表面酸化膜のある異物の状態評価

分析事例C0420 2016/04/11 2016/04/11
表面酸化膜のある異物の状態評価
水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可能です
測定法：TOF-SIMS
製品分野：光デバイス・LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品
分析目的：組成評価・同定・化学結合状態評価・組成分布評価
概要
金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となっ
てしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。
TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物そのものの組成・状態評
価が可能です。
本資料では、Al系の異物と思われる3箇所の状態を評価した事例をご紹介します。
データ
■異物のイメージ結果（500μm角）
③
①～③をTOF-SIMSによる深さ方向分析を行いました。
その結果、以下の状態であることがわかりました。
①
① … Al(OH)3
② … Al2O3
③ … Al
②
光学顕微鏡写真
Al(OH)3由来
Al2O3由来
イメージの重ねあわせ
金属Al由来
Intensity
■異物①の定性分析結果例
異物①とAlの標準スペクトルを並べた結果を以下に例として示します。
異物①はAl(OH)3とスペクトルパターンが一致していることがわかります。
Intensity
Al2O3の
標準スペクトル
AlO(OH)・nH2O
標準スペクトル
Intensity
Al(OH)3の
標準スペクトル
Intensity
異物①
1.1E3
700
300
4.0E3
2.5E3
1000
2.0E4
1.0E4
6.0E3
4.0E3
2.0E3
m/z
分子情報の深さ方向分析の参考出典；Harumi Masudome et.al.,Surf.InterfaceAnal.2011,43,664–668
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