大気用ロボット RR73B シリーズ

大気用ロボット
RR73B シリーズ
RR73B は全軸にアブソリュートエンコーダ搭載した多関節ロボット
大気用
ロボット
外形図
■ RR73BL45
真空用
ロボット
で、より細やかな衝突検知機能を実現しました。
また、駆動システムには瞬発力・応答性に優れた STEP-SERVO を採用し、
ハイスループットを実現しています。
ロードポート
RR73B のコントローラにはモニタリング機能を搭載しており、ロボッ
ト内部の温度やトルクなど、多くの情報をリモートで取得でき、ロボッ
トの最適な運用をサポートします。
アライナ
特長
● 全軸 ABS 付ステッピングサーボモータを搭載
Photo: RR73BL45
● 4 ポートまで走行軸無しでアクセスが可能
EFEM
● ダブルブレードによるウエハ搬送スループットの向上
● 省スペース化を実現
RR73BL45
RR73BL57
Double
Double
アーム長
［mm］
450
570
Z ストローク占有奥行最大搬送位置旋回範囲搬送精度
［mm］
［mm］［mm］
［］
［mm］
420
635
R1250
180
0.1
420/650
752
R1550
180
0.1
クリーン度
ISO-CLASS
1
1
ストッカ
ブレード
ソータ
主な仕様
サポート
ネットワーク
ソフトウエア
ソリューション
バイオ
真空プラット
フォーム
レチクル
搬送
■ RR73BL57
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RR73B シリーズ
RR73B シリーズ
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