Analyse von Werkstoffen mittels Cross-Beam-System FIB Auriga 60 1 2 1 1 2 1 Diana Roßberg , Henry Romanus , Marcus Hopfeld , Felix Theska , Arne Albrecht , Peter Schaaf 1 Institut für Werkstofftechnik, Institut für Mikro- und Nanotechologien, Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Werkstoffe der Elektrotechnik, Gustav-Kirchhoffstraße 5, 98693 Ilmenau 2 Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, Gustav-Kirchhoffstraße 7, 98693 Ilmenau Querschnittspräparation TEM-Lamellenpräparation Bild 3: Nanoporöse Gold-Nanopartikel mit sehr großem Oberflächen zu Volumen-Verhältnis hergestellt durch Dewetting- und Dealloying-Prozess. TEM Aufnahmen am Querschnitt zeigen eine durchgängige poröse Struktur der ein- oder bi-kristallinen Partikel [3,4] Bild 1: Präziser Querschnitt durch einen bi-metallischen Au-Ni Partikel mit Ni-reichen {100} Facetten [1] Bild 2: Querschnitt durch eine nanostrukturierte Oberfläche mit einer gesputterten In2O3-Schicht Bild 4: TEM-Lamelle eines Vickers-Härteindrucks von einer Al/Si3N4-Multilagenschicht Nanomanipulation 2D- Analyse mit EDX und EBSD Bild 9: EDX-Mapping einer Bismut-Indium Legierung Bismut Bild 7 Bild 5 Bild 6 Bild 5: Transfer eines Au/Ni-Partikel auf ein TEM-Grid Bild 6: Manipulation einer W-Nadel auf ein Lacey-Kohlenstoff TEM-Grid Bild 7: Transfer eines Partikels auf eine Atomsondenspitze mit der Besonderheit, dass der Whisker möglichst gerade nach oben gerichtet ist Bild 10: EBSD-Untersuchungen vor und nach einem Laserprägeprozess von einkristallinem Kupfer, wo bei keine neuen Körner generiert wurden, wie anhand der Fehlorientierungsverteilung zu erkennen ist [5] Indium Bild 8 Bild 11: Darstellung der mittleren Fehlorientierung des Gefüges als Maß für die Versetzungsdichte an der Stanzkante zweier Kupferbleche unterschiedlicher Ausgangsfestigkeit [6] Bild 8: FMS-Kraftmessungen mittels Kleindiek-Manipulatoren an beidseitig eingespannten Balken [2] Das Vorhaben wird durch das Thüringer Ministerium für Bildung, Wissenschaft und Kultur im Rahmen des Operationellen Programms des Freistaats Thüringen für den Einsatz des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) in der Strukturfondsperiode 2007 bis 2013 (CCI-Code: 2007DE161PO001) gefördert. Quellen: [1] Herz, A. et al., eingereicht bei Appl. Phys. Lett. [2] Theska, F. und Stürzel, T. K., Projektarbeit FG WET/TU Ilmenau (2014) [3] Wang, D. et al., J. Mater. Chem. 22 (2012), 5344-5348 [4] Wang, D. et al., Beilstein J. Nanotech. 3 (2012), 651-657. [5] Ehrhardt, M. et al., Physics Procedia 56 ( 2014 ), 944-950 [6] Aristizabal, E. et al., Adv. Eng. Mater. 17 (2015), 467-473 Fachgebiet Werkstoffe der Elektrotechnik Ansprechpartner: Diana Roßberg Institut für Werkstofftechnik Institut für Mikro- und Nanotechnologien Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik www.tu-ilmenau.de/wet