null

新製品
Clean series
クリーンシリーズ
CKSF/CKRF
CKSFラインナップ追加
最高速度2000mm/s、最大ストローク1500mmに対応
EA-THK
&$7$/2*1R
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
クリーンシリーズ
CKSF/CKRF
コンパクトシリーズ KSF/KRFの低発塵仕様
中間フランジ
中間フランジ
テーブルカバー
テーブルカバー
テーブル
モータ
モータ
テーブル
ストリップシール
吸引継手
吸引継手
ストリップシール
サイドカバー
潤滑装置QZ
サイドカバー
潤滑装置QZ
ボールねじ
ボールねじ
アウタレール
吸引継手
アウタレール
CKSF　構造
CKRF　構造
コンパクトシリーズの特長とラインナップ
U字形断面形状の鋼製アウタレール採用により、大きなモーメントを受けることができます。
KR/SKR
Ｕ字型断面形状の
鋼製アウタレール
SKR
KSF
NEW
高速
長寿命
リテーナ入り
4方向等荷重・高剛性
変位角[ °] ×10−2
8
当社サンプル比較
KR
エコノミーシリーズ ES6
6
KRF
4
KRF6
2
0
1
高速・高加減速
ロングストローク
KSF6
0
1
2
3
4
5
メント[Ｎ・ｍ]
M 負荷モー
C
6
7
8
コンパクトシリーズの基本モデル
豊富なサイズバリエーション
ロングセラー
フルカバー
高速
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
特長
1低発塵構造
ストリップシール
新機構のフルカバー構造により、スト
リップシール上面に接触がなく、発塵
しにくい構造となっています。さら
に、クリーン仕様のワンタッチ管継手
KPQL（SMC㈱製）を採用し、吸気す
ることで大幅に発塵を抑えます。
吸引継手は左右どちらでも取付けが
可能です。
マグネット
2高剛性
U字形断面形状の鋼製アウタレール採用により、大きなモーメントを受けることができます。
アクチュエータ単体の剛性が高いため、省スペースな設計が可能です。
負荷モーメント
MC
補助ガイドを使用したレイアウト例
片持ちでのレイアウト例
3長期メンテナンスフリー
適切な量の潤滑油供給を可能にした潤滑装置QZを標準採用したことで長期メンテナンスフリーを実現しまし
た。
4適用モータ定格出力アップ(CKSF)
ボールねじ軸を大径化。さらに、ボールねじ端末部も大きくしました。
本体サイズはそのままで、定格出力の大きいモータを使用することにより、高速・高加減速動作が可能になりまし
た。
2
ELECTRIC ACTUATORS
Clean series
発麈試験（参考）
測定方法（CKSF）
<試験条件>
空気流入口：流入量 0.3×10‒3m3/min
試験環境：クリーンベンチ内
アクリルカバー
CKSF
項目
内容
形番
CKSF4-10-0400
ストローク
400mm
速度
500mm/s
加減速度
2
9.8m/s（1.0G）
吸引量
30×10-3m3/min（30ℓ/min）
荷重
なし
<測定条件>
流速：
２５０ｍｍ/ｓ
測定空気量：1×10‒3m3
吸引ポンプへ接続
サンプリングチューブ
パーティクルカウンタへ抽出
項目
内容
測定機器
パーティクルカウンタ（KC-18　リオン㈱製）
測定部流速
250mm/s
空気流入量
0.3×10-3m3/min（0.3ℓ/min）
測定空気量
1×10-3m3（1ℓ）
測定時間
50h
測定結果
CKSF4の50時間連続動作（最高速度500mm/s）の評価結果
クリーン度クラス：ISO014644-1
100000
粒子濃度[個/m3]
発塵量[個/ℓ]
1
0.75
0.5
平均値
0.31
0.25
0
0.1以上
平均値
0.22
0.15以上
平均値
0.17
平均値
0.11
0.2以上
0.3以上
10000
クラス5上限
1000
クラス4上限
100
クラス3上限
10
平均値
0.07
クラス2上限
1
0.1
0.5以上
0.2
×10³
（ISO14644‒1に適応）
粒子径[μm]
0.3
0.4
0.5
粒子径[μm]
CKSFのクリーン度評価試験
吸引量※1
×10–3[m3/min]
30
クリーン度※2※3
（ISO14644–1）
クラス４
19.6
50
クラス６
1500
19.6
60
クラス５
2000
19.6
160
クラス５
形番
ストローク
[mm]
速度
[mm/s]
加減速度
[m/s2]
CKSF4-10-0400
400
500
9.8
CKSF5-20-0600
600
1000
CKSF6-30-0650
650
CKSF8-40-0750
750
※1　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。
※2　クリーン度については使用される条件により異なります。
※3　ストリップシール摺動部は初期摩耗が発生します。
（評価試験結果は、初期摩耗後のデータです。）
また、
