: Die Kapazität ändert sich in Abhängigkeit vom Winkel des Sensors, was ein Maß für die Neigung ist. Viele Neigungssensoren messen die Neigung mit Hilfe eines MEMS-Chips. Diese kompakten Chips beinhalten mikromechanische Strukturen, die sich unter Einwirkung der Erdanziehung, entsprechend der Neigung bewegen. Die einzige Veränderliche ist der Abstand zwischen den Kondensatorplatten und der unbeweglichen Basis. Die Fluid-basierte Messzelle besteht aus vier Kondensatoren und ist mit einer speziellen Flüssigkeit als Dielektrikum gefüllt. Die einzige Veränderliche ist die Menge an Fluid zwischen den Kondensatorplatten. nweniger Einfluss von geringen Vibrationen ngute Auflösung ngeringere Kosten im Vergleich zur Fluid-basierten Neigungsmessung nhohe Genauigkeit über den gesamten Mess- und Temperaturbereich nMessung von zwei Achsen mit nur einem Sensor nbestes Prei-/Leistungsverhältnis nTemperaturdrift nhöhere Kosten im Vergleich zur MEMS-basierten Neigungsmessung nnicht geeignet für Applikationen mit starken Vibrationen und Beschleunigungen nteilweise hohe Messabweichungen bei Einsatz in bewegten Objekten MEMS-basierte Neigungssensoren Fluid-basierte Neigungssensoren nMobile Arbeitsmaschinen – Überwachung ausfahrbarer Arme oder Plattform-Nivellierung nMedizintechnik – Positionierung von Bestrahlungstischen nVerpackungsmaschinen – Kontrolle der Zugspannung nSolarenergie – Ausrichtung von Parabolrinnen nHydraulik – Heben und Senken von Brücken nWindenergie – Überwachung der Turmneigung Typische Beispiele BSI Q41 und BSI R65 Neigungssensoren (MEMS-basiert) www.balluff.com BSI R11 Neigungssensoren (Fluid-basiert)
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