測定データは参考値でクリーン度を保証するものではありません。
ISO14644–1に基づくクリーン度の上限濃度
（参考）
3
単位：個/m3
粒径
クラス1
クラス2
クラス3
クラス4
クラス5
クラス6
0.1μm以上
10
100
1000
10000
100000
1000000
0.2μm以上
2
24
237
2370
23700
237000
0.3μm以上
−
10
102
1020
10200
102000
0.5μm以上
−
4
35
352
3520
35200
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
発麈試験（参考）
測定方法（CKRF）
<試験条件>
空気流入口：流入量 0.3×10‒3m3/min
試験環境：クリーンベンチ内
アクリルカバー
ＣKRF
項目
内容
形番
CKRF5-10-0300A-0
ストローク
300mm
速度
500mm/s
加減速度
4.9m/s2
（0.5G）
吸引量
12×10-3m3/min（12ℓ/min）
荷重
なし
<測定条件>
流速：250mm/s
測定空気量：1×10‒3m3
吸引ポンプへ接続
サンプリングチューブ
パーティクルカウンタへ抽出
項目
内容
測定機器
パーティクルカウンタ（KC-18　リオン㈱製）
測定部流速
250mm/s
空気流入量
0.3×10-3m3/min（0.3ℓ/min）
測定空気量
1×10-3m3（1ℓ）
測定時間
50h
測定結果
CKRF5の50時間連続動作（最高速度500mm/s）の評価結果
クリーン度クラス：ISO014644-1
100000
粒子濃度[個/m3]
発塵量[個/ℓ]
1
0.75
0.5
平均値
0.41
平均値
0.34
平均値
0.31
平均値
0.26
0.25
0
0.1以上
0.15以上
0.2以上
0.3以上
平均値
0.18
10000
クラス5上限
1000
クラス4上限
100
クラス3上限
10
1
0.5以上
クラス2上限
0.1
0.2
×10³
（ISO14644‒1に適応）
粒子径[μm]
0.3
0.4
0.5
粒子径[μm]
CKRFのクリーン度評価試験
4.9
吸引量※1
×10–3[m3/min]
10
クリーン度※2※3
（ISO14644–1）
クラス4
4.9
12
クラス4
4.9
15
クラス4
形番
ストローク
[mm]
速度
[mm/s]
加減速度
[m/s2]
CKRF4-06-0150A-0
150
300
CKRF5-10-0300A-0
300
500
CKRF6-10-0400A-0
400
500
※1　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。
※2　クリーン度については使用される条件により異なります。
※3　ストリップシール摺動部は初期摩耗が発生します。
（評価試験結果は、初期摩耗後のデータです。）
また、
測定データは参考値でクリーン度を保証するものではありません。
ISO14644–1に基づくクリーン度の上限濃度
（参考）
単位：個/m3
粒径
クラス1
クラス2
クラス3
クラス4
クラス5
クラス6
0.1μm以上
10
100
1000
10000
100000
1000000
0.2μm以上
2
24
237
2370
23700
237000
0.3μm以上
−
10
102
1020
10200
102000
0.5μm以上
−
4
35
352
3520
35200
4
ELECTRIC ACTUATORS
Clean series
ラインナップ一覧（ステッピングドライバコントローラTSC仕様）
形番
ボールねじリード
ストローク
[mm]
[mm]
6
50～300
6
50～550
10
50～550
CKRF4
CKRF5
最大可搬質量※1[kg]
モータサイズ
ステッピングモータ□35
ステッピングモータ□42
水平
壁掛け
垂直
6.5
6
20
14.5
7.5
10
10
6
4
※1　使用条件により最大可搬質量と最高速度が変わります。詳細は各形番の「基本仕様」
と
「速度と可搬質量　関係図」
をご参照ください。
ラインナップ一覧（サーボドライバコントローラTLC/THC仕様）
CKSF
CKRF
形番
ボールねじリード
[mm]
ストローク
[mm]
定格速度※1
[mm/s]
モータ定格
出力[W]
加減速度
[G]
CKRF4
6
50～300
300
50
CKRF5
CKRF6
CKSF4
6
50～550
300
10
50～550
500
6
50～800
300
10
50～800
500
10
50～900
500
10
50～900
500
20
50～900
1000
20
50～1300
1000
30
50～1300
1500
20
100～1500
1000
40
100～1500
2000
CKSF5
50
100
100
100
CKSF6
200
CKSF8
400
水平
壁掛け
垂直
水平・壁掛け：0.5
垂直
：0.3
6
5.5
4
水平・壁掛け：0.5
19
14
6
垂直
15
12.5
3.5
35
24
10
22
5
：0.3
水平・壁掛け：0.5
垂直
：0.3
30
0.5
12
8
1.0
8
6
0.5
20
13
1.0
15
8
1.0
7
6
2.0
5
3
1.0
22
10
2.0
5
3
1.0
14
6
2.0
6
4
1.0
43
20
2.0
6
3
1.0
16
8
2.0
7
5
※1　モータの定格回転数
（3000min-1）
時の速度です。
（3000min-1）
時、
もしくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。
※2　最高速度は、
モータの回転数
5
最大可搬質量[kg]
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
各ストロークにおける最高速度※1[mm/s]
ストローク[mm]
50
100
150
200
250
300
350
400
450
500
550
600
650
700
750
800
300
300
250
500
430
各ストロークにおける最高速度※2[mm/s]
ストローク[mm]
～300 350
400
450
500
550
600
650
700
750
800
850
900
950 1000 1050 1100 1150 1200 1250 1300 1400 1500
300
300
250
500
430
300
260
220
200
170
150
500
440
380
330
290
260
500
430
370
320
290
250
230
200
500
440
390
340
310
270
250
1000
890
780
690
620
550
500
1000
980
870
770
690
630
570
520
470
430
400
370
340
320
1500
1470 1300 1160 1040 940
850
780
710
650
600
550
510
480
1000
970
790
660
550
470
410
360
320
2000
1940
1580
1320
1110
950
830
720
640
6
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
形番構成
CKSF（THC仕様）
＋
専用ドライバコントローラと組合せる場合
ボールねじ
リード
形番
ストローク
CKSF4 - 10 ①
0050
②
-
TH
③
0050 : 50ｍｍ
0100 : 100ｍｍ
0150 : 150ｍｍ
0200 : 200ｍｍ
0250 : 250ｍｍ
0300 : 300ｍｍ
0350 : 350ｍｍ
0400 : 400ｍｍ
形番により選択で
0450 : 450ｍｍ
きるボールねじリー
0500 : 500ｍｍ
ドが異なります。
0550 : 550ｍｍ
CKSF4：
「10」
0600 : 600ｍｍ
CKSF5：
「10」
「
、20」
0650 : 650ｍｍ
CKSF6：
「20」
「
、30」
0700 : 700ｍｍ
CKSF8：
「20」
「
、40」
0750 : 750ｍｍ
0800 : 800ｍｍ
0850 : 850ｍｍ
0900 : 900ｍｍ
0950 : 950ｍｍ
1000 : 1000ｍｍ
1050 : 1050ｍｍ
1100 : 1100ｍｍ
1150 : 1150ｍｍ
1200 : 1200ｍｍ
1250 : 1250ｍｍ
1300 : 1300ｍｍ
1400 : 1400ｍｍ
1500 : 1500ｍｍ
CKSF4
CKSF5
CKSF6
CKSF8
制御機器
10 : 10ｍｍ
20 : 20ｍｍ
30 : 30ｍｍ
40 : 40ｍｍ
オプション
-
モータ定格出力
/
GR-6
モータ
ケーブル向き
原点位置
電源電圧
ケーブル
長さ、種類
H3
M10
L
S02
D1
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
TH : THC
無記号 : 無し
T : 裏タップ
GR : カバー色グレー
□ : センサ
M10 : 100Ｗ
M20 : 200Ｗ
M40 : 400Ｗ
M10B : 100Ｗブレーキ付き
M20B : 200Ｗブレーキ付き
M40B : 400Ｗブレーキ付き
R : 右側
L : 左側
U : 上側
D : 下側
制
御機器は別途手
配が必要です。
オプション
記号は、記
載順に左か
ら順に
「ー」
を入れて表
記ください。
形番により選択できるスト
ロークおよびストロークのピッ
チが異なります。
CKSF4：50～900mm
（50ｍｍピッチごと）
CKSF5：50～900mm
（50ｍｍピッチごと）
CKSF6：50～1300mm
（50ｍｍピッチごと）
CKSF8：100～1500mm
（100ｍｍピッチごと）
形番により選択できる
モータが異なります。
CKSF4：
「M10」
「M10B」
、
CKSF5：
「M10」
「M10B」
、
CKSF6：
「M20」
「M20B」
、
CKSF8：
「M40」
「M40B」
、
D00 : モータ側
D1 : 100V
R00 : 反モータ側 D2 : 200V
S02 : モータ側（センサ右）
S03 : 反モータ側（センサ右）
S20 : モータ側（センサ左）
S30 : 反モータ側（センサ左）
D00およびR00
は押し当て原点
方式です。
カバー色グレー
ハウジングカバーの色をグレー色に変更することができます。
標準：赤
GRを選択：グレー
付属するケーブルの種
類・長さです。
原点位置
モータケーブル向き
●：外付け原点センサ位置
D00
Ｕ
（上向き）
R00
Ｌ
（左向き）
Ｒ
（右向き）
S02
Ｄ
（下向き）
モータケーブル向き
（Ａ矢視）
S03
A
S20
詳細内容ページ
⑤オプション
7
⑩
無記号
：無し
F3 : 固定　 3ｍ
F5 : 固定　 5ｍ
FA: 固定　10ｍ
H3: 高屈曲　 3ｍ
H5: 高屈曲　 5ｍ
HA: 高屈曲　10ｍ
S30
T：裏タップ → P.27
センサ → P.28
GR：カバー色グレー → P.29
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
形番構成
CKSF（モータ無しタイプ）
アクチュエータ本体のみ、もしくはお客様ご指定のモータを取付ける場合
ボールねじ
リード
形番
-
CKSF4
10
ストローク
-
0050
①
②
③
CKSF4
CKSF5
CKSF6
CKSF8
10 : 10ｍｍ
20 : 20ｍｍ
30 : 30ｍｍ
40 : 40ｍｍ
0050 : 50ｍｍ
0100 : 100ｍｍ
0150 : 150ｍｍ
0200 : 200ｍｍ
0250 : 250ｍｍ
0300 : 300ｍｍ
0350 : 350ｍｍ
0400 : 400ｍｍ
0450 : 450ｍｍ
0500 : 500ｍｍ
0550 : 550ｍｍ
0600 : 600ｍｍ
0650 : 650ｍｍ
0700 : 700ｍｍ
0750 : 750ｍｍ
0800 : 800ｍｍ
0850 : 850ｍｍ
0900 : 900ｍｍ
0950 : 950ｍｍ
1000 : 1000ｍｍ
1050 : 1050ｍｍ
1100 : 1100ｍｍ
1150 : 1150ｍｍ
1200 : 1200ｍｍ
1250 : 1250ｍｍ
1300 : 1300ｍｍ
1400 : 1400ｍｍ
1500 : 1500ｍｍ
形番により選択できるボー
ルねじリードが異なります。
CKSF4：
「10」
CKSF5：
「10」
「20」
、
CKSF6：
「20」
「30」
、
CKSF8：
「20」
「40」
、
モータ有無
-
中間フランジ
-
0
AQ
④
0 : モータ無し
1 : モータ付き
「0」
を選択した場合、
カップリングは添付さ
れません。
「1」
はご指定モータを
取付けます。
オプション
-
T-GR
⑤
⑥
A0
AQ
AV
AP
AY
AR
AU
無記号 : 無し
T : 裏タップ
GR : カバー色グレー
□ : センサ
オプション記号は、記載順に左か
ら順に
「ー」
を入れて表記ください。
※モータケーブル向きを
別途指定してください。
カバー色グレー
ハウジングカバーの色をグレー色に変更することができます。
標準：赤
GRを選択：グレー
形番により選択できるストロークおよびストロークの
ピッチが異なります。
CKSF4：50～900mm
（50ｍｍピッチごと）
CKSF5：50～900mm
（50ｍｍピッチごと）
CKSF6：50～1300mm
（50ｍｍピッチごと）
CKSF8：100～1500mm
（100ｍｍピッチごと）
形番構成例
専用ドライバコントローラと組合わせる場合（THC） CKSF4-10-0800-TH-GR-6/M10RS02D1H3
本体のみ（モータ無しタイプ）
本体のみ（お客様ご指定のモータを取付ける場合）
CKSF4-10-0150-0-AQ-GR
CKSF5-10-0500-1-AQ-6
詳細内容ページ
⑤中間フランジ
⑥オプション
→ P.29
T：裏タップ → P.27
センサ → P.28
GR：カバー色グレー → P.29
8
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
形番構成
CKRF（モータ付きタイプ）
＋
専用ドライバコントローラと組合せる場合
ボールねじ
リード
形番
ストローク
CKRF6 - 06 - 0050
①
②
③
設計
記号
制御機器
種類
A -
TH
④
⑤
/
GR-R6
⑥
CKRF4 06 : 6ｍｍ 0050 : 50ｍｍ A
TS : TSC
CKRF5 10 : 10ｍｍ 0100 : 100ｍｍ
TL : TLC
0150 : 150ｍｍ
TH : THC
CKRF6
-
無記号 : 無し
GR : カバー色グレー
SB : スライダベース
□1□2 : センサ
0200 : 200ｍｍ
0250 : 250ｍｍ
0350 : 350ｍｍ形番により選択でき
0400 : 400ｍｍる制御機器が異なり
0450 : 450ｍｍ
0500 : 500ｍｍ
0550 : 550ｍｍ
0600 : 600ｍｍ
原点位置
電源電圧
ケーブル
種類、長さ
M10
R
D00
D1
F3
⑦
⑧
⑨
⑩
⑪
35P : ステッピングモータ□35 無記号 : D00 : モータ側無記号 : 無記号：無し
42P : ステッピングモータ□42 TSC選択時 R00 : 反モータ側 TSC、TLC選択時 S3 : 標準　 3ｍ
M05 : 50Ｗ
R : 右側 S02 : モータ側
M10 :１０0Ｗ
L : 左側 S03 : 反モータ側 D2 : 200V SA: 標準　10ｍ
D1 : 100V S5 : 標準　 5ｍ
35PB : ステッピングモータ□35 U : 上側
ブレーキ付き
D : 下側
0300 : 300ｍｍ
CKRF4は
ボールねじ
リード6ｍｍ
のみです。
モータ
ケーブル向き
モータサイズ/
モータ定格出力
オプション
ます。
CKRF4：TSC,TLC
CKRF5：TSC,TLC
CKRF6：THC
※制御機器は別途
手配が必要です。
オプション記号
は、
記載順に左
から順に
「ー」
を
入れて表記くだ
さい。
42PB : ステッピングモータ□42
ブレーキ付き
M05B : 50Ｗブレーキ付き
M10B : １０0Ｗブレーキ付き
F3 : 固定　 3ｍ
F5 : 固定　 5ｍ
FA: 固定　10ｍ
S0＊
（外付けセン
サ仕様）
はTHC
選択時のみです。
TLC,THC
選択時のみ
H3: 高屈曲　 3ｍ
H5: 高屈曲　 5ｍ
THC
選択時のみ
形番により選択できる
モータが異なります。
0650 : 650ｍｍ
付属するケーブルの種
類・長さです。
コントロー
ラにより選択できるケー
ブルが異なります。
TSC：
「S＊」
TLC：
「F＊」
「H＊」
、
THC：
「F＊」
「H＊」
、
CKRF4：
「35Ｐ」
「35Ｐ
、Ｂ」
「Ｍ05」
「Ｍ05Ｂ」
、
CKRF5：
「42Ｐ」
「42Ｐ
、Ｂ」
「Ｍ05」
「Ｍ05Ｂ」
、
CKRF6：
「Ｍ10」
「Ｍ10Ｂ」
、
0700 : 700ｍｍ
0750 : 750ｍｍ
0800 : 800ｍｍ
形番により最大ストロークが異なります。
CKRF4：300ｍｍ
CKRF5：550ｍｍ
CKRF6：800ｍｍ
カバー色グレー
ハウジングカバーの色をグレー色に変更することができます。
標準：赤
GRを選択：グレー
モータケーブル向き
U（上向き）
A
R（右向き）
L（左向き）
D（下向き）
モータケーブル向き（A矢視）
詳細内容ページ
⑥オプション
9
HA: 高屈曲　10ｍ
SB：スライダベース付き → P.53
□1 □2：センサ → P.54
GR：カバー色グレー → P.55
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
形番構成
CKRF（モータ無しタイプ）
アクチュエータ本体のみ、もしくはお客様ご指定のモータを取付ける場合
ボールねじ
リード
形番
CKRF4
-
ストローク
-
06
0300
設計
記号
A -
0
⑤
①
②
③
④
CKRF4
06 : 6ｍｍ
0050 : 50ｍｍ
A
CKRF5
10 : 10ｍｍ
0100 : 100ｍｍ
0150 : 150ｍｍ
CKRF6
CKRF4はボールねじリード
6ｍｍのみです。
モータ有無
中間フランジ
-
AQ
A0 : 中間フランジなし
1 : モータ付き
AN
※
（弊社購入）
AQ
0200 : 200ｍｍ
AM
0250 : 250ｍｍ
AP
0300 : 300ｍｍ
AS
0350 : 350ｍｍ
0400 : 400ｍｍ
0450 : 450ｍｍ
0500 : 500ｍｍ
0550 : 550ｍｍ
0600 : 600ｍｍ
0650 : 650ｍｍ
0700 : 700ｍｍ
0750 : 750ｍｍ
0800 : 800ｍｍ
-
GR-SB-R6
⑥
0 : モータ無し
オプション
「0」
を選択した場合、
カップリングは添付さ
れません。
「1」
はご指定モータを
取付けます。
AR
AU
⑦
無記号 : 無し
GR : カバー色グレー
SB : スライダベース
□1□2 : センサ
オプション記号は、記載順に左か
ら順に
「ー」
を入れて表記ください。
AT
※モータケーブル向きを
別途指定してください。
カバー色グレー
ハウジングカバーの色をグレー色に変更することができます。
標準：赤
GRを選択：グレー
形番により最大ストロークが異なります。
CKRF4：300ｍｍ
CKRF5：550ｍｍ
CKRF6：800ｍｍ
形番構成例
専用ドライバコントローラと組合わせる場合（TSC）
CKRF4-06-0250A-TS/35PD00SA
専用ドライバコントローラと組合わせる場合（TLC） CKRF4-06-0150A-TL-GR-SB-R6/M05BRD00F3
専用ドライバコントローラと組合わせる場合（THC） CKRF6-10-0800A-TH-GR-R6/M10RS02D1H3
本体のみ（モータ無しタイプ）
CKRF4-06-0150A-0-AM-GR
本体のみ（お客様ご指定のモータを取付ける場合） CKRF5-10-0500A-1-AQ-L6
詳細内容ページ
⑥中間フランジ
⑦オプション
→ P.56
SB：スライダベース付き → P.53
□1 □2：センサ → P.54
GR：カバー色グレー → P.55
10
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
CKSF4
＋
THC仕様
形番構成
形番
ボールねじ
リード
CKSF4 -
-
10
10 : 10ｍｍ
制御機器
-
0050
0050 : 50ｍｍ
オプション
-
TH
TH : THC
～
CKSF4
ストローク
0900 : 900ｍｍ
モータ定格出力
モータ
ケーブル向き
原点位置
電源
電圧
ケーブル
長さ、種類
M10
R
S02
D1
F3
/
GR-6
無記号 : 無し
T : 裏タップ
GR : カバー色グレー
6 : フォトセンサ
J : 近接センサ
M10 : 100Ｗ
M10B : 100Ｗ
R : 右側
L : 左側
ブレーキ付き U: 上側
D: 下側
D00: モータ側
D1 : 100V
R00: 反モータ側
D2 : 200V
S02 : モータ側（センサ右）
S03 : 反モータ側（センサ右）
S20 : モータ側（センサ左）
S30 : 反モータ側（センサ左）
基本仕様
制御機器種類
THC
モータ定格出力[W]
100
ボールねじリード[mm]
10
定格速度 [mm/s]
水平
最大可搬質量※2[ｋｇ]
※1　定格速度は、
モータの定格回転数
（3000min -1）時の速度
です。
※2　最大可搬質量は、定格速度時の質量です。
※3　定格推力は、
モータ定格トルク時の推力です。
※4　最大推力は、
モータ瞬時最大トルク時の推力です。
※5　計算条件は以下の場合です。
500
※1
加減速度
垂直
0.5G
12
1.0G
8
0.5G
8
1.0G
条件：水平・壁掛け・垂直、最大可搬質量を負荷、
ストローク500mm
※6　M A、M Cモーメント基準はテーブル上面、M Bモーメント基準は
テーブル中心です。
※7　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。
6
定格推力※ 3[N]
180
最大推力※4[N]
537
電磁ブレーキ保持力[N]
180
走行寿命※5[km]
10,000
繰り返し位置決め精度 [mm]
±0.010
ロストモーション[mm]
0.1
静的許容モーメント※ 6[N・m]
MA：103　MB：103　MC：58
吸引量の目安 ×10 [m /min]
※7
-3
静的許容モーメント
MC
MA
30
3
MB
許容オーバーハング長さ
※
水平使用
無記号
：無し
F3 : 固定　 3ｍ
F5 : 固定　 5ｍ
FA: 固定　10ｍ
H3: 高屈曲　 3ｍ
H5: 高屈曲　 5ｍ
HA: 高屈曲　10ｍ
壁掛け使用
垂直使用
A
A
B
C
A
B
C
C
加減速度　0.5G
水平
［mm］
ボールねじ
リード
[mm]
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
10
3
6
12
400
400
260
210
100
45
壁掛け
［mm］
C
ボールねじ
リード
[mm]
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
350
170
80
10
3
6
12
320
130
45
190
80
25
垂直
［mm］
C
ボールねじ
リード
[mm]
負荷質量
[ｋｇ]
A
C
400
400
210
10
2
4
8
300
140
60
300
140
60
加減速度　1.0G
水平
［mm］
ボールねじ
リード
[mm]
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
10
2
4
8
400
400
250
330
160
70
壁掛け
C
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
400
250
120
10
2
4
8
400
210
80
310
140
50
※ 走行寿命が10,000kmとなる各方向のオーバーハング長さです。
単一方向に負荷した場合の許容値です。
11
［mm］
ボールねじ
リード
[mm]
垂直
［mm］
C
ボールねじ
リード
[mm]
負荷質量
[ｋｇ]
A
C
400
400
230
10
1.5
3
6
400
190
80
400
190
80
Clean series
モータ定格出力
CKSF4＋THC
10
76.5
E
２−吸引口※３
∅6チューブ用接続ねじＭ５
（AL）
ストローク
7.7
（63）
※1
（10）
Ａ※２
（1.2）
43
（9.6）
0.35
23.85
46
（1.2）
※1
（10）
２．
４５
27
（センサドグ
取付面）
60
29.4
（115）
７３．
５
ブレーキ付き
（１０９．
１）
（23.2）
（４３）
（120）
100W
（テーブルカバー幅）
寸法
ELECTRIC ACTUATORS
（18.5）
69
G
43
（1.2）
B面ヨリ
（G）
Ｎ×１２０
２×ｎ−∅３．
４通シ∅６．
５ザグリ深サ３
（アウタレール取付穴）
18
120
長穴深サ４
2.4
＋０．
０１0
＋０．
０３０
４０
R）
5
∅3.4
2
5.7
21
B
R）
２−∅３Ｈ7 ０
４−Ｍ２．
６深サ４．
５
（口元Ｃ０．
５）
（ノック穴）
（センサドグ取付穴）
テーブル詳細図
1.3
（
0.8
∅6.5
（
（33.2）
20
＋０．
０１2
∅４Ｈ7 深サ４
（下穴貫通）
０
H2
3.5
34±0.02
（寸法公差は
∅３のみに適用）
60
50
０２
２７±０．
４−Ｍ４深サ６．
５
（テーブル取付穴）
H1
1
深サ５
アウタレール取付穴詳細図
Ａ部詳細図※２
1
長穴詳細図
※１メカストッパまでのストロークです。
※２Ａ部Ｔスロットはセンサ取付け専用です。
それ以外の目的では使用しないでください。
※３吸引継手は両側どちらでも取付可能です。
ストローク
［mm］
50
100
150
200
250
300
350
400
450
（メカストッパ間ストローク）
（70）
（120）
（170）
（220）
（270）
（320）
（370）
（420）
（470）
最高速度※4
［mm/s］ボールねじリード：10mm
500
371.5（407.1） 421.5（457.1） 471.5（507.1） 521.5（557.1） 571.5（607.1） 621.5（657.1） 671.5（707.1） 721.5（757.1） 771.5（807.1）
AL
G
41
66
91
56
81
46
71
96
61
寸法※5
H1
［mm］
48
48
48
63
63
63
48
48
48
75
125
175
225
275
325
375
425
475
H2
E
187
237
287
337
387
437
487
537
587
取付ピッチ数
N
1
1
1
2
2
3
3
3
4
取付穴数
n
2
2
2
3
3
4
4
4
5
質量※5
［kg］
2.1
（2.3） 2.3
（2.5） 2.4
（2.6） 2.6
（2.8） 2.8
（3.0） 3.0
（3.2） 3.2
（3.4） 3.4
（3.6） 3.6
（3.8）
650
700
750
800
850
900
ストローク
［mm］
500
550
600
（620）
（670）
（720）
（770）
（820）
（870）
（920）
（メカストッパ間ストローク）
（520）
（570）
最高速度※4
［mm/s］ボールねじリード：10mm
500
430
370
320
290
250
230
200
821.5（857.1） 871.5（907.1） 921.5（957.1） 971.5（1007.1）1021.5（1057.1）1071.5（1107.1）1121.5（1157.1）1171.5（1207.1）1221.5（1257.1）
AL
G
86
51
76
41
66
91
56
81
46
寸法※5
［mm］
63
63
63
48
48
48
63
63
63
H1
H2
525
575
625
675
725
775
825
875
925
E
637
687
737
787
837
887
937
987
1037
取付ピッチ数
N
4
5
5
6
6
6
7
7
8
取付穴数
n
5
6
6
7
7
7
8
8
9
質量※5
［kg］
3.8
（4.0） 4.0
（4.2） 4.1
（4.3） 4.3
（4.5） 4.5
（4.7） 4.7
（4.9） 4.9
（5.1） 5.1
（5.3） 5.3
（5.5）
※4　最高速度は、
モータの回転数
（3000min-1）
時、
もしくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。
※5　（　）
内はブレーキ付きの値です。
12
Clean series
ELECTRIC ACTUATORS
CKSF5
＋
THC仕様
形番構成
ボールねじ
リード
CKSF5 CKSF5
ストローク
-
10
10 : 10ｍｍ
20 : 20ｍｍ
制御機器
-
0050
0050 : 50ｍｍ
TH
TH : THC
～
形番
0900 : 900ｍｍ
オプション
-
モータ定格出力
モータ
ケーブル向き
原点位置
電源
電圧
ケーブル
長さ、種類
M10
L
S02
D1
F3
/
GR-6
無記号 : 無し
T : 裏タップ
GR : カバー色グレー
6 : フォトセンサ
J : 近接センサ
M10 : 100Ｗ
M10B : 100Ｗ
R : 右側
L : 左側
ブレーキ付き U: 上側
D: 下側
D00: モータ側
D1 : 100V
R00: 反モータ側
D2 : 200V
S02 : モータ側（センサ右）
S03 : 反モータ側（センサ右）
S20 : モータ側（センサ左）
S30 : 反モータ側（センサ左）
基本仕様
制御機器種類
モータ定格出力[W]
100
10
20
定格速度※1[mm/s]
0.5G
500
20
1000
ー
1.0G
15
7
2.0G
ー
5
0.5G
13
ー
1.0G
8
6
2.0G
ー
3
定格推力※ 3[N]
180
90
269
水平
最大可搬質量 [ｋｇ]
※2
※1　定格速度は、
モータの定格回転数
（3000min -1）時の速度
です。
※2　最大可搬質量は、定格速度時の質量です。
※3　定格推力は、
モータ定格トルク時の推力です。
※4　最大推力は、
モータ瞬時最大トルク時の推力です。
※5　計算条件は以下の場合です。
THC
ボールねじリード[mm]
加減速度
垂直
条件：水平・壁掛け・垂直、最大可搬質量を負荷、
ストローク500mm
※6　M A、M Cモーメント基準はテーブル上面、M Bモーメント基準は
テーブル中心です。
※7　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。
最大推力※4[N]
537
電磁ブレーキ保持力[N]
180
90
走行寿命※5[km]
10,000
20,000
繰り返し位置決め精度 [mm]
静的許容モーメント
ロストモーション[mm]
0.1
MA：147　MB：147　MC：149
吸引量の目安 ×10 [m /min]
50
-3
MC
±0.010
静的許容モーメント※ 6[N・m]
※7
3
無記号
：無し
F3 : 固定　 3ｍ
F5 : 固定　 5ｍ
FA: 固定　10ｍ
H3: 高屈曲　 3ｍ
H5: 高屈曲　 5ｍ
HA: 高屈曲　10ｍ
MA
MB
許容オーバーハング長さ※
水平使用
壁掛け使用
垂直使用
A
A
B
C
A
B
C
C
加減速度　リード10mm：0.5G　リード20mm：1.0G
水平
［mm］
ボールねじ
リード
[mm]
10
20
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
C
5
10
20
1.75
3.5
7
500
500
250
500
500
230
210
100
40
490
240
110
420
200
90
500
340
170
壁掛け
ボールねじ
リード
[mm]
10
20
［mm］
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
C
5
10
20
1.75
3.5
7
390
170
60
500
300
130
190
80
30
470
220
90
500
500
210
500
480
210
垂直
［mm］
ボールねじ
リード
[mm]
10
20
負荷質量
[ｋｇ]
A
C
3.25
6.5
13
1.5
3
6
300
140
50
470
220
90
300
140
50
470
220
90
加減速度　リード10mm：1.0G　リード20mm：2.0G
水平
［mm］
ボールねじ
リード
[mm]
10
20
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
C
3.75
7.5
15
1.25
2.5
5
500
460
210
500
440
200
280
130
60
500
340
160
500
260
120
500
380
190
壁掛け
ボールねじ
リード
[mm]
10
20
［mm］
負荷質量
[ｋｇ]
A
B
C
3.75
7.5
15
1.25
2.5
5
490
220
90
500
330
150
260
120
40
500
320
140
500
450
190
500
430
190
※ 走行寿命が10,000km
（リード20mmの場合は20,000km）
となる各方向のオーバーハング長さです。
単一方向に負荷した場合の許容値です。
13
垂直
［mm］
ボールねじ
リード
[mm]
10
20
負荷質量
[ｋｇ]
A
C
2
4
8
0.75
1.5
3
500
230
100
500
410
190
500
230
100
500
410
190
Clean series
モータ定格出力
CKSF5＋THC
100W
（５０）
（テーブルカバー幅）
寸法
（120）
82.5
E
10
ELECTRIC ACTUATORS
２−吸引口※３
∅6チューブ用接続ねじＭ５
（AL）
７３．
５
ブレーキ付き
（１０９．
１）
（127）
60
ストローク
7.7
※1
（10）
Ａ※２
（1.2）
52.6
0.5
50
24
（30）
24
（5）
※1
（10）
（70）
２．
３
（センサドグ
取付面）
27
（18.5）
（4.8）
75
G
（G）
Ｎ×１２０
（1.2）
Ｂ面ヨリ
２×ｎ−∅４．
５通シ∅８ザグリ深サ４
（アウタレール取付穴）
25
120
52.6
＋０．
０１２
�

